半导体存储器的制作方法

文档序号:26080492发布日期:2021-07-30 13:30阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体存储器,包括衬底以及位于所述衬底上的电容器阵列和支撑层,所述电容器阵列中的电容器包括下电极(10)、介电层和上电极,各所述下电极(10)通过所述支撑层与至少一个相邻的所述下电极(10)连接,所述支撑层与至少一个相邻的所述下电极(10)之间不设置所述支撑层,其特征在于,

将所述电容器阵列划分为核心阵列区(100)和虚拟阵列区(200),所述虚拟阵列区(200)环绕所述核心阵列区(100)设置;

在所述核心阵列区(100)中除了设置所述下电极(10)以外的区域分为设置有所述支撑层的第一支撑层区和与所述第一支撑层区互补的第一区域(110);

在所述虚拟阵列区(200)中除了设置所述下电极(10)以外的区域分为设置有所述支撑层的第二支撑层区和与所述第二支撑层区互补的第二区域(120);

在平行于所述衬底的方向上,所述第一区域(110)的最大截面面积为a1,所述第二区域(120)的最大截面面积为a2,所述核心阵列区(100)的截面面积为b1,所述虚拟阵列区(200)的截面面积为b2,a1/b1<a2/b2。

2.根据权利要求1所述的半导体存储器,其特征在于,位于所述虚拟阵列区(200)中最外侧的所述下电极(10)为第一下电极,相邻所述第一下电极之间通过所述支撑层连接。

3.根据权利要求1所述的半导体存储器,其特征在于,所述电容器阵列具有沿第一方向间隔设置的多排下电极(10),相邻两排的所述下电极(10)交错设置,各所述下电极(10)通过所述支撑层与同一排中和/或不同排中相邻的至少一个所述下电极(10)连接。

4.根据权利要求3所述的半导体存储器,其特征在于,同一排中的所述下电极(10)等间距设置,且相邻排中的所述下电极(10)在第一方向上等间距设置。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的半导体存储器,其特征在于,在平行于所述衬底的方向上,所述第一区域(110)具有多个相互独立的第一子区域(111),所述第二区域(120)具有多个相互独立的第二子区域(121),各所述第一子区域(111)和各所述第二子区域(121)的截面形状独立地选自棒状、椭圆形和三角形中的任一种。

6.根据权利要求5所述的半导体存储器,其特征在于,在平行于所述衬底的方向上,各所述第二子区域(121)的截面面积大于各所述第一子区域(111)的截面面积。

7.根据权利要求5所述的半导体存储器,其特征在于,位于所述核心阵列区(100)相对两侧的所述第二子区域(121)的截面面积之和相等。

8.根据权利要求7所述的半导体存储器,其特征在于,位于所述核心阵列区(100)相对两侧的所述第二子区域(121)对称设置。

9.根据权利要求5所述的半导体存储器,其特征在于,所述第二子区域(121)的截面形状为棒状,所述核心阵列区(100)具有邻接的第一侧和第二侧,在所述第二子区域(121)的长度方向上,位于所述第一侧的至少一个所述第二子区域(121)的延伸区域与位于所述第二侧的至少一个所述第二子区域(121)相交。


技术总结
本实用新型提供了一种半导体存储器。该半导体存储器包括位于衬底上的电容器阵列和支撑层,各电容器中的下电极通过支撑层与至少一个相邻的下电极连接,支撑层与至少一个相邻的下电极之间不设置支撑层,将电容器阵列划分为核心阵列区和虚拟阵列区,虚拟阵列区环绕核心阵列区;在核心阵列区中除了设置下电极以外的区域分为第一支撑层区和与第一支撑层区互补的第一区域;在虚拟阵列区中除了设置下电极以外的区域分为第二支撑层区和与第二支撑层区互补的第二区域;在平行于衬底的方向上,第一区域的最大截面面积为A1,第二区域的最大截面面积为A2,核心阵列区的截面面积为B1,虚拟阵列区的截面面积为B2,A1/B1<A2/B2。

技术研发人员:蔡佩庭;童宇诚;詹益旺;林刚毅;陈琮文
受保护的技术使用者:福建省晋华集成电路有限公司
技术研发日:2020.12.25
技术公布日:2021.07.30
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