技术总结
本发明涉及一种防打滑硅片传送装置，包括支架和带轮传动机构，带轮传动机构包括主动轮、从动轮和皮带，主动轮和从动轮均回转支承于支架上，主动轮由驱动装置驱动，主动轮通过皮带与从动轮构成传动，支架上依次设有清洗盒、擦干盒和风机，位于主动轮和从动轮下方的皮带穿过清洗盒和擦干盒，风机设置在皮带的下方。本发明的硅片传送装置在主动轮下方依次设置清洗盒、擦干盒和风机，将硅片掉落在皮带表面的铝粉清理干净，防止硅片在皮带上传送时打滑偏移，提高传送平稳性和效率。
技术研发人员：王少华;吴佳俊;吴俊;邹海军
受保护的技术使用者：常州亿晶光电科技有限公司
文档号码：201610475032
技术研发日：2016.06.24
技术公布日：2017.02.15