1.一种搬送装置，其具备：
第1支承部，对基板的一面供给气体，能通过该气体悬浮支承所述基板；
第2支承部，能支承所述基板的所述一面；
驱动部，使所述第1及第2支承部的至少一个移动，使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向；以及
移送部，将通过所述驱动部而排列的所述第1及第2支承部的一方所支承的所述基板沿所述第1方向往另一方侧移动。
2.如权利要求1所述的搬送装置，其中，所述驱动部，将所述第1及第2支承部于所述第1方向排列成所述第1及第2支承部的一方所支承的所述基板，配置于较所述第1及第2支承部的另一方高的位置。
3.如权利要求2所述的搬送装置，其中，所述驱动部，将所述第1及第2支承部于所述第1方向排列成支承有所述基板的所述第1及第2支承部的一方的上面部，配置于较所述第1及第2支承部的另一方的上面部高的位置。
4.如权利要求1至3项中任一项所述的搬送装置，其中，所述驱动部设置成至少一部分与所述第2支承部为一体。
5.如权利要求1至4项中任一项所述的搬送装置，其中，所述驱动部设成至少一部分能与所述第1支承部一体移动。
6.如权利要求1至5项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第2支承部，对所述基板的所述一面供给气体，能通过该气体悬浮支承所述基板。
7.如权利要求1至6项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第1及第2支承部配置成至少一部分在俯视下彼此重叠，所述驱动部使所述第1及第2支承部移动于至少垂直方向。
8.如权利要求1至7项中任一项所述的搬送装置，其中，所述移送部，具有以接触于所述基板下面的状态旋转的滚子机构与规定所述基板对所述第1或第2支承部的位置的位置规定部；
所述滚子机构，以使所述位置规定部抵接的方式移动所述基板。
9.如权利要求1至7项中任一项所述的搬送装置，其中，所述移送部，具有吸附保持所述基板的端部的吸附机构与检测所述基板对所述第1或第2支承部的位置的位置检测部；
所述吸附机构，根据所述位置检测部的检测结果移动所述基板。
10.如权利要求1至9项中任一项所述的搬送装置，其具有使支承所述基板的所述第1或第2支承部的上面部倾斜的倾斜机构。
11.如权利要求1至10项中任一项所述的搬送装置，其具备检测所述第1支承部与所述第2支承部的相对位置的位置检测部。
12.一种搬送装置，其具备：
第1支承部，对基板的一面供给气体，能通过该气体悬浮支承所述基板；
第2及第3支承部，能支承所述基板的所述一面；
第1驱动部，使所述第1及第2支承部的至少一个移动，使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向；
第2驱动部，使所述第1及第3支承部的至少一个移动，使该第1及第3支承部彼此接近或接触并排列于第2方向；
第1移送部，将通过所述第1驱动部而排列于所述第1支承部的所述第2支承部所支承的所述基板沿所述第1方向往所述第1支承部侧移动；以及
第2移送部，将通过所述第2驱动部而排列于所述第3支承部的所述第1支承部所支承的所述基板沿所述第2方向往所述第3支承部侧移动。
13.如权利要求12所述的搬送装置，其中，所述第1驱动部，将所述第1及第2支承部于所述第1方向排列成所述第2支承部所支承的所述基板，配置于较所述第1支承部高的位置。
14.如权利要求13所述的搬送装置，其中，所述第1驱动部，将所述第1及第2支承部于所述第1方向排列成支承有所述基板的所述第2支承部的上面部，配置于较所述第1支承部的上面部高的位置。
15.如权利要求12至14项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第2驱动部，将所述第1及第3支承部于所述第2方向排列成所述第1支承部所支承的所述基板，配置于较所述第3支承部高的位置。
16.如权利要求15所述的搬送装置，其中，所述第2驱动部，将所述第1及第3支承部于所述第2方向排列成支承有所述基板的所述第1支承部的上面部，配置于较所述第3支承部的上面部高的位置。
17.如权利要求12至16项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第1驱动部设置成至少一部分与所述第2支承部为一体；
所述第2驱动部设置成至少一部分与所述第3支承部为一体。
18.如权利要求12至17项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第1及第2驱动部，分别设成至少一部分能与所述第1支承部一体移动。
19.如权利要求12至18项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第2及第3支承部配置于同一水平面内的相异位置。
20.如权利要求12至19项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第2及第3支承部配置成至少一部分在俯视下彼此重叠，所述第1及第2驱动部，分别使所述第2及第3支承部移动于至少垂直方向。
21.如权利要求12至20项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第2支承部及所述第3支承部的至少一方，对所述基板的所述一面供给气体，能通过该气体悬浮支承所述基板。
22.如权利要求12至21项中任一项所述的搬送装置，其具有使支承所述基板的所述第2支承部的上面部倾斜的第1倾斜机构与使支承所述基板的所述第1支承部的上面部倾斜的第2倾斜机构。
23.如权利要求12至22项中任一项所述的搬送装置，其具备检测所述第1支承部与所述第2或所述第3支承部的相对位置的位置检测部。
24.如权利要求12至23项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第1移送部及第2移送部的至少一方，具有以接触于所述基板下面的状态旋转的滚子机构、与规定作为所述基板的移动目的地的所述基板对所述第1支承部或第2支承部的位置的位置规定部；
所述滚子机构，以使所述位置规定部抵接的方式移动所述基板。
25.如权利要求12至23项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第1移送部及第2移送部的至少一个，具有吸附保持所述基板的端部的吸附机构、与检测作为所述基板的移动目的地的所述基板对所述第1支承部或第2支承部的位置的位置检测部；
所述吸附机构，根据所述位置检测部的检测结果移动所述基板。
26.如权利要求12至25项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第1驱动部排列所述第1及第2支承部的所述第1方向与所述第2驱动部排列所述第1及第3支承部的所述第2方向平行。
27.如权利要求1至20项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第1支承部停止所述气体的供给后将该基板载置于上面部。
28.一种搬送方法，搬送基板，其包含：
使能通过对所述基板的一面供给的气体以悬浮支承所述基板的第1支承部、及能支承所述基板的所述一面的第2支承部的至少一方移动，以使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向的动作；以及
将所排列的所述第1及第2支承部的一方所支承的所述基板沿所述第1方向往另一方侧移动的动作。
29.如权利要求28所述的搬送方法，其将所述第1及第2支承部于所述第1方向排列成所述第1及第2支承部的一方所支承的所述基板，配置于较所述第1及第2支承部的另一方高的位置。
30.一种搬送方法，搬送基板，其包含：
使能通过对所述基板的一面供给的气体以悬浮支承所述基板的第1支承部及能支承所述基板的所述一面的第2支承部的至少一方移动，以使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向的动作；
将排列于所述第1支承部的所述第2支承部所支承的所述基板沿所述第1方向往所述第1支承部侧移动的动作；
使所述第1支承部及能支承所述基板的所述一面的第3支承部的至少一方移动，以使该第1及第3支承部彼此接近或接触并排列于第2方向的动作；以及
将排列于所述第3支承部的所述第1支承部所支承的所述基板沿所述第2方向往所述第3支承部侧移动的动作。
31.如权利要求30所述的搬送方法，其将所述第1及第2支承部于所述第1方向排列成所述第2支承部所支承的所述基板，配置于较所述第1支承部高的位置。
32.如权利要求30或31所述的搬送方法，其将所述第1及第3支承部于所述第2方向排列成所述第1支承部所支承的所述基板，配置于较所述第3支承部高的位置。
33.如权利要求30至32项中任一项所述的搬送方法，其中，所述第1支持部相对配置于同一水平面内相异位置的所述第2支承部及所述第3支承部，沿所述第2支承部及所述第3支承部的排列方向移动。
34.如权利要求30至32项中任一项所述的搬送方法，其中，通过所述第1支承部与配置成至少一部分在俯视下彼此重叠且配置于在垂直方向相异位置的所述第2及第3支承部进行相对移动，以排列所述第1、及第2或第3支承部。
35.一种曝光装置，以曝光用光使基板曝光，其具备：
保持所述基板并使所述基板移动至所述曝光用光的照射区域的权利要求1至27项中任一项所述的搬送装置。
36.一种元件制造方法，其包含：
使用权利要求35所述的曝光装置进行涂布有感光剂的所述基板的曝光，以于该基板转印图案的动作；
使通过所述曝光而曝光的所述感光剂显影，以形成对应所述图案的曝光图案层的动作；以及
通过所述曝光图案层加工所述基板的动作。
37.一种搬送装置，其具备：
第1支承部，对基板的一面供给气体，能通过该气体悬浮支承所述基板；
第2支承部，能支承所述基板的所述一面；
驱动部，使所述第1及第2支承部的至少一个移动，使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列；
移送部，将通过所述驱动部而排列的所述第2支承部所支承的所述基板沿所述排列方向往所述第1支承部侧移动；
顶起机构，支承因停止所述气体的供给而被载置于所述第1支承部的载置部的所述基板，并往该载置部的上方顶起；以及
搬出机构，将通过该顶起机构而被支承于所述载置部上方的所述基板从所述第1支承部搬出。
38.如权利要求37所述的搬送装置，其中，所述顶起机构，具备：对所述载置部上下动的复数个可动构件；以及
架设于至少两个所述可动构件且能支承所述基板的至少一个支承构件；
所述可动构件，以所述支承构件的与所述基板的接触部对所述载置部突出没入的方式上下动。
39.如权利要求38所述的搬送装置，其中，所述支承构件包含相对至少两个所述可动构件架设于第1方向的复数个第1架设部及架设于第2方向的复数个第2架设部，形成为格子形状。
40.如权利要求39所述的搬送装置，其中，复数个所述支承构件，沿所述第1方向配置于所述格子形状的长边方向，并沿所述第2方向彼此相隔间隔配置。
41.如权利要求38至40项中任一项所述的搬送装置，其中，所述可动构件设成从所述第1支承部突出。
42.如权利要求38至41项中任一项所述的搬送装置，其中，所述支承构件收纳于所述第1支承部中与所述载置部相异的位置。
43.如权利要求42所述的搬送装置，其中，所述载置部包含被形成于所述第1支承部的槽状凹部区划的复数个部分载置部；
所述支承构件收纳于所述凹部。
44.如权利要求43所述的搬送装置，其中，所述可动构件设成从所述凹部突出。
45.如权利要求38至44项中任一项所述的搬送装置，其中，所述搬出机构包含承接被所述支承构件支承的所述基板的叉部。
46.如权利要求45所述的搬送装置，其中，所述顶起机构具备复数个所述支承构件；
所述叉部在相邻的所述支承构件间支承所述基板。
47.如权利要求37所述的搬送装置，其中，所述载置部包含被形成于所述第1支承部的槽状凹部区划的复数个部分载置部；
所述顶起机构包含通过在插入所述凹部的状态下上升而支承所述基板的下面的叉部。
48.如权利要求47所述的搬送装置，其中，所述顶起机构包含：驱动部，驱动支承所述基板的叉部使其移动至与所述第1支承部相异的位置，该顶起机构兼作为所述搬出机构。
49.如权利要求37所述的搬送装置，其中，所述顶起机构包含保持所述基板并上升的保持部。
50.如权利要求49所述的搬送装置，其中，所述保持部以非接触状态保持所述基板。
51.如权利要求49或50所述的搬送装置，其中，所述顶起机构具有复数个所述保持部。
52.如权利要求49至51项中任一项所述的搬送装置，其中，所述顶起机构包含支承所述基板的端部的支承构件。
53.如权利要求49至52项中任一项所述的搬送装置，其中，所述顶起机构包含：驱动部，驱动保持所述基板的所述保持部使其移动至与所述第1支承部相异的位置，该顶起机构兼作为所述搬出机构。
54.如权利要求37至53项中任一项所述的搬送装置，其中，所述驱动部，将所述第1及第2支承部排列成所述第2支承部所支承的所述基板，配置于较所述第1支承部高的位置。
55.如权利要求54所述的搬送装置，其中，所述驱动部，将所述第1及第2支承部排列成支承有所述基板的所述第2支承部的上面部，配置于较所述第1支承部的上面部高的位置。
56.如权利要求37至55项中任一项所述的搬送装置，其中，所述驱动部设置成至少一部分与所述第2支承部为一体。
57.如权利要求37至56项中任一项所述的搬送装置，其中，所述驱动部设成至少一部分能与所述第1支承部一体移动。
58.如权利要求37至57项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第2支承部，对所述基板的所述一面供给气体，能通过该气体悬浮支承所述基板。
59.如权利要求37至58项中任一项所述的搬送装置，其中，所述移送部，具有以接触于所述基板的下面的状态旋转的滚子机构与规定所述基板对所述第1或第2支承部的位置的位置规定部；
所述滚子机构，以使所述位置规定部抵接的方式移动所述基板。
60.如权利要求37至59项中任一项所述的搬送装置，其中，所述移送部，具有吸附保持所述基板的端部的吸附机构与检测所述基板对所述第1或第2支承部的位置的位置检测部；
所述吸附机构，根据所述位置检测部的检测结果移动所述基板。
61.如权利要求37至60项中任一项所述的搬送装置，其具有使支承所述基板的所述第1或第2支承部的上面部倾斜的倾斜机构。
62.如权利要求37至61项中任一项所述的搬送装置，其具备检测所述第1支承部与所述第2支承部的相对位置的相对位置检测部。
63.一种搬送方法，搬送基板，其包含：
使能通过对所述基板的一面供给的气体以悬浮支承所述基板的第1支承部及能支承所述基板的所述一面的第2支承部的至少一方移动，以使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列的动作；
将所排列的所述第2支承部所支承的所述基板沿所述排列方向往所述第1支承部侧移送的动作；
通过停止所述气体的供给，支承载置于所述第1支承部的载置部的所述基板并往该载置部的上方顶起的动作；以及
将被支承于所述载置部上方的所述基板从所述第1支承部搬出的动作。
64.如权利要求63所述的搬送方法，其将所述第1及第2支承部排列成所述第2支承部所支承的所述基板较所述第1支承部高。
65.一种曝光装置，以曝光用光使基板曝光，其具备：
保持所述基板并使所述基板移动至所述曝光用光的照射区域的权利要求37至62项中任一项所述的搬送装置。
66.一种元件制造方法，其包含：
使用权利要求65所述的曝光装置进行涂布有感光剂的所述基板的曝光，以于该基板转印图案的动作；
使通过所述曝光而曝光的所述感光剂显影，以形成对应所述图案的曝光图案层的动作；以及
通过所述曝光图案层加工所述基板的动作。