技术总结
本实用新型涉及一种基板移送装置及包括其的基板处理系统，对进行药液涂覆工艺处理的基板进行移送的基板移送装置包括：振动板，其利用通过超声波产生的振动能来使得基板悬浮；移送部件，其使得通过振动板悬浮的基板移送；偏差补偿部，其对悬浮的基板和移送部件之间的高度偏差进行补偿，据此可得到的效果在于，使得基板的悬浮高度及悬浮姿势保持一致。
技术研发人员：李气雨;赵珳技
受保护的技术使用者：K.C.科技股份有限公司
文档号码：201621461472
技术研发日：2016.12.29
技术公布日：2017.10.03