一种用于半导体湿法清洗的装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于半导体湿法清洗的装置，包括底部支撑单元、花篮定位单元、有机化学液替代遮挡单元、氮气鼓泡单元。所述底部支撑单元与花篮定位单元通过不锈钢螺钉紧密连接在一起，然后将有机化学液替代遮挡单元通过定位杆与底部支撑单元结合在一起，最后在底部支撑单元下面放置氮气鼓泡单元达到均匀有机化学液浓度的目的。本实用新型装置可以有效的降低有机化学液的使用量，并且不会对有机化学液的特性和均匀性产生影响，从而影响原产品作业时的质量。
【专利说明】—种用于半导体湿法清洗的装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及节能环保型装置，特别是涉及一种用于半导体湿法清洗的装置。
【背景技术】
[0002]现有湿法清洗所使用的有机化学液槽为静态316L不锈钢槽，可以同时容纳两个6英寸花篮进行作业。此有机化学液槽可以进行5面加热，控温范围为室温到100°C，控温精度为土 1°C，其中丙酮槽可以进行超声波清洗，频率范围为40-270KHZ，基本满足现有工艺生产所需。
[0003]现有湿法清洗所使用的有机化学液包括EKC270、异丙醇(IPA)、丙酮(Acetone)三种，根据现有工艺要求更换周期为5天，每次更换有机化学液所需的使用量分别为:EKC 7瓶，每瓶lgallon，共计7gallon ;异丙醇14瓶，每瓶4升，共计56升；丙酮7瓶，每瓶4升，共计28升。
[0004]鉴于目前湿法清洗的现状，有机化学液使用量大，周期长，无法进行化学液循环的条件下，在现有设备的基础上进行改造，使改造后的设备能够在不改变化学液使用周期和化学特性的前提下减小化学液的使用量，已达到节约化学液使用成本的目的。
[0005]预计改造后每次换液时每个化学液槽所使用的化学液将最少减少I瓶的使用量，共计EKC2701瓶，异丙醇(IPA)2瓶，丙酮(Acetone) I瓶。每年累计换液约50次左右，共计可以节约EKC27050瓶，异丙醇(IPA) 100瓶，丙酮(Acetone) 50瓶。
[0006]随着生产的继续，节约的成本也越来越多。特别是到后期产量的增加势必会导致化学液更换周期的缩短、有机化学液更换频率的增加，节约的化学液也就越来越多。这种成本上的节约更能为公司的产品降低成本，提高公司产品在市场上的竞争力，为公司获得更多的利润和效益。
实用新型内容
[0007]为实现上述目的，本实用新型提供了，
[0008]一种用于半导体湿法清洗的装置，所述装置包括底部支撑单元、花篮定位单元、有机化学液替代遮挡单元和氮气鼓泡单元；
[0009]其中，所述底部支撑单元，用于花篮的支撑以及增加花篮与有机化学液槽底板之间的闻度；
[0010]其中，所述花篮定位单元，通过螺钉与底部支撑单元连接在一起，以对花篮在有机化学液槽内的位置进行定位；
[0011]其中，所述有机化学液替代遮挡单元，通过定位杆与底部支撑单元结合在一起，以替代有机有机化学液体积；
[0012]其中，所述氮气鼓泡单元，放置在底部支撑单元下面，以均匀有机化学液浓度。
[0013]所述底部支撑板所使用材料为长方形不锈钢板，并在其上开有数个螺纹孔以及圆角方形孔。其中螺纹孔用于支撑支架和固定花篮定位单元；圆角方形孔用于氮气鼓泡单元对有机化学液槽底部的有机有机化学液与上部进行浓度均衡使用，以及固定有机化学液替代遮挡单元。
[0014]所述花篮定位单元所使用材料为聚四氟乙烯，形状为不规则长方体，并在其上开有数个圆孔。其作用在于固定花篮在有机化学液槽内的作业位置，以及通过这些圆孔均匀有机化学液的浓度。
[0015]所述有机化学液替代遮挡单元所使用材料为不锈钢，形状为其中两对立面中间带有通孔的密封立方体；附属配件有两种，一种是两端带有螺纹的不锈钢实心杆，另外一种是配合不锈钢实心杆使用的不锈钢片。此单元的作用是替代有机化学液在有机化学液槽内的体积，以及防止不锈钢立方体漂浮在有机化学液表面，进行影响作业中的产品。
[0016]所述氮气鼓泡单元所用材料为不锈钢管，形状为“回”字型；在其中部分不锈钢管上规则的打出一排小孔，这些小孔只打通单层管壁，不打通整个不锈钢管。此单元的作用为氮气通过进气口进入到不锈钢管内，然后通过管壁上打出来的小孔喷出形成气泡，这些气泡通过底部支撑板上的圆角方形孔扩散到有机化学液内，由气泡自身浮力运动到有机化学液表面，通过此过程以达到均匀化学液浓度的目的。
[0017]由上述技术方案可知，本实用新型装置相对于现有其他类型支架的方案拥有全新的设计理念，既拥有固定作业花篮的作用又可以有效的减少化学液的使用量并且不会对现有工艺产生影响。从结构上看也非常简单，只是单纯的物理连接在一起，拆卸都非常方便。不管是只作业一个花篮或者两个花篮同时作业都可以灵活方便的应用在有机化学液清洗槽中。
[0018]通过以下参照附图对优选实施例的说明，本实用新型的上述以及其它目的、特征和优点将更加明显。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1为本实用新型所需放置的有机化学液槽；
[0020]图2为本实用新型的底部支撑单元；
[0021]图3(a)和图3(b)为本实用新型的花篮定位单元的两种不同实施方式；
[0022]图4(a)和图4(b)为本实用新型的有机化学液替代遮挡单元的两种不同实施方式；
[0023]图5为本实用新型的氮气鼓泡单元；
[0024]图6为本实用新型装置组装好后放在有机化学液槽内的示意图。
【具体实施方式】
[0025]下面将结合具体实施例对本实用新型进行详细描述。应当注意，这里描述的实施例只用于举例说明，并不用于限制本实用新型。
[0026]本实用新型装置主要应用在有机湿法清洗上，该装置由底部支撑单元、花篮定位单元、有机化学液替代遮挡单元、氮气鼓泡单元组成。
[0027]如图1所示，该有机化学液槽正常作业时需加入7瓶化学液，每瓶容积为4升，在加入本装置后只需加入5瓶化学液即可达到正常作业的使用要求。
[0028]本实用新型装置内，底部支撑单元用于花篮的支撑以及增加花篮与有机化学液槽底板之间的高度，所述底部支撑板所使用材料为长方形316L不锈钢板，并在其上开有数个螺纹孔以及圆角方形孔，其中螺纹孔用于支撑支架和固定花篮定位单元；圆角方形孔用于氮气鼓泡单元对有机化学液槽底部的有机有机化学液与上部进行浓度均衡使用，以及固定有机化学液替代遮挡单元。具体的，如图2所示，该底部支撑单元在周边有6个螺纹孔，即孔1，孔I沿第一矩形框201分布于底部支撑单元边沿处，其中的4个位于第一矩形框201顶角处，其余两个位于第一矩形框201长边中央与中轴线X的相交处，不锈钢螺钉通过这6个螺纹孔可以调节该支撑板与化学液槽底面之间的高度；支撑单元底部还有14个螺纹孔孔2，孔2的内径小于孔I的内径，其中的12个沿第二矩形框202的矩形边均匀分布于，其余两个在中轴线X上均匀分布；支撑单元底部还有4排不连续的圆角方形孔，即孔3，4排圆角方孔在底部支撑单元的中轴线X两侧均匀对称分布，每一排孔3的中心分别位于在中轴线X两侧均匀分布的第一、第二、第三和第四轴心线203、204、205和206上，孔3的作用为使化学液分子间的运动进行的更加流畅，也有均匀化学液浓度的作用。
[0029]花篮定位单元所使用材料为特氟龙，即聚四氟乙烯，形状为不规则长方体，并在其上开有数个圆孔，其作用在于固定花篮在有机化学液槽内的作业位置，以及通过这些圆孔均匀有机化学液的浓度。具体的，如图3(a)和图3(b)所示，其中，图3(a)和图3(b)为本实用新型的花篮定位单元的两种不同实施方式；该单元通过不锈钢螺钉与图2所示的底部支撑单元通过孔2连接在一起。所述花篮定位单元一共有7个部分组成，其中6个为相同结构，分别放置在底部支撑单元的四周，最后一个为与其它6个些许不同，放置在支撑单元中间，由于隔离两个花篮用。这7个部分分别都有分布均匀的5个孔，这5个孔的作用是使化学液分子间的运动进行的更加流畅，也有均匀化学液浓度的作用。
[0030]所述有机化学液替代遮挡单元的作用是替代有机化学液在有机化学液槽内的体积，以及防止不锈钢立方体漂浮在有机化学液表面，进行影响作业中的产品。该单元所使用材料为316L不锈钢，形状为其中两对立面中间带有通孔的密封立方体；附属配件有两种，一种是两端带有螺纹的316L不锈钢实心杆，另外一种是配合不锈钢实心杆使用的316L不锈钢片。具体的，如图4(a)和图4(b)所示，其中图4(a)和图4(b)分别为本实用新型的有机化学液替代遮挡单元的两种不同实施方式；该单元通过不锈钢螺纹杆与图2所示的底部支撑单元机械连接在一起。其中不锈钢螺纹杆需要穿透整个不锈钢密封立方体，这就需要在不锈钢密封立方体上开孔，而开孔后势必就不能保证立方体的密封，所以还需要在孔的两端加上一根不锈钢管来进行立方体的密封。此单元由于是密封的立方体结构，在放入化学液内时肯定会由于自身的浮力作用而漂浮起来，不锈钢螺纹杆的作用就是将此密封立方体牢牢的固定在底部支撑单元上，使其始终在液面以下，从而起到替代遮挡化学液的作用。
[0031]所述氮气鼓泡单元所用材料为316L不锈钢管，形状为“回”字型；在其中部分不锈钢管上规则的打出一排小孔，这些小孔只打通单层管壁，不打通整个不锈钢管。此单元的作用为氮气通过进气口进入到不锈钢管内，然后通过管壁上打出来的小孔喷出形成气泡，这些气泡通过底部支撑板上的圆角方形孔扩散到有机化学液内，由气泡自身浮力运动到有机化学液表面，通过此过程以达到均匀化学液浓度的目的。具体的，如图5所示，该单元放置在图2所示的底部支撑单元下面，氮气通过该单元上的小孔扩散出来，根据气泡的浮力作用向上漂浮到液体表面。这个过程中气泡的运动过程可以理解为对化学液进行搅拌的过程，使其浓度达到均匀，从而不影响作业时的质量。
[0032]图6为本实用新型装置组装好后放入有机化学液槽内的示意图。
[0033]通过以上的描述，本实用新型装置组装好后放入有机化学液槽内，经过实际加液的验证，只需加入5瓶化学液就可以达到未安装本实用新型装置前的液位。节约了2瓶化学液的量，相当于每个化学液槽每次加液都可以节省加液总量的28.6%，比预计的节约量多了 I倍，在节约化学药液方面是相当成功的。
[0034]在使用本实用新型装置后，又进行了大量的实验作业的验证。从实验结果来看，使本实用新型装置作业的产品与未使用本装置前的产品效果完全相同，未对作业产品的质量产生影响，现已经推广至所有有机湿法清洗工艺中。随着生产的继续、产量的增加，有机化学液的使用量也会随之增加，在加入本装置后直接节约的化学液也会成倍的增加，节约的越多相对于产品的成本也就越低，也就会直接给公司的产品带来更强劲的价格竞争力，给公司带来更加丰厚的效益。
[0035]虽然已参照上述实施例描述了本实用新型，但应当理解，所用的术语是说明和示例性、而非限制性的术语。由于本实用新型能够以多种形式具体实施而不脱离实用新型的精神或实质，所以应当理解，上述实施例不限于任何前述的细节，而应在随附权利要求所限定的精神和范围内广泛地解释，因此落入权利要求或其等效范围内的全部变化和改型都应为随附权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种用于半导体湿法清洗的装置，所述装置包括底部支撑单元、花篮定位单元、有机化学液替代遮挡单元和氮气鼓泡单元； 其中，所述底部支撑单元，用于花篮的支撑以及增加花篮与有机化学液槽底板之间的高度； 其中，所述花篮定位单元，通过螺钉与底部支撑单元连接在一起，以对花篮在有机化学液槽内的位置进行定位； 其中，所述有机化学液替代遮挡单元，通过定位杆与底部支撑单元结合在一起，以替代有机有机化学液体积； 其中，所述氮气鼓泡单元，放置在底部支撑单元下面，以均匀有机化学液浓度。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述底部支撑板所使用材料为长方形不锈钢板，并在其上开有数个螺纹孔以及圆角方形孔； 其中，螺纹孔用于支撑支架和固定花篮定位单元；圆角方形孔用于氮气鼓泡单元对有机化学液槽底部的有机有机化学液与上部进行浓度均衡使用，以及固定有机化学液替代遮挡单元。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述花篮定位单元所使用材料为聚四氟乙烯，形状为不规则长方体，并在其上开有数个圆孔；所述圆孔的作用在于固定花篮在有机化学液槽内的作业位置，以及通过这些圆孔均匀有机化学液的浓度。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述有机化学液替代遮挡单元所使用材料为不锈钢，形状为其中两对立面中间带有通孔的密封立方体。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述有机化学液替代遮挡单元的附属配件包括:两端带有螺纹的不锈钢实心杆，或配合不锈钢实心杆使用的不锈钢片。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述氮气鼓泡单元所用材料为不锈钢管，形状为“回”字型；其中，在部分不锈钢管上规则的打出一排小孔，这些小孔只打通单层管壁，不打通整个不锈钢管。
【文档编号】H01L21/02GK203932013SQ201420269354
【公开日】2014年11月5日 申请日期:2014年5月23日 优先权日:2014年5月23日
【发明者】万林林, 雷述宇 申请人:北方广微科技有限公司