一种大面积非层状结构NiSe纳米薄膜的制备方法与流程

文档序号:11870069阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种大面积非层状结构NiSe纳米薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1) NiSe纳米薄膜的制备:选择厚度为50 μm、纯度为99.99%的Ni箔在通有10 sccm H2和20 sccm Ar 的低压气氛中,450-550 ℃退火25-35 min,去除Ni箔表面的氧化物;退火完之后,利用电子束蒸发的方法在Ni箔表面沉积ZnSe薄膜,在整个沉积过程中,真空度保持在1×10-4-3×10-4 Pa;随后将ZnSe/Ni箔在1.5×10-4-2.5×10-4 Pa的真空度下650-750 ℃退火25-35 min,得到NiSe纳米膜;

(2) NiSe纳米薄膜的转移:在50 μm厚的Ni箔表面得到的NiSe纳米薄膜上旋涂浓度为80-120 mg/ml PMMA,旋涂条件为:先在400-600 r/min的转速下匀胶甩胶5-7 s,然后在1500-2500 r/min的转速下匀胶30-50 s;旋涂完之后放置于加热台上70-90 ℃烘烤4-6 min;然后将PMMA/NiSe/Ni箔放入2.0 mol/L FeCl3的溶液中刻蚀Ni箔;在Ni箔刻蚀完之后,将PMMA/NiSe膜放置于去离子水中清洗其表面残留的FeCl3刻蚀液;接着,将SiO2/Si基底捞起PMMA支撑的NiSe纳米薄膜;待完全风干后,将PMMA/NiSe/SiO2/Si放置于通有10 sccm H2和20 sccm Ar 的低压气氛中,350-450 ℃退火1-3 h除去PMMA,即得到了转移至SiO2/Si基底上的NiSe纳米薄膜;

(3) NiSe纳米薄膜光探测器的构筑:在NiSe纳米薄膜转移至SiO2/Si基底上后,利用光刻的方法构造出长度为5 μm,宽度为10 μm的沟道;通过高真空热蒸发系统沉积10/35 nm Cr/Au来制作电极。

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