I，所述第一指状金属线204上的凸起端的宽度为S3，所述第二指状金属线201上的凸起端的宽度为S4，通过调节S1、S3和S4，以优化编程条件。
[0089]在该实施例中，所述第一指状金属线204和第二指状金属线201的数据并不局限于上述示例，在所述最两端的所述第一指状金属线204和第二指状金属线201之间还可以交替设置多个两侧均设置有凸起端的第一指状金属线204和第二指状金属线201，具体数目可以根据需要进行设计，以优化所述反熔丝结构的编程电压。
[0090]在该实施例中，所述第一梳状金属件1、第二梳状金属件II的整体形状、设置方式，以及所述第一连接线206、第二连接线203的设置，以及其他没有提及的结构设置均可以参照实施例1，在此不再赘述，当然所述设置方式并不仅仅局限于实施例1，还可以根据实际需要进行改进。
[0091]实施例6
[0092]参照图2d，在该实施例中，所述第一梳状金属件I包含两个第一指状金属线204，所述第二梳状金属件II包含两个第二指状金属线201，其中，所述第一指状金属线204和所述第二指状金属线201交替设置，其中位于两端的所述第一指状金属线204和第二指状金属线201的内侧沿纵向间隔设置有凸起端，位于中间的所述第一指状金属线204和所述第二指状金属线201的两侧沿纵向间隔设置有凸起端。
[0093]在该实施例中，所述第一指状金属线204上的凸起端205和所述第二指状金属线201上的凸起端205相错设置，所述第一指状金属线204上的凸起端205与所述第二指状金属线201上的凸起端205之间的间隙相对设置，所述第一指状金属线204和所述第二指状金属线201之间的距离相同均为SI，即所述第一指状金属线204上的凸起端205和所述第二指状金属线201之间的距离为SI，所述第一指状金属线204上的凸起端的宽度为S3，所述第二指状金属线201上的凸起端的宽度为S4，通过调节S1、S3和S4，以优化编程条件。
[0094]在该实施例中，所述第一指状金属线204和第二指状金属线201的数据并不局限于上述示例，在所述最两端的所述第一指状金属线204和第二指状金属线201之间还可以交替设置多个两侧均设置有凸起端的第一指状金属线204和第二指状金属线201，具体数目可以根据需要进行设计，以优化所述反熔丝结构的编程电压。
[0095]在该实施例中，所述第一梳状金属件1、第二梳状金属件II的整体形状、设置方式，以及所述第一连接线206、第二连接线203的设置，以及其他没有提及的结构设置均可以参照实施例1，在此不再赘述，当然所述设置方式并不仅仅局限于实施例1，还可以根据实际需要进行改进。
[0096]本发明中所述反熔丝结构包括第一指状金属线和第二指状金属线交替设置，其中所述第一指状金属线和/或第二指状金属线的内侧或者两侧设置有凸起端，改变现有技术中线对线(line-to-line)的反熔丝结构,变为线对凸起端(line-to-tip)的结构或者凸起端对凸起端(tip-to-tip)的结构，并且通过优化所述第一指状金属线、第二指状金属线的数目，第一指状金属线和第二指状金属线之间的距离、第一指状金属线上凸起端之间的间隙或者所述凸起端的宽度来进一步优化所述反熔丝结构的编程条件，能够解决反熔丝结构长期稳定性的问题。
[0097]此外,通过将所述反熔丝结构设计为线对凸起端(line-to-tip)的结构或者凸起端对凸起端(tip-to-tip)的结构,可以优化编程条件,其中当所述凸起端的设置,在施加编程电压时，在所述凸起端附近的局部电场强度至少加倍，所述加强的电场强度使得在实现击穿时的时间至少减少88%，从而更快速、更容易的实现所述反熔丝结构的编程。
[0098]本发明已经通过上述实施例进行了说明，但应当理解的是，上述实施例只是用于举例和说明的目的，而非意在将本发明限制于所描述的实施例范围内。此外本领域技术人员可以理解的是，本发明并不局限于上述实施例，根据本发明的教导还可以做出更多种的变型和修改，这些变型和修改均落在本发明所要求保护的范围以内。本发明的保护范围由附属的权利要求书及其等效范围所界定。
【主权项】
1.一种反熔丝结构，包括: 相对设置的第一梳状金属件和第二梳状金属件，其中所述第一梳状金属件包含至少两个第一指状金属线，所述第二梳状金属件包含至少两个第二指状金属线，所述第一指状金属线和所述第二指状金属线并列间隔设置，其中所述第一指状金属线的内侧间隔设置有朝向所述第二指状金属线的多个凸起端。
2.根据权利要求1所述的反熔丝结构，其特征在于，所述反熔丝结构还包括电源，所述第一梳状金属件和所述第二梳状金属件分别连接于电源的正负极，在施加电压的情况下所述第一指状金属线和所述第二指状金属线之间击穿导通，实现编程。
3.根据权利要求1所述的反熔丝结构，其特征在于，所述第一指状金属线和所述第二指状金属线之间设置有绝缘层。
4.根据权利要求1所述的反熔丝结构，其特征在于，所述第二指状金属线的内侧也间隔设置有凸起端，所述第一指状金属线上的凸起端和所述第二指状金属线上的凸起端相对设置，或者所述第一指状金属线上的凸起端和所述第二指状金属线上的凸起端相错设置，所述第一指状金属线上的凸起端与所述第二指状金属线上的凸起端之间的间隙相对。
5.根据权利要求1所述的反熔丝结构，其特征在于，所述第一指状金属线的内外两侧沿纵向均间隔设置有凸起端。
6.根据权利要求1所述的反熔丝结构，其特征在于，所述第一梳状金属件包含两个第一指状金属线，所述第二梳状金属件包含两个第二指状金属线，其中，所述第一指状金属线和所述第二指状金属线交替设置，其中位于两端的所述第一指状金属线和第二指状金属线的内侧沿纵向间隔设置有凸起端，位于中间的所述第一指状金属线和第二指状金属线的两侧沿纵向间隔设置有凸起端。
7.根据权利要求6所述的反熔丝结构，其特征在于，所述第一指状金属线上的凸起端和所述第二指状金属线上的凸起端相对设置，或者所述第一指状金属线上的凸起端和所述第二指状金属线上的凸起端相错设置，所述第一指状金属线上的凸起端与所述第二指状金属线上的凸起端之间的间隙相对。
8.根据权利要求1所述的反熔丝结构，其特征在于，所述凸起端为点状凸起。
9.根据权利要求1或8所述的反熔丝结构，其特征在于，所述凸起端和所述第一指状金属线为一体设置。
10.根据权利要求1所述的反熔丝结构，其特征在于，所述第一梳状金属件包含多个并列设置的第一指状金属线，所述第二梳状金属件包含多个并列设置的第二指状金属线，所述第一指状金属线和所述第二指状金属线交替设置。
11.根据权利要求10所述的反熔丝结构，其特征在于，所述第一梳状金属件还包括第一连接线，连接所述多个第一指状金属线，以形成梳状结构； 所述第二梳状金属件还包括第二连接线，连接所述多个第二指状金属线，以形成梳状结构； 所述第一梳状金属件和所述第二梳状金属件相对设置，所述第一指状金属线和所述第二指状金属线相互交错。
12.根据权利要求11所述的反熔丝结构，其特征在于，所述第一连接线和所述第二连接线分别连接所述电源的正极和负极。
13.根据权利要求1所述的反熔丝结构，其特征在于，第一指状金属线上的凸起端和所述第二指状金属线之间的距离为SI，所述凸起端之间的间隙的宽度为S2，调节所述SI和S2,以优化编程条件。
14.根据权利要求4或7所述的反熔丝结构，其特征在于，当所述第一指状金属线上的凸起端和所述第二指状金属线上的凸起端相对设置时，所述第一指状金属线上的凸起端和所述第二指状金属线上的凸起端之间的距离为SI，所述凸起端之间的间隙的宽度为S2，调节所述SI和S2，以优化编程条件。
15.根据权利要求4或7所述的反熔丝结构，其特征在于，当所述第一指状金属线上的凸起端和所述第二指状金属线上的凸起端相错设置时，所述第一指状金属线上的凸起端和所述第二指状金属线上的凸起端之间的距离为SI，所述第一指状金属线上的凸起端的宽度为S3，所述第二指状金属线上的凸起端的宽度为S4，调节S1、S3和S4,以优化编程条件。
【专利摘要】本发明涉及一种反熔丝结构，包括：相对设置的第一梳状金属件和第二梳状金属件，其中所述第一梳状金属件包含至少两个第一指状金属线，所述第二梳状金属件包含至少两个第二指状金属线，所述第一指状金属线和所述第二指状金属线并列间隔设置，其中所述第一指状金属线的内侧间隔设置有朝向所述第二指状金属线的多个凸起端。本发明通过将所述反熔丝结构设计为线对凸起端（line-to-tip）的结构或者凸起端对凸起端（tip-to-tip）的结构，可以优化编程条件，其中当所述凸起端的设置，在施加编程电压时，在所述凸起端附近的局部电场强度至少加倍，所述加强的电场强度使得在实现击穿时的时间至少减少88%，从而更快速、更容易的实现所述反熔丝结构的编程。
【IPC分类】H01L23-525
【公开号】CN104576602
【申请号】CN201310482866
【发明人】甘正浩
【申请人】中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2013年10月15日