专利名称：机械手定位装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种机械手定位装置，主要应用于等离子体增强化学气象沉积设备中，用于完成真空机械手在反应腔和加热盘的定位，或在过渡腔和设备前端模块机械手的定位。属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域。
背景技术：
在12寸转8寸的PECVD (等离子体增强化学气象沉积)设备中，EFEM机械手的手指是经处理的一头为圆角的平板，该平板在和真空机械手手指交接时，为了避免干涉，真空机械手手指需要做成叉形的。在进行定位时，传统方法是在EFEM的手指上放一片晶圆，伸入LoadLock真空机械手的上方，目视晶圆与下面手指四周的距离大致相等时，定位完成。真空机械手与加热盘定位时，在真空机械手上放一片晶圆，手指伸入加热盘上方，使晶圆与加热盘同心时，定位完成。由于晶圆尺寸较大，两种定位方法都需要反复观察晶圆四周的位置，由于观察角度不同等原因，而造成定位误差较大，其工作效率也不高。发明内容
本发明以解决上述问题为目的，主要解决现有等离子体增强化学气象沉积设备定位精度不高，效率低下的问题。
为实现上述目的，本发明采用下述技术方案:机械手定位装置，该装置包括对中块主体(I),对中块主体(I)的四个边中有三条边制有挡边，
上述对中块主体(I)上制有工艺孔(3)，在工艺孔(3)间制有观察孔(4)。
上述工艺孔(3)为长方形；上述观察孔(4)为圆形。
上述对中块主体(I)的四个边中的挡边，其相对的两个短边上制有长挡边(2)，在另外的一条长边上制有短挡边(11)。
上述对中块主体(I)上的观察孔(4)设在两个工艺孔(3)中间的位置。
上述对中块主体上的观察孔的位置是经过精心设计的，当对中块主体的三个挡边与真空机械手手指对齐时，观察孔的圆心也就是手指上放晶圆时的圆心。在定位时，使对中块的观察孔分别与EFEM手指上的圆环，加热盘定位工装上的圆孔同心，则定位完成。
本发明的有益效果是:1、不需要准备晶圆来辅助定位。2、效率提高，只需要观察一个位置。3、由于对中块观 察孔小，便于观察，精度提高。
图1是本发明的结构示意图。
图2是图1的后视图。
图3是EFEM机械手的手指结构示意图。
图4是真空机械手手指与EFEM手指定位示意图。
图5是真空机械手手指与EFEM手指定位俯视图
图6是真空机械手手指与加热盘定位示意图。
图7是真空机械手手指与加热盘定位俯视图具体实施方式
实施例:
由图1、图2可见，机械手定位装置，该装置包括对中块主体I，对中块主体I的四个边中有三条边制有挡边，上述对中块主体I上制有工艺孔3，在工艺孔3间制有观察孔4。
上述工艺孔3为长方形；上述观察孔4为圆形。
上述对中块主体I的四个边中的挡边，其相对的两个短边上制有长挡边2，在另外的一条长边上制有短挡边11。
上述对中块主体I上的观察孔4设在两个工艺孔3中间的位置。
所述长挡边2和短挡边11的作用是和真空机械手手指7对齐；工艺孔3的作用减轻结构重量，减少真空机械手手指7的变形；观察孔4的作用是观察、定位。
由图3、图4可见，真空机械手与EFEM手指定位时，将对中块主体I放在真空机械手手指7上并对齐。EFEM手指5从对中块的下方伸入。
由图5可见,对中块主体I上的观察孔4与下方EFEM手指5的圆环6同心时,定位完成。
由图6可见，真空机械手与加热盘定位时，将加热盘定位工装8放在加热盘10上并对齐。对中块主体I放在真空机械手手指7上并对齐。真空机械手手指7伸入加热盘定位工装8和加热盘10之间的空隙。
由图7可见，加热盘定位工装8的圆孔9与下方对中块主体I的观察孔4同心时，定位完成。
权利要求
1.一种机械手定位装置，其特征在于:该装置包括对中块主体(1)，对中块主体(I)的四个边中有三条边制有挡边，上述对中块主体(I)上制有工艺孔(3)，在工艺孔(3)间制有观察孔(4)。
2.如权利要求1所述的机械手定位装置，其特征在于:上述工艺孔(3)为长方形；上述观察孔(4)为圆形。
3.如权利要求1所述的机械手定位装置，其特征在于:所述对中块主体(I)的四个边中的挡边，其相对的 两个短边上制有长挡边(2 )，在另外的一条长边上制有短挡边(11)。
4.如权利要求1所述的机械手定位装置，其特征在于:所述对中块主体(I)上的观察孔(4)设在两个工艺孔(3)中间的位置。
全文摘要
机械手定位装置，主要解决现有等离子体增强化学气象沉积设备定位精度不高，效率低下的问题。该装置包括对中块主体，对中块主体的四个边中有三条边制有挡边；上述对中块主体上制有工艺孔，在工艺孔间制有观察孔。上述工艺孔为长方形；上述观察孔为圆形。使用时，当对中块主体的三个挡边与真空机械手手指对齐时，观察孔的圆心也就是手指上放晶圆时的圆心。在定位时，使对中块的观察孔分别与EFEM手指上的圆环，加热盘定位工装上的圆孔同心，则定位完成。本发明的特点在于不需要准备晶圆来辅助定位，效率提高。操作时只需要观察一个位置，且由于对中块观察孔小，便于观察，精度提高。
文档编号H01L21/68GK103219270SQ20131008863
公开日2013年7月24日 申请日期2013年3月19日 优先权日2013年3月19日
发明者姜葳, 廉杰, 芦佳 申请人:沈阳拓荆科技有限公司