防打滑硅片传送装置的制作方法

文档序号:11136467阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种防打滑硅片传送装置,包括支架(6)和带轮传动机构,所述带轮传动机构包括主动轮(3)、从动轮(4)和皮带(5),所述主动轮(3)和从动轮(4)均回转支承于所述支架(6)上,所述主动轮(3)由驱动装置驱动,所述主动轮(3)通过皮带(5)与从动轮(4)构成传动,其特征在于:所述支架(6)上依次设有清洗盒(7)、擦干盒(8)和风机(9),位于主动轮和从动轮(4)下方的皮带(5)穿过清洗盒(7)和擦干盒(8),所述风机(9)设置在皮带(5)的下方。

2.如权利要求1所述的防打滑硅片传送装置,其特征在于:所述驱动装置包括电机(1)和减速机构(2),电机(1)输出轴通过减速机构(2)与主动轮(3)连接。

3.如权利要求1所述的防打滑硅片传送装置,其特征在于:所述带轮传动机构数量为2组,2组带轮传动机构平行设置。

4.如权利要求1所述的防打滑硅片传送装置,其特征在于:所述清洗盒(7)内装有酒精。

5.如权利要求1所述的防打滑硅片传送装置,其特征在于:所述擦干盒(8)内设有抹布。

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