有机电致发光器件及其制备方法
【专利摘要】本发明公开了一种有机电致发光器件，包括依次层叠的玻璃基底、阳极、散射层、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层及阴极；所述散射层包括形成于所述阳极表面的氧化锌层和形成于所述氧化锌层表面的铯盐层，所述铯盐层的材料为铯盐、聚3,4-二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合物。这种有机电致发光器件的散射层包括氧化锌层和铯盐层，利用氧化锌的晶体结构对光发生散射，使向两侧发射的光可以回到中间。相对于传统的有机电致发光器件，这种有机电致发光器件的出光效率较高。本发明还公开了一种上述有机电致发光器件的制备方法。
【专利说明】有机电致发光器件及其制备方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种有机电致发光器件及其制备方法。
【背景技术】
[0002]1987年，美国Eastman Kodak公司的C.ff.Tang和VanSlyke报道了有机电致发光研究中的突破性进展。利用超薄薄膜技术制备出了高亮度，高效率的双层有机电致发光器件(OLED)。1V下亮度达到1000cd/m2，其发光效率为1.511m/W、寿命大于100小时。
[0003]在传统的发光器件中，器件内部的光只有18%左右是可以发射到外部去的，而其他的部分会以其他形式消耗在器件外部，界面之间存在折射率的差(如玻璃与ITO之间的折射率之差，玻璃折射率为1.5，ITO为1.8，光从ITO到达玻璃，就会发生全反射)，引起了全反射的损失，从而导致整体出光效率较低。
【发明内容】
[0004]基于此，有必要提供一种出光效率较高的有机电致发光器件及其制备方法。
[0005]一种有机电致发光器件，包括依次层叠的玻璃基底、阳极、散射层、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层及阴极；
[0006]所述散射层包括形成于所述阳极表面的氧化锌层和形成于所述氧化锌层表面的铯盐层，所述铯盐层的材料为铯盐、聚3，4-二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合物，所述聚3，4-二氧乙烯噻吩和所述聚苯磺酸盐的质量比为3:1，所述聚3，4-二氧乙烯噻吩和所述铯盐的质量比为1:10?20，所述铯盐为CsF、Cs2C03、CsN3或CsCl。
[0007]在一个实施例中，所述氧化锌层的厚度为1nm?300nm ；
[0008]所述铯盐层的厚度为20nm?lOOnm。
[0009]在一个实施例中，所述玻璃基底的折射率为1.8?2.2，并且所述玻璃基底在400nm的透过率大于90%。
[0010]在一个实施例中，所述阳极的材料为铟锡氧化物、铝锌氧化物或铟锌氧化物；
[0011]所述阳极的厚度为80nm?300nm。
[0012]一种有机电致发光器件的制备方法，包括以下步骤:
[0013]提供玻璃基底，并在所述玻璃基底表面磁控溅射制备阳极；
[0014]在所述阳极的表面电子束蒸镀制备氧化锌层，接着在所述氧化锌层上涂覆铯盐、聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合物的水溶液，干燥后得到铯盐层，所述氧化锌层和所述铯盐层组成散射层，所述混合物的水溶液中，所述聚3，4- 二氧乙烯噻吩和所述聚苯磺酸盐的质量比为3:1，所述聚3，4-二氧乙烯噻吩和所述铯盐的质量比为1:10?20，所述铯盐占所述混合物的水溶液的质量分数为1/6?2/7，所述铯盐为CsF、Cs2C03、CsN3或CsCl ；
[0015]在所述铯盐层上依次蒸镀制备空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极。
[0016]在一个实施例中，在所述玻璃基底表面磁控溅射制备阳极的操作中，磁控溅射的加速电压为300V?800V，磁场为50G?200G，功率密度为lW/cm2?40W/cm2。
[0017]在一个实施例中，在所述阳极的表面电子束蒸镀制备氧化锌层的操作中，电子束蒸镀的能量密度为lOW/cm2?lOOW/cm2，制备得到的所述氧化锌层的厚度为1nm?300nm。
[0018]在一个实施例中，在所述氧化锌层上涂覆铯盐、聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合物的水溶液，干燥后得到铯盐层的操作为:
[0019]将铯盐溶解在质量比为3:1的聚3，4-二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合溶液中，得到铯盐、聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合物的水溶液；
[0020]将所述混合物的水溶液旋涂在所述氧化锌层的表面，干燥后得到所述铯盐层，其中，旋涂的转速为2000rpm?6000rpm，旋涂的时间为1s?60s，所述铯盐层的厚度为20nm ?lOOnm。
[0021]在一个实施例中，在所述铯盐层上依次蒸镀制备空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极的操作中，工作压强为2X 10_3?5X 10_5Pa，有机材料的蒸镀速率为0.1?lnm/s,金属及金属化合物的蒸镀速率为I?10nm/s。
[0022]在一个实施例中，所述玻璃基底的折射率为1.8?2.2，并且所述玻璃基底在400nm的透过率大于90%。
[0023]这种有机电致发光器件的散射层包括氧化锌层和铯盐层，利用氧化锌的晶体结构对光发生散射，使向两侧发射的光可以回到中间，铯盐功函数较高且性质稳定，不易与空气中的水氧结合，同时可阻挡电子的穿越，有效避免了电子到达阳极与空穴复合产生漏电流，同时聚3，4- 二氧乙烯噻吩可提高器件的载流子浓度并提高导电性。相对于传统的有机电致发光器件，这种有机电致发光器件的出光效率较高。
【专利附图】
【附图说明】
[0024]图1为一实施方式的有机电致发光器件的结构示意图；
[0025]图2为一实施方式的有机电致发光器件的制备方法的流程图；
[0026]图3为实施例1制备的有机电致发光器件的亮度与流明效率关系图。
【具体实施方式】
[0027]为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的【具体实施方式】做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。
[0028]请参阅图1，一实施方式的有机电致发光器件包括依次层叠的玻璃基底10、阳极20、散射层30、空穴注入层40、空穴传输层50、发光层60、电子传输层70、电子注入层80及阴极90。
[0029]玻璃基底10的折射率为1.8?2.2，并且玻璃基底10在400nm的透过率大于90%。玻璃基底10优选为牌号为N-LAF36、N-LASF31A、N-LASF41A或N-LASF44的玻璃。
[0030]阳极20的材料为铟锡氧化物(ΙΤ0)、铝锌氧化物(AZO)或铟锌氧化物(ΙΖ0)，优选为ΙΤ0。阳极20的厚度为80nm?300nm，优选为120nm。
[0031]散射层30包括形成于阳极20表面的氧化锌层32和形成于氧化锌层32表面的铯盐层34。
[0032]氧化锌层32通过粒径为50?200nm的氧化锌颗粒，在电子束蒸镀的能量密度为10ff/cm2?100W/cm2的条件下电子束蒸镀制备。
[0033]氧化锌层32的厚度为1nm?300nm。
[0034]铯盐层34的材料为铯盐、聚3，4- 二氧乙烯噻吩(PEDOT)和聚苯磺酸盐(PSS)的混合物。其中，聚3，4-二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的质量比为3:1，聚3，4-二氧乙烯噻吩和铯盐的质量比为1: 10?20。
[0035]铯盐为CsF、Cs2CO3> CsN3 或 CsCl。
[0036]铯盐层34的厚度为20nm?lOOnm。
[0037]空穴注入层40的材料为三氧化钥(Mo03)、三氧化钨(WO3)或五氧化二钒(V2O5),厚度为20?80nm。优选的，空穴注入层40的材料为MoO3,空穴注入层40厚度为35nm。
[0038]空穴传输层50的材料为I, 1-二 [4_[N,N' -二(p_甲苯基)氨基]苯基]环己烷(TAPC)、4，4’，4’’_ 三(咔唑-9-基)三苯胺(TCTA)或 N，N，- (1_萘基)州，N，-二苯基-4，4’ -联苯二胺(NPB)，厚度为20?60nm。优选的，空穴传输层50的材料为NPB，空穴传输层50的厚度为50nm。
[0039]发光层60的材料为4_(二腈甲基)-2_ 丁基-6-( I, I, 7，7_四甲基久洛呢啶_9_乙烯基)-4H-吡喃(DCJTB)、9，10-二-β-亚萘基蒽(ADN)、4，4’_双(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1, I’ -联苯(BCzVBi)货8-羟基喹啉铝(Alq3),厚度为5?40nm。优选的，发光层60的材料为Alq3，发光层60的厚度为18nm。
[0040]电子传输层70的材料为4，7- 二苯基-1，10-菲罗啉(Bphen)、1，2，4_三唑衍生物(如TAZ)或N-芳基苯并咪唑(TPBI)，厚度为40?300nm。优选的，电子传输层70的材料为TAZ,电子传输层70的厚度为180nm。
[0041]电子注入层80的材料为碳酸铯(Cs2C03)、氟化铯(CsF)、叠氮铯(CsN3)或者氟化锂(LiF),厚度为0.5?10nm。优选的，电子注入层80的材料为CsF，电子注入层80的厚度为0.7nm。
[0042]阴极90的材料选自银(Ag)、铝(Al)、钼(Pt)及金(Au)中的至少一种，优选为Ag。阴极90的厚度为80nm?250nm，优选为120nm。
[0043]这种有机电致发光器件的散射层30包括氧化锌层32和铯盐层34，利用氧化锌的晶体结构对光发生散射，使向两侧发射的光可以回到中间，铯盐功函数较高且性质稳定，不易与空气中的水氧结合，同时可阻挡电子的穿越，有效避免了电子到达阳极与空穴复合产生漏电流，同时聚3，4- 二氧乙烯噻吩可提高器件的载流子浓度并提高导电性，最终提高了出光效率。
[0044]此外，通过采用折射率为1.8?2.2、在可见光透过率(一般标准为400nm处)为90%以上的玻璃基底10，可以使更多的光入射到玻璃基底10中。
[0045]可以理解，该有机电致发光器件中也可以根据需要设置其他功能层。
[0046]请同时参阅图2，上述有机电致发光器件的制备方法，其包括以下步骤:
[0047]步骤S10、提供玻璃基底10，并在玻璃基底10表面磁控溅射制备阳极20。
[0048]玻璃基底10为折射率为1.8?2.2的玻璃，在400nm透过率高于90%。玻璃基底10 优选为牌号为 N-LAF36、N-LASF31A、N-LASF41A 或 N-LASF44 的玻璃。
[0049]阳极20形成于玻璃基底10的一侧表面。阳极20的材料为铟锡氧化物(ΙΤ0)、铝锌氧化物(AZO)或铟锌氧化物(ΙΖ0)，优选为ΙΤ0。阳极20的厚度为80nm?300nm，优选为120nm。阳极20采用磁控派射制备。磁控派射的加速电压为300?800V,磁场为50?200G，功率密度为I?40W/cm2。
[0050]本实施方式中，玻璃基底10在使用前用蒸馏水、乙醇冲洗干净后，放在异丙醇中浸泡12小时?24小时。
[0051]步骤S20、在阳极20的表面电子束蒸镀制备氧化锌层32，接着在氧化锌层32上涂覆铯盐、聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合物的水溶液，干燥后得到铯盐层34，氧化锌层32和铯盐层34组成散射层30。
[0052]电子束蒸镀制备氧化锌层32的操作中，电子束蒸镀的能量密度为lOW/cm2?100W/cm2，制备得到的氧化锌层32的厚度为1nm?300nm。
[0053]其中，氧化锌的晶体结构对光发生散射，使向两侧发射的光可以回到中间。
[0054]混合物的水溶液中，聚3，4-二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的质量比为3:1，聚3，4-二氧乙烯噻吩和铯盐的质量比为1:10?20，铯盐占混合物的水溶液的质量分数为1/6 ?2/7，铯盐为 CsF、Cs2CO3> CsN3 或 CsCl。
[0055]在氧化锌层32上涂覆铯盐、聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合物的水溶液，干燥后得到铯盐层34的操作具体为:
[0056]将铯盐溶解在质量比为3:1的聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合溶液中，得到铯盐、聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合物的水溶液；
[0057]将混合物的水溶液旋涂在氧化锌层32的表面，干燥后得到铯盐层34，其中，旋涂的转速为2000rpm?6000rpm，旋涂的时间为1s?60s，所述铯盐层的厚度为20nm?10nm0
[0058]其中，铯盐功函数较高且性质稳定，不易与空气中的水氧结合，同时可阻挡电子的穿越，有效避免了电子到达阳极与空穴复合产生漏电流，同时聚3，4-二氧乙烯噻吩可提高器件的载流子浓度并提高导电性。
[0059]S30、在铯盐层34上依次蒸镀制备空穴注入层40、空穴传输层50、发光层60、电子传输层70、电子注入层80和阴极90。
[0060]蒸镀过程中，工作压强为2 X 10_3?5 X W5Pa,有机材料的蒸镀速率为0.1?lnm/s,金属及金属化合物的蒸镀速率为I?10nm/s。
[0061]空穴注入层40的材料为三氧化钥(Mo03)、三氧化钨(WO3)或五氧化二钒(V2O5),厚度为20?80nm。优选的，空穴注入层40的材料为MoO3,空穴注入层40厚度为35nm。
[0062]空穴传输层50的材料为I, 1-二 [4_[N,N' -二(p_甲苯基)氨基]苯基]环己烷(TAPC)、4，4’，4’’_ 三(咔唑-9-基)三苯胺(TCTA)或 N，N，- (1_萘基)州，N，-二苯基-4，4’ -联苯二胺(NPB)，厚度为20?60nm。优选的，空穴传输层50的材料为NPB，空穴传输层50的厚度为50nm。
[0063]发光层60的材料为4_(二腈甲基)-2_ 丁基-6-( I, I, 7，7_四甲基久洛呢啶_9_乙烯基)-4H-吡喃(DCJTB)、9，10-二-β-亚萘基蒽(ADN)、4，4’_双(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1, I’ -联苯(BCzVBi)货8-羟基喹啉铝(Alq3),厚度为5?40nm。优选的，发光层60的材料为Alq3，发光层60的厚度为18nm。
[0064]电子传输层70的材料为4，7- 二苯基-1，10-菲罗啉(Bphen)、1，2，4_三唑衍生物(如TAZ)或N-芳基苯并咪唑(TPBI)，厚度为40?300nm。优选的，电子传输层70的材料为TAZ,电子传输层70的厚度为180nm。
[0065]电子注入层80的材料为碳酸铯(Cs2C03)、氟化铯(CsF)、叠氮铯(CsN3)或者氟化锂(LiF),厚度为0.5?10nm。优选的，电子注入层80的材料为CsF，电子注入层80的厚度为0.7nm。
[0066]阴极90的材料选自银(Ag)、铝(Al)、钼(Pt)及金(Au)中的至少一种，优选为Ag。阴极90的厚度为80nm?250nm，优选为120nm。
[0067]这种有机电致发光器件制备方法，制备工艺简单；制备的有机电致发光器件的散射层30包括氧化锌层32和铯盐层34，利用氧化锌的晶体结构对光发生散射，使向两侧发射的光可以回到中间，铯盐功函数较高且性质稳定，不易与空气中的水氧结合，同时可阻挡电子的穿越，有效避免了电子到达阳极与空穴复合产生漏电流，同时聚3，4-二氧乙烯噻吩可提闻器件的载流子浓度并提闻导电性，最终提闻了出光效率。
[0068]此外，通过采用折射率为1.8?2.2、在可见光透过率(一般标准为400nm处)为90%以上的玻璃基底10，可以使更多的光入射到玻璃基底10中。
[0069]以下结合具体实施例对有机电致发光器件的制备方法进行详细说明。
[0070]本发明实施例及对比例所用到的制备与测试仪器为:高真空镀膜系统(沈阳科学仪器研制中心有限公司)，美国海洋光学Ocean Optics的USB4000光纤光谱仪测试电致发光光谱，美国吉时利公司的Keithley2400测试电学性能，日本柯尼卡美能达公司的CS-100A色度计测试亮度和色度。
[0071]实施例1
[0072]本实施例制备结构为玻璃基底/ITO/ZnO/CsF: PEDOT: PSS/Mo03/NPB/Alq3/TAZ/CsF/Ag的有机电致发光器件。其中，“/”表不层叠，“:”表不混合。
[0073]提供牌号为N-LASF44的玻璃作为玻璃基底，将玻璃基底用蒸馏水、乙醇冲洗干净后，放在异丙醇中浸泡一个晚上。接着在加速电压为700V，磁场为120G，功率密度为250W/cm2的条件下，在玻璃基底表面磁控溅射制备阳极。阳极的材料为ΙΤ0，厚度为120nm。
[0074]提供市售的粒径为150nm的氧化锌，在电子束能量密度为30W/cm2的条件下，在阳极上电子束蒸镀制备厚度为200nm的氧化锌层。将CsF溶解在质量比为3:1的聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合溶液中，得到CsF、聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合物的水溶液。混合物的水溶液中，聚3，4-二氧乙烯噻吩和CsF的质量比为1:12.5, CsF的占混合物的水溶液的质量分数为1/5。将混合物的水溶液旋涂在氧化锌层的表面，转速为4000rpm,时间为30s，干燥后得到厚度为80nm的铯盐层。
[0075]在工作压强为8X 10_4Pa，有机材料的蒸镀速率为0.2nm/s,金属及金属化合物的蒸镀速率为2nm/s的条件下，在铯盐层的表面依次蒸镀制备空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极。空穴注入层的材料为MoO3,厚度为35nm。空穴传输层的材料为NPB，厚度为50nm。发光层的材料为Alq3,厚度为18nm。电子传输层的材料为TAZ，厚度为180nm。电子注入层的材料为CsF，厚度为0.7nm。阴极的材料为Ag，厚度为120nm。
[0076]请参阅图3，所示为实施例1中制备的有机电致发光器件(曲线I)与对比例制备的结构为玻璃基底/IT0/Mo03/NPB/Alq3/TAZ/CsF/Ag的有机电致发光器件(曲线2)的流明效率与亮度的关系。对比例制备有机电致发光器件的步骤及各层厚度与实施例1均相同。
[0077]从图3可以看到，在不同亮度下，实施例1制备的有机电致发光器件的流明效率都比对比例的要大，实施例1的最大流明效率为5.31m/W，而对比例的仅为3.61m/W。同时，对比例的流明效率随着电流密度的增大而快速下降。这说明，这种散射层结构对光发生散射，阻挡电子的穿越，提闻导电性，有利于提闻出光效率。
[0078]以下各个实施例制备的有机电致发光器件的流明效率都与实施例1相类似，各有机电致发光器件也具有类似的流明效率，在下面不再赘述。
[0079]实施例2
[0080]本实施例制备结构为玻璃基底/IZ0/Zn0/Cs2C03: PEDOT: PSS/Mo03/TAPC/DCJBT/TAZ/Cs2C03/Pt的有机电致发光器件。其中，“/”表示层叠，“:”表示混合。
[0081]提供牌号为N-LAF36的玻璃作为玻璃基底，将玻璃基底用蒸馏水、乙醇冲洗干净后，放在异丙醇中浸泡一个晚上。接着在加速电压为300V，磁场为50G，功率密度为40W/cm2的条件下，在玻璃基底表面磁控溅射制备阳极。阳极的材料为ΙΖ0，厚度为80nm。
[0082]提供市售的粒径为50nm的氧化锌，在电子束能量密度为100W/cm2的条件下，在阳极上电子束蒸镀制备厚度为1nm的氧化锌层。将Cs2CO3溶解在质量比为3:1的聚3，4-二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合溶液中，得到Cs2CO3、聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合物的水溶液。混合物的水溶液中，聚3，4- 二氧乙烯噻吩和Cs2CO3的质量比为1:10，Cs2CO3占混合物的水溶液的质量分数为1/6。将混合物的水溶液旋涂在氧化锌层的表面，转速为6000rpm，时间为10s，干燥后得到厚度为20nm的铯盐层。
[0083]在工作压强为2X 10_3Pa，有机材料的蒸镀速率为lnm/s，金属及金属化合物的蒸镀速率为10nm/S的条件下，在铯盐层的表面依次蒸镀制备空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极。空穴注入层的材料为MoO3,厚度为40nm。空穴传输层的材料为TAPC，厚度为45nm。发光层的材料为DCJBT，厚度为8nm。电子传输层的材料为TAZ，厚度为65nm。电子注入层的材料为Cs2CO3，厚度为10nm。阴极的材料为Pt，厚度为80nm。
[0084]实施例3
[0085]本实施例制备结构为玻璃基底/AZO/ZnO/CsN3: PEDOT: PSS/V205/TCTA/ADN/Bphen/LiF/Al的有机电致发光器件。其中，“/”表示层叠，“:”表示混合。
[0086]提供牌号为N-LASF31A的玻璃作为玻璃基底，将玻璃基底用蒸馏水、乙醇冲洗干净后，放在异丙醇中浸泡一个晚上。接着在加速电压为800V，磁场为200G，功率密度为IW/cm2的条件下，在玻璃基底表面磁控溅射制备阳极。阳极的材料为AZO，厚度为300nm。
[0087]提供市售的粒径为200nm的氧化锌，在电子束能量密度为10W/cm2的条件下，在阳极上电子束蒸镀制备厚度为300nm的氧化锌层。将CsN3溶解在质量比为3:1的聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合溶液中，得到CsN3、聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合物的水溶液。混合物的水溶液中，聚3，4- 二氧乙烯噻吩和CsN3的质量比为1:20，CsN3占混合物的水溶液的质量分数为2/7。将混合物的水溶液旋涂在氧化锌层的表面，转速为2000rpm，时间为60s，干燥后得到厚度为10nm的铯盐层。
[0088]在工作压强为5X10_5Pa，有机材料的蒸镀速率为0.lnm/s，金属及金属化合物的蒸镀速率为lnm/s的条件下，在铯盐层的表面依次蒸镀制备空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极。空穴注入层的材料为V2O5，厚度为20nm。空穴传输层的材料为TCTA，厚度为60nm。发光层的材料为ADN，厚度为10nm。电子传输层的材料为Bphen，厚度为200nm。电子注入层的材料为LiF，厚度为0.5nm。阴极的材料为Al，厚度为lOOnm。
[0089]实施例4
[0090]本实施例制备结构为玻璃基底/ITO/ZnO/CsCl: PEDOT: PSS/Mo03/NPB/BCzVBi/Bphen/CsN3/Au的有机电致发光器件。其中，“/”表不层叠,“:”表不混合。
[0091]提供牌号为N-LASF41A的玻璃作为玻璃基底，将玻璃基底用蒸馏水、乙醇冲洗干净后，放在异丙醇中浸泡一个晚上。接着在加速电压为600V，磁场为100G，功率密度为30W/cm2的条件下，在玻璃基底表面磁控溅射制备阳极。阳极的材料为IT0，厚度为180nm。
[0092]提供市售的粒径为180nm的氧化锌，在电子束能量密度为60W/cm2的条件下，在阳极上电子束蒸镀制备厚度为180nm的氧化锌层。将CsCl溶解在质量比为3:1的聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合溶液中，得到CsCl、聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合物的水溶液。混合物的水溶液中，聚3，4-二氧乙烯噻吩和CsCl的质量比为1: 14，CsCl占混合物的水溶液的质量分数为7/32。将混合物的水溶液旋涂在氧化锌层的表面，转速为5000rpm,时间为20s，干燥后得到厚度为60nm的铯盐层。
[0093]在工作压强为2X 10_4Pa，有机材料的蒸镀速率为0.5nm/s,金属及金属化合物的蒸镀速率为6nm/s的条件下，在铯盐层的表面依次蒸镀制备空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极。空穴注入层的材料为MoO3，厚度为80nm。空穴传输层的材料为NPB，厚度为60nm。发光层的材料为BCzVBi，厚度为40nm。电子传输层的材料为Bphen，厚度为35nm。电子注入层的材料为CsN3,厚度为3nm。阴极的材料为Au，厚度为250nmo
[0094]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【权利要求】
1.一种有机电致发光器件，其特征在于，包括依次层叠的玻璃基底、阳极、散射层、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层及阴极； 所述散射层包括形成于所述阳极表面的氧化锌层和形成于所述氧化锌层表面的铯盐层，所述铯盐层的材料为铯盐、聚3，4-二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合物，所述聚3，4-二氧乙烯噻吩和所述聚苯磺酸盐的质量比为3:1，所述聚3，4-二氧乙烯噻吩和所述铯盐的质量比为1:10?20，所述铯盐为CsF、Cs2C03、CsN3或CsCl。
2.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述氧化锌层的厚度为1nm ?300nm ； 所述铯盐层的厚度为20nm?lOOnm。
3.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述玻璃基底的折射率为1.8?2.2，并且所述玻璃基底在400nm的透过率大于90%。
4.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述阳极的材料为铟锡氧化物、招锌氧化物或铟锌氧化物； 所述阳极的厚度为80nm?300nm。
5.一种有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: 提供玻璃基底，并在所述玻璃基底表面磁控溅射制备阳极； 在所述阳极的表面电子束蒸镀制备氧化锌层，接着在所述氧化锌层上涂覆铯盐、聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合物的水溶液，干燥后得到铯盐层，所述氧化锌层和所述铯盐层组成散射层，所述混合物的水溶液中，所述聚3，4- 二氧乙烯噻吩和所述聚苯磺酸盐的质量比为3 所述聚3，4-二氧乙烯噻吩和所述铯盐的质量比为1:10?20,所述铯盐占所述混合物的水溶液的质量分数为1/6?2/7，所述铯盐为CsF、Cs2C03、CsN3或CsCl ； 在所述铯盐层上依次蒸镀制备空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极。
6.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，在所述玻璃基底表面磁控溅射制备阳极的操作中，磁控溅射的加速电压为300V?800V，磁场为50G?200G，功率密度为 lW/cm2 ?40W/cm2。
7.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，在所述阳极的表面电子束蒸镀制备氧化锌层的操作中，电子束蒸镀的能量密度为lOW/cm2?lOOW/cm2，制备得到的所述氧化锌层的厚度为1nm?300nm。
8.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，在所述氧化锌层上涂覆铯盐、聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合物的水溶液，干燥后得到铯盐层的操作为: 将铯盐溶解在质量比为3:1的聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合溶液中，得到铯盐、聚3，4- 二氧乙烯噻吩和聚苯磺酸盐的混合物的水溶液； 将所述混合物的水溶液旋涂在所述氧化锌层的表面，干燥后得到所述铯盐层，其中，旋涂的转速为2000rpm?6000rpm，旋涂的时间为1s?60s，所述铯盐层的厚度为20nm?10nm0
9.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，在所述铯盐层上依次蒸镀制备空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极的操作中，工作压强为2 X 10_3?5 X 10_5Pa，有机材料的蒸镀速率为0.1?lnm/s，金属及金属化合物的蒸镀速率为I?lOnm/s。
10.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述玻璃基底的折射率为1.8?2.2，并且所述玻璃基底在400nm的透过率大于90%。
【文档编号】H01L51/54GK104425746SQ201310370421
【公开日】2015年3月18日 申请日期:2013年8月22日 优先权日:2013年8月22日
【发明者】周明杰, 黄辉, 钟铁涛, 王平 申请人:海洋王照明科技股份有限公司, 深圳市海洋王照明技术有限公司, 深圳市海洋王照明工程有限公司