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一种光探测器件的制作方法
文档序号:12370103
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来源:国知局
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一种光探测器件的制作方法与工艺
技术总结
本发明提供了一种光探测器件,采用反射层进行隔离所述发射辐射的半导体芯片和多个探测辐射的半导体芯片,保证发射和探测的独立性,防止其相互干扰,提高探测的准确度,并且,利用圆台形的第一腔进行发射辐射信号,保证发射准直度,而利用截面为倒立等腰梯形的环形腔进行探测辐射的容置腔,可以保证最大化的接收反馈信号。
技术研发人员:
张为凤
受保护的技术使用者:
张为凤
文档号码:
201610750574
技术研发日:
2016.08.30
技术公布日:
2017.01.04
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