隔开。具体来说，引导部件671具有一定长度使得当可扩展部件630朝向引导部件671移动时，引导部件671的一端接触可扩展部件630，并且另一方面，引导部件671的一端与可扩展部件630间隔开。
[0084]弹性部件672，例如，弹性弹簧，其两端相应地固定到或接触可扩展部件630和主体620。弹性部件672可以通过使用弹力支撑可扩展部件630和主体620。缓冲部件670可以提供为多个并且因此安置在下部主体620b上的多个位置处。此处，多个缓冲部件670可以安置为在水平方向上以预定距离彼此间隔开。因此，当可扩展部件630在主体620的厚度方向上移动时，缓冲部件670可以弹性地支撑加强板632使得加强板632与下部主体620b的一个表面621平行，例如，支撑表面。
[0085]管680包含上部管681和下部管682。上部管681可以安置在上部主体620a的顶部表面和侧表面中的一个上。下部管682可以安置在下部主体620b的侧表面上。管680可以从腔室100外向延伸并且因此连接到安置在腔室100的外部的气体供应调节单元(未示出)。此处，单独的密封单元(未示出)可以安置在管680与腔室100之间。此处，密封单元可以是适合于密封的多种密封单元，例如，橡胶封装、垫圈和密封式密封件。
[0086]气体供应调节单元可以将气体注入到主体620的内部空间中并且从主体620中排出气体。此处，当气体注入到上部分隔空间610a中时，气体供应调节单元可以从下部分隔空间610b中排出气体。并且，当气体注入到下部分隔空间610b中时，气体供应调节单元可以从上部分隔空间610a中排出气体。也就是说，气体供应调节单元可以选择性地将气体注入到上部分隔空间610a和下部分隔空间610b中或者将气体从上部分隔空间610a和下部分隔空间610b中排出。可以替代地执行气体的注入和排出。因此，气体供应调节单元可以提供为多个并且因此相应地连接到上部管681和下部管682。
[0087]并且，举例来说，气体供应调节单元可以包含以预定压力注射气体的气体供应源(未示出)和排出注入的气体的排出栗(未示出)。用于控制气体的移动的控制阀门(未示出)可以相应地安置在气体供应源与排出栗之间以及排出栗与管680之间。
[0088]如图3(a)及图3(b)中所说明，根据一个经修改实例的支撑卡盘600可进一步包含安置在通孔622的一端中的密封部件690:密封部件691、密封部件692和密封部件693，使得粘合部件650的外圆周表面或移动部件640的一端的外圆周表面与主体620的通孔622的内壁之间的空间是密封的。
[0089]为此，通孔622的一端可以具有大于通孔622的剩余区域或中心区域的内径，并且因此可以界定密封部件690安置到其中的空间。举例来说，密封部件690可以包含:密封膜691，其从粘合部件650的外圆周表面朝向通孔622的一端的内壁延伸；以及环部件692，其安置在通孔622的一端的内壁上使得密封膜691密闭地安置在通孔622的一端上。
[0090]举例来说，密封膜691可以由与弹性膜631相同的材料形成。密封膜691可以是安置在粘合部件650的外圆周表面上的膜或者可以是与粘合部件650分离的膜。当密封膜691单独地提供时，密封膜691可以通过粘合剂粘合到粘合部件650的外圆周表面上或移动部件640的一端的外圆周表面上并且因此是密封的。
[0091]环部件692是允许密封膜691安置在通孔622的内壁上的组件。当粘合部件650移动时，环部件可以支撑密封膜691以维持密封膜691与通孔622的一端之间的密封状态。环部件692可以通过螺栓693耦合到通孔622的一端或通过粘合剂粘合到通孔622的一端上。
[0092]并且，密封部件690可以朝向通孔622的主体620的外部安置在一端上并且因此曝露在主体620外部。并且，密封部件690可以安置在界定为具有内径大于通孔的中心的内径的通孔622的另一端中并且因此安置在主体620中。
[0093]图9是示出根据一个实施例的衬底处理方法的流程图。在下文中，将参考图1到9描述根据一个实施例的衬底处理方法。此处，将省略或简单地描述根据所述实施例的衬底处理设备的重复的描述。
[0094]衬底处理方法是通过使用上述衬底处理设备执行衬底的结合的方法。衬底处理方法包含提供上部衬底S1和下部衬底S2，允许下部衬底S2由下部支撑件300支撑并且上部衬底S1由上部支撑件200支撑、通过使用上部支撑件200的支撑卡盘600将上部衬底S1固定到支撑卡盘600、减小上部支撑件200与下部支撑件300之间的距离以将上部衬底S1紧密地附接到下部衬底S2、从支撑卡盘600释放上部衬底S1以及从上部支撑件200和下部支撑件300分离结合衬底。
[0095]此处，将上部衬底S1固定到支撑卡盘600包含将气体注射到支撑卡盘600中的上部分隔空间中，允许支撑卡盘600的粘合部件下降，以及允许粘合部件粘合到上部衬底上。并且，上部衬底S1从支撑卡盘的释放包含将气体注射到支撑卡盘中的下部分隔空间中，允许支撑卡盘600的粘合部件上升以及分离粘合部件与上部衬底。
[0096]首先，在操作S100中，制备衬底。举例来说，上部衬底S1安置于上部支撑件200之下，并且通过使用机械臂(未示出)下部衬底S2安置在下部支撑件300上。此处，结合部件(未示出)，例如，可以沿下部衬底的边缘安置在下部衬底的顶部表面上。
[0097]那么，如图4和5中所说明，在操作S210中，下部衬底S2安放和支撑在下部支撑件300的顶部表面上。在操作S220中，上部衬底S1由上部支撑件200的支撑卡盘600以真空吸附方式支撑。在上部衬底S1吸附到上部支撑件200的支撑卡盘600上并且由上部支撑件200的支撑卡盘600支撑的过程中，例如，抬升部件500下降以接触上部衬底S1，并且在上部衬底S1由抬升部件500以真空吸附方式支撑的状态中，抬升部件500上升以允许上部衬底S1的顶部表面接触支撑卡盘600的支撑表面。随后，通过在真空孔623中生成真空上部衬底S1吸附到支撑表面上并且由支撑表面支撑。
[0098]随后，在操作S310中，连接到上部分隔空间610a的气体供应源的控制阀打开以允许惰性气体，例如，氮气，从气体供应源注入到支撑卡盘600的上部分隔空间610a中。此处，气体可以通过喷淋头660均匀喷洒到上部分隔空间610a中。随着气体的注入，弹性膜631扩展。此处，弹性膜631可以在主体620的厚度方向上通过喷淋头660和加强板632在扩展方向上受到控制。在操作S320中，安置在可扩展部件630上的移动部件640和粘合部件650可以通过可扩展部件630的下降而下降。此处，缓冲部件670在可扩展部件630移动且施加预定弹力给可扩展部件630的方向上收缩。根据弹力，可扩展部件630可以稳定地移动。
[0099]当可扩展部件630接触引导部件671时，可扩展部件630的移动停止。也就是说，引导部件671可以充当挡止件。在所述过程中，在操作S330中，粘合部件650的粘合表面651经按压以朝向衬底移动并且因此按压附接在衬底的顶部表面上，并且因此粘合部件650通过粘合表面651固定到衬底。
[0100]此处，在惰性气体供应到上部分隔空间610a中之前，也就是说，当可扩展部件630安置在其初始位置中时，粘合部件650的粘合表面可以与下部主体620b的支撑表面平行的安置或安置为以预定距离朝向衬底突出。粘合部件650的位置可以轻易地选择为理想位置，方法是调节安置在缓冲部件670中的弹性部件672的长度使得处于初始状态中的可扩展部件630得到弹性的支撑。
[0101]当衬底粘合到粘合部件650上时，连接到上部分隔空间610a的控制阀是关闭的以阻断气体注入到上部分隔空间610a。此处，注入到上部分隔空间610a中的气体可以维持或通过上部管681从上部分隔空间610a中排放。当气体排放时，可扩展部件630通过缓冲部件670返回到其初始位置，并且其中粘合部件650的粘合表面按压衬底的操作停止，并且随后粘合表面返回到其初始位置。
[0102]虽然衬底的预定区域在过程中通过粘合部件650的加压而变形以允许衬底粘合，但是当其中粘合部件650的粘合表面按压衬底的操作停止时，衬底的变形可以释放，并且因此衬底可以返回到其初始形状。
[0103]随后，当衬底完全粘合到粘合部件650上时，腔室100是密封的，并且在衬底安置在支撑件上的每一个的过程中(即，在加载衬底的过程中)处于常压大气压下的腔室100的内部大气压可以变为真空气压。此处，在支撑卡盘600的真空孔623中生成的真空被破坏以释放真空孔623与上部衬底S1之间的真空吸附，然而，由于上部衬底S1粘合到粘合部件650上并且由粘合部件650支撑，所以上部衬底S1可以维持在固定状态下。
[0104]也就是说，当粘合部件650完全固定到上部衬底S1时，即使支撑卡盘600的真空孔623的真空状态通过腔室100的内部大气压的控制被破坏，那么上部衬底S1可以通过粘合部件650的粘合力由粘合部件650固定地支撑。
[0105]在操作S400中，上部衬底S1和下部衬底S2对齐。并且，腔室100的内部维持在真空状态下。
[0106]随后，上部衬底与下部衬底之间的距离通过使用上部支撑件200和下部支撑件300中的至少一个减小。如图5中所说明，例如，在操作中S500中，下部支撑件300上升以允许上部衬底S1紧密附接到下部衬底S2。当然，同时，上部支撑件200可以下降以允许上部衬底S1紧密附接到下部衬底S2。
[0107]当上部衬底S1完全紧密附接到下部衬底S2时，如图7中所说明，在操作S610中，连接到支撑卡盘600的下部分隔空间610b的气体供应源的控制阀打开以从气体供应源注入惰性气体，例如，氮气，到支撑卡盘600的