技术总结
搬送装置，具备：第1支承部(3)，对基板的一面供给气体，能通过气体悬浮支承基板；第2支承部(400)，能支承基板的一面；驱动部(402)，使第1及第2支承部的至少一个移动，使第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向；以及移送部，将通过驱动部而排列的第1及第2支承部的一方所支承的基板沿第1方向往另一方侧移动。
技术研发人员：金城麻子;牛岛康之;花崎哲嗣
受保护的技术使用者：株式会社尼康
文档号码：201611216877
技术研发日：2011.02.17
技术公布日：2017.06.20