支撑卡盘和衬底处理设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种支撑卡盘和衬底处理设备，并且更确切地说，涉及一种能够防止在衬底从支撑衬底的单元上分离时衬底发生绞拧的支撑卡盘，以及具有所述支撑卡盘的衬底处理设备。
【背景技术】
[0002]—般来说，例如液晶显示器(liquid crystal display，LCD)等平板显示装置和有机发光装置(organic light emitting device, OLED)是通过将一对平板衬底结合到彼此制造的。举例来说，多个薄膜晶体管所在的上部衬底、有机发光层和电极被安置成结合到充当加盖层的下部衬底以制造0LED。此处，用于结合上述衬底的装置以多种形状实现。举例来说，在第10-1340614号韩国专利注册中公开了一种“衬底结合设备”。
[0003]如同在上述专利注册公报中所公开，通常，根据现有技术用于结合衬底的装置包含:表面板；粘合部件，其耦合到所述表面板以支撑衬底；以及起模顶杆，以用于从粘合部件分离衬底。
[0004]同时，在用于根据现有技术结合衬底的装置中，执行用于结合衬底的过程，并且随后起模顶杆朝向衬底突出以将衬底从粘合部件拆卸和分离。此处，存在如下限制。
[0005]在衬底从粘合部件分离的同时，起模顶杆连续地接触和按压衬底。因此，在衬底从粘合部件分离的同时，局部负载被施加到衬底，并且因此衬底可以被损坏。并且，虽然起模顶杆施加力给衬底以从粘合部件推按衬底，但是上部衬底和下部衬底可以未对齐。
[0006]此外，在根据现有技术的装置中存在以下额外限制。在根据现有技术的装置中，用于驱动多个起模顶杆的机械组件必须安置在腔室内部或外部，并且所述腔室必须是穿透的以允许上述组件将安置在其内部或外部。并且，用于强化穿透腔室的结构的组件和用于密封可穿透地处理的区域的组件必须安置在腔室的内部或外部。也就是说，根据现有技术的装置以复杂结构实现从而以机械方式驱动多个起模顶杆，并且因此它可能难以维持腔室内部的密封状态，并且装置的维修可能是困难的。
[0007][现有技术文档]
[0008][专利文档]
[0009](专利文档1)KR10-1340614B1
【发明内容】
[0010]本发明提供一种支撑卡盘、衬底处理设备和衬底处理方法，其能够稳定地从支撑衬底的单元中分离衬底。
[0011]本发明还提供一种支撑卡盘、衬底处理设备和衬底处理方法，其能够在衬底从支撑衬底的单元分离的同时防止衬底发生绞拧。
[0012]本发明还提供一种支撑卡盘、衬底处理设备和衬底处理方法，其能够在衬底从支撑衬底的单元分离的同时防止衬底被损坏。
[0013]本发明还提供一种支撑卡盘和衬底处理设备，其能够简化其结构。
[0014]根据示例性实施例，支撑衬底的支撑卡盘包含:主体，其具有内部空间；可扩展部件，其经配置以在主体的厚度方向上划分内部空间，所述可扩展部件安置在主体中使得通过将气体注入到间隔开的分隔空间中使所述可扩展部件在主体的厚度方向上移动；移动部件，其在主体的厚度方向上穿过主体的一个表面并且安置在柔性部件上；以及粘合部件，其安置在主体向外的移动部件的端部上。
[0015]支撑卡盘可进一步包含安置在主体中的喷淋头使得气体注入到在主体的厚度方向上的分隔空间中的至少一个中。并且，支撑卡盘可进一步包含缓冲部件，所述缓冲部件安置在分隔空间中的至少一个中并且具有连接到可扩展部件的一个端部。通孔和真空孔可以界定在主体的一个表面中，并且粘合部件安置在通孔内。
[0016]暴露于主体的外部的粘合部件的粘合表面可以通过选择性地注入到分隔空间中的气体安置在通孔中或平行于主体的一个表面。
[0017]所述支撑卡盘可进一步包含安置在通孔中的密封部件使得粘合部件和移动部件的上端中的至少一个与通孔之间的空间是密封的。
[0018]可扩展部件可以包含:弹性膜，其安置在主体中以划分内部空间；以及加强件板，其安置在弹性膜的至少一个表面上使得加强板根据弹性膜的形状改变在主体的厚度方向上移动。
[0019]缓冲部件可以包含:引导部件，其朝向可扩展部件地安置在主体中；以及弹性部件，其安置在引导部件的外部并且具有连接到可扩展部件的一端和连接到主体的另一端。
[0020]根据另一示例性实施例，衬底处理设备包含:腔室，其具有衬底处理空间；上部支撑件，其安置在所述腔室中；下部支撑件，其安置成面向所述上部支撑件；以及支撑卡盘，其安置在上部支撑件和下部支撑件中的至少一个上，所述支撑卡盘具有其中彼此分离的分隔空间，其中所述支撑卡盘包含粘合部件，所述粘合部件可通过选择性地注入到分隔空间中的气体在支撑卡盘中向外或向内移动。
[0021]支撑卡盘可以提供为多个，并且多个支撑卡盘可以安置在界定在上部支撑件的底部表面和下部支撑件的顶部表面中的至少一个上的多个区域中。
[0022]所述支撑卡盘可以包含:主体，其具有内部空间；可扩展部件，其经配置以在主体的厚度方向上划分所述内部空间，可扩展部件安置在所述主体中使得所述可扩展部件通过注入到间隔开的分隔空间中的气体在主体的厚度方向上移动；以及移动部件，其安置在所述可扩展部件上并且具有插入到所述主体中的至少一个部分。
[0023]所述支撑卡盘可以包含:缓冲部件，其安置在所述主体中朝向所述可扩展部件以接触和支撑所述可扩展部件；以及管，其经配置以将气体注入到所述分隔空间中的每一个中。
[0024]通孔和真空孔可以界定主体的一个表面中，并且粘合部件可以耦合到主体向外的移动部件的端部中，使得粘合部件移动穿过通孔。
[0025]所述可扩展部件可以包含:弹性膜，其安置在所述主体上使得内部空间在主体的厚度方向上得到划分；以及加强板，其安置在弹性膜的至少一个表面上。
[0026]所述缓冲部件可以包含:引导部件，其安置在朝向所述可扩展部件的所述分隔空间中的至少一个中并且具有与所述可扩展部件间隔开的朝向所述可扩展部件的一端；以及弹性部件，其安置在所述引导部件的外部，所述弹性部件具有连接且支撑在所述主体上的一端以及连接且支撑在所述可扩展部件上的另一端。
[0027]所述衬底处理设备可进一步包含安置在所述通孔的一端上的密封部件因此包含通孔与粘合部件的外圆周表面之间的空间。
[0028]所述密封部件可以包含:密封膜，其从粘合部件的外圆周表面朝向通孔的一端的内壁延伸；以及环部件，其安置在所述通孔的一端的内壁上使得密封膜密闭地安置在通孔的一端上。
[0029]根据又一示例性实施例，一种衬底处理方法，其包含:制备上部衬底和下部衬底；允许下部衬底由下部支撑件支撑且上部衬底由上部支撑件支撑；通过使用上部支撑件的支撑卡盘将上部衬底固定到支撑卡盘；减小上部支撑件与下部支撑件之间的距离以将上部衬底结合到下部衬底；从支撑卡盘释放上部衬底；以及从上部支撑件和下部支撑件分离结合衬底。
[0030]下部衬底可以是真空吸附的以由下部支撑件支撑，并且上部衬底可以是真空吸附的以粘合到上部支撑件上。
[0031]将上部衬底固定到支撑卡盘可以包含:将气体注入到支撑卡盘中的上部分隔空间中；并且允许支撑卡盘的粘合部件下降；并且允许粘合部件粘合到上部衬底上。
[0032]将上部衬底从支撑卡盘释放可以包含:将气体注入到支撑卡盘中的下部分隔空间中，允许支撑卡盘的粘合部件上升；并且从上部衬底分离粘合部件。
[0033]在气体注入到支撑卡盘中的下部分隔空间中的同时，可以排放预先注入到支撑卡盘中的上部分隔空间中的气体。并且，在上部衬底从支撑卡盘中释放的同时，上部衬底可以被吸附以由支撑卡盘支撑。
[0034]本发明在衬底从支撑衬底的单元分离的同时，可以防止衬底发生绞拧的现象。
【附图说明】
[0035]可从结合附图所作的以下描述中更详细地理解示例性实施例，其中:
[0036]图1是根据一个实施例的衬底处理设备的侧视图。
[0037]图2是根据一个实施例的支撑卡盘的侧视图。
[0038]图3(a)及图3(b)是根据一个经修改实例的支撑卡盘的局部视图。
[0039]图4到8是说明其中衬底处理设备根据一个实施例操作的状态的视图。
[0040]图9是示出根据一个实施例的衬底处理方法的流程图。
【具体实施方式】
[0041]在下文中，将参考附图详细地描述具体实施例。然而，本发明可以用不同形式实施，并且不应被解释为限于本文所阐述的实施例。而是，提供这些实施例是为了使得本发明将是透彻并且完整的，且这些实施例将把本发明的范围完整地传达给所属领域的技术人员。在附图中，为了说明的清楚起见放大了层和区域的尺寸。相同参考标号在全文中指代相同元件。
[0042]图1是根据一个实施例的衬底处理设备的侧视图，并且图2是根据一个实施例的支撑卡盘的侧视图。并且，图3(a)及图3(b)是根据一个经修改实例的支撑卡盘的局部视图，并且图4到8是说明其中衬底处理设备根据一个实施例操作的状态的视图。并且，图9是示出根据一个实施例的衬底处理方法的流程图。
[0043]根据一个实施例的衬底处理设备是用于将上部衬底结合到下部衬底的装置。如图1到8中所说明，衬底处理设备包含:腔室100，其具有衬底处理空间；上部支撑件200，其安置在腔室100中以支撑上部衬底S1 ;下部支撑件300，其安置成面向上部支撑件200以支撑下部衬底S2 ；以及支撑卡盘600，其安置在上部支撑件200和下部支撑件300的至少一个上并且具有分隔空间610:其中彼此分呙的分隔空间610a和分隔空间610b。
[0044]此处，可以在支撑卡盘600中安置在支撑卡盘600的内部或外部通过选择性地注入到彼此隔离的分隔空间610a和610