b中的气体可移动的粘合部件650。支撑卡盘600可以通过使用粘合部件650稳定地执行衬底的粘合固定和分离。也就是说，粘合部件650可以在稍后将描述的通孔622内移动，所述通孔622界定在支撑卡盘600的支撑表面中，同时执行衬底的固定或分离。粘合部件650可以安置在通孔622中或暴露于支撑卡盘600的支撑表面。具体来说，当气体注入到分隔空间中的一个中时，例如，注入到上部分隔空间610a中，粘合部件650可以在支撑卡盘600外部移动以粘合到由支撑卡盘600支撑的衬底，例如，粘合到上部衬底S1。或者，当气体注入到另一分隔空间中时，例如，注入到下部分隔空间610b中，粘合部件650可以在支撑卡盘600内部移动并且与衬底分离，例如，与上部衬底S1分呙。
[0045]虽然根据当前实施例的支撑卡盘600安置在上部支撑件200上以粘合支撑上部衬底S1，但是支撑卡盘600不特定地限于该位置。举例来说，支撑卡盘600可以安置在下部支撑件300上或在上部支撑件200和下部支撑件300中的每一个中。
[0046]举例来说，上部衬底S1可以是0LED装置安置在其上的装置衬底，并且下部衬底S2可以是用于加盖和保护装置衬底的加盖衬底。上部衬底和下部衬底中的每一个的基底可以由例如玻璃面板等透射材料形成。当然，所述实施例并不限于此，上部衬底和下部衬底中的每一个可以是构成多种装置和设备的衬底。举例来说，上部衬底和下部衬底中的每一个可以是构成液晶显示装置的液晶装置衬底。
[0047]举例来说，腔室100包含上部腔室100a和下部腔室100b，所述上部腔室100a具有空间，在所述空间中执行用于将上部衬底S1结合到下部衬底S2的过程或用于从下部衬底S2分离上部衬底S1的过程。上部腔室100a可以可拆卸地耦合到下部腔室100b。相应地提升上部腔室100a和下部腔室100b的单独的抬升部件(未示出)安置在腔室100中。上部腔室100a或下部腔室100b通过使用抬升部件提升以在腔室100中加载上部衬底S1和下部衬底S2或从腔室100中卸载上部衬底S1和下部衬底S2。并且，用于调节内压的单独的压力调节单元(未示出)和用于排出杂质的单独的排出单元(未示出)安置在腔室100中。
[0048]上部支撑件200安置在腔室100中的上侧处以支撑上部衬底S1。上部支撑件200的形状可以制造成对应于上部衬底S1的形状。举例来说，当上部衬底S1是具有矩形板形状的玻璃面板时，上部支撑件200可以制造成具有矩形板形状的底部表面。
[0049]上部支撑件200的底部表面可以划分成多个区域。根据实施例的支撑卡盘600可以提供为多个并且相应地安置在上部支撑件200的底部表面上的多个区域上。当然，所述实施例并不限于此，并且举例来说，支撑卡盘600可以安置在下部支撑件300上。具体来说，支撑卡盘600可以相应地安置在界定在稍后将描述的下部支撑件300的顶部表面上的多个区域上。
[0050]上部驱动零件连接到上部支撑件200以提升上部支撑件200。上部驱动零件包含:上部驱动轴杆410，其连接到上部支撑件200 ;以及上部电力零件(未示出)，其施加电力给上部驱动轴杆410。上部驱动轴杆410穿过上部腔室100a并且因此安装在上部支撑件200的顶部表面上。单独的密封部件(未示出)安置在上部驱动轴杆410与上部腔室100a之间。并且，上部驱动零件可进一步包含:单独的对齐单元(未示出)，其在X、Y或Θ方向上移动上部支撑件200以对齐上部支撑件200的位置；以及单独的传感器(未示出)，以用于定位上部支撑件200的位置，所述传感器例如是相机。
[0051]下部支撑件300可以安置在腔室100的下侧中以支撑下部衬底S2。下部支撑件300的形状可以对应于下部衬底S1的形状制造。举例来说，下部支撑件300可以制造成具有矩形板形状的底部表面。
[0052]下部驱动零件连接到下部支撑件300以提升下部支撑件300。下部驱动零件包含:下部驱动轴杆420，其连接到下部支撑件300 ;以及下部电力零件(未示出)，以用于施加电力给下部驱动轴杆420。下部驱动轴杆420穿过下部腔室100b并且因此安装在下部支撑件300的底部表面上。单独的密封部件(未示出)安置在下部驱动轴杆420与下部腔室100b之间。并且，下部驱动零件可进一步包含单独的对齐单元(未示出)和对应于上部驱动零件的传感器的单独的传感器(未示出)。
[0053]当根据实施例的支撑件600未安置在下部支撑件300上时，吸附零件(未示出)可以安置在下部支撑件300上以固定下部衬底S2。并且，吸附零件可以安置在下部支撑件300的顶部表面上。吸附零件可以具有多种组成和结构，其能够固定下部衬底S2，并且举例来说，吸附零件可以包含真空卡盘、静电卡盘和粘合卡盘。
[0054]抬升部件500相应地安置在上部支撑件200中以辅助于将上部衬底S1附接到上部支撑件200的底部表面或将上部衬底S1从上部支撑件200的底部表面分离并且安置在下部支撑件300中以辅助于将下部衬底S2附接到下部支撑件300的顶部表面或将下部衬底S2从下部支撑件300的顶部表面分离。为此，抬升部件500，例如，起模顶杆，可以相应地穿过上部支撑件200朝向上部衬底S1并且因此安置在上部腔室100a中并且穿过下部支撑件300朝向下部衬底S2并且因此安置在下部腔室100b中。
[0055]此处，当抬升部件500安置在上部支撑件200中时，抬升部件500可以穿过上部支撑件200和安置在上部支撑件200上的支撑卡盘并且因此安置在上部腔室100a中。并且，安置在上部支撑件200上的抬升部件500可以选择为处于使得抬升部件500并不干扰支撑卡盘600的组成的位置中。
[0056]并且，单独的密封部件(未示出)可以安置在抬升部件500与支撑卡盘600之间，所述抬升部件500安置在上部支撑件200上。
[0057]抬升部件500的数目可以对应于上部衬底S1和下部衬底S2中的每一个的尺寸。抬升部件500可以为多个，并且所述多个抬升部件500可以安置为彼此间隔开。并且，抬升部件500连接到单独的抬升部件驱动零件(未示出)，所述抬升部件驱动零件提升所述抬升部件500以竖直地移动。
[0058]单独的真空卡盘(未示出)可以安置在抬升部件上，所述抬升部件安置在抬升部件500的上部支撑件200(下文中被称作“上部抬升部件”)上。具体来说，单独的真空卡盘可以安置在面向上部衬底S1的上部抬升部件500的端部上使得当上部抬升部件升高时由上部抬升部件接触支撑的上部衬底S1通过真空吸附并且固定到上部抬升部件。
[0059]此处，位于抬升部件500的端部上的单独的真空卡盘可以是波纹管式真空垫，使得当真空卡盘接触衬底时真空卡盘延伸或收缩以消除由于接触真空卡盘的冲击并且防止衬底被损坏。单独的支撑垫(未示出)可以安置在抬升部件上，所述抬升部件安置在抬升部件500的下部支撑件300 (下文中被称作“下部抬升部件”)上。具体来说，具有预定面积的单独的支撑垫可以安置在面向下部衬底S2的下部抬升部件的端部上。多个下部抬升部件可以连接到支撑垫。下部抬升部件可以通过支撑垫稳定地接触支撑下部衬底S。
[0060]在下文中，将描述根据当前实施例的支撑卡盘600。此处，为了描述实施例，除上部衬底S1和下部衬底S2必须区分的情况以外，当不必要专门区分上部衬底S1与下部衬底S2时上部衬底S1和下部衬底S2 —起都被称作“衬底”。
[0061]根据一个实施例的支撑卡盘600是安置在衬底处理设备中的组件以支撑和固定衬底。支撑卡盘600包含:主体620，其具有内部空间和用于支撑衬底的一个表面621，例如，支撑表面；可扩展部件630，其将主体620的内部空间划分成在主体620的厚度方向上堆叠在彼此上的分隔空间610:分隔空间610a和分隔空间610b，所述可扩展部件630安置在主体620中以通过选择性地注入到间隔开的分隔空间610中的气体在主体620的厚度方向上移动；移动部件640，其穿过主体620的一个表面621，例如，支撑表面，衬底由所述表面支撑并且因此安置在可扩展部件630上；以及粘合部件650，其安置在朝向主体620的外部的每一个移动部件640中的端部上。
[0062]主体620的形状可以对应于上部支撑件200的形状制造，例如，以六面体形状。主体620具有顶部表面，所述顶部表面是面向安置在上部支撑件200的底部表面上的主体620的底部表面的一个表面621的另一表面。衬底由主体620的一个表面621支撑。也就是说，主体620的一个表面621可以充当支撑衬底的支撑表面。气体穿过其中传送的管680可以安置在主体620的顶部表面和侧表面中的每一个的一侧上以将气体注入到主体620中或将注入到主体620中的气体排出到外部。
[0063]通孔622穿过作为支撑衬底的主体620的支撑表面的一个表面621。通孔622的数目对应于稍后将描述的移动部件640的数目。通孔622可以提供为多个，并且多个通孔622安置为彼此间隔开。移动部件640具有安置在通孔622中的一端。并且，位于移动部件640的一端上的粘合部件650安置在通孔622中。粘合部件650可以通过通孔622暴露于主体620的外部。
[0064]并且，多个真空孔623可以界定在主体620的一个表面621中位于与通孔622间隔开的位置处。具体来说，多个真空孔623在主体620的一个表面621中彼此间隔开。举例来说，单独的真空调节单元(未示出)，例如，真空栗，连接到每一个真空孔623。真空孔623可以在真空中通过真空调节单元调节成真空吸附衬底，由此辅助衬底固定到支撑卡盘600的支撑表面上。如图2中所说明，通孔622可以界定为与真空孔623间隔开预定距离。
[0065]主体620可以整体地或单独地制造。在当前实施例中，例示了单独类型的主体620。也就是说，主体620包含