上部主体620a和下部主体620b。上部主体620a可以可拆卸地耦合到下部主体620b。
[0066]可扩展部件630是安置在主体620中的组件以驱动移动部件640和安置在移动部件640上的粘合部件650。可扩展部件630可以包含安置在主体620中的弹性膜631使得主体620的内部空间分成分隔空间610:分隔空间610a和分隔空间610b，所述分隔空间610在主体620的厚度方向上彼此堆叠。并且，可扩展部件630可以包含安置在弹性膜631的一个表面上的加强板632以根据弹性膜631的形状改变在主体620的厚度方向上移动。
[0067]弹性膜631可以是具有弹性的薄膜，例如，隔膜。弹性膜631可以由天然橡胶、合成橡胶、金属板和工程塑料形成。举例来说，弹性膜631可以具有安置在主体620中介于上部主体620a和下部主体620b的耦合表面之间的边缘。此处，单独的密封单元(未示出)可以安置在介于弹性膜631与上部主体620a之间并且介于弹性膜631与下部主体620b之间的每一个接触表面上。
[0068]主体620的内部空间可以由弹性膜631划分成上部分隔空间610a和下部分隔空间610b。具体来说，弹性膜631可以在水平方向上安置在主体620中以在与支撑表面平行的方向上划分主体620的内部空间。弹性膜631可以通过喷射到其上的惰性气体扩展。当喷射的惰性气体排放到外部时，弹性膜631可以再次收缩以返回到其初始位置。也就是说，间隔开的分隔空间610:分隔空间610a和分隔空间610b是通过弹性膜631彼此隔离的并且因此并不彼此连通。因此，气体可以不从上部分隔空间610a流动到下部分隔空间610b且反之亦然。也就是说当气体注入到上部分隔空间610a中时，弹性膜631可以向下扩展，并且当气体注入到下部分隔空间610b中时，弹性膜631可以向上扩展。
[0069]加强板632安置在弹性膜631的至少一个表面上使得移动部件640稳定地安置为由可扩展部件630支撑，并且弹性膜631在主体620的厚度方向上的扩展和收缩中受到控制。也就是说，加强板632可以安置在弹性膜631的底部表面或上部表面上。替代地，加强板632可以安置在弹性膜631的上表面和下表面中的每一个上。
[0070]由于加强板632安置在弹性膜631上，当弹性膜631扩展和收缩时，可扩展部件630的一部分，即，加强板632可以移动同时保持相对于主体620的支撑表面的平行状态。因此，加强板632可以具有预定强度使得当弹性膜631扩展或收缩时加强板632不会在弹性膜631扩展或收缩的方向上发生弯曲和变形。加强板632的形状可以制造成对应于主体620的形状，例如，矩形板形状。通过加强板632，弹性膜631可以被控制在目标方向上(例如，主体620的厚度方向上)改变其方向。并且，移动部件640可以在主体620中移动同时通过加强板632保持在主体620的厚度方向上的彼此相同的高度。
[0071]加强板632可以具有面积的下限使得所需数目的移动部件640由加强板632支撑。并且，加强板632可以具有面积的上限使得加强板632的边缘与主体620间隔开预定距离。因此，弹性膜631可以具有能够接受其由于气体的注入和排出的扩展和收缩的预定区域。也就是说，加强板632可以随着安置在加强板632的边缘与主体620之间的弹性膜631的区域的扩展或收缩在主体620的厚度方向上移动，所述区域即，加强板632并未安置在其上的区域。
[0072]移动部件640可以穿过下部主体620b的一个表面621，例如，在主体620的厚度方向上的支撑表面并且因此安置在可扩展部件630上。此处，移动部件640可以由加强板632稳定地支撑。移动部件640的至少一部分，具体来说是朝向主体620的外部的移动部件640的一端插入到界定在主体620的一个表面621中的通孔622中。
[0073]移动部件640的数目根据衬底的尺寸提供为多个。多个移动部件640安置为彼此间隔开。移动部件640可以划分成上部移动部件640a和下部移动部件640b，所述上部移动部件640a安置在可扩展部件630的上部部分上，也就是说在上部分隔空间610a中，所述下部移动部件640b安置在可扩展部件630的下部部分中，也就是说在下部分隔空间610b中。下部移动部件640b可以具有一定长度使得面向移动部件640的主体620的一个表面621的一端安置在主体620的通孔622中。上部移动部件640a可以具有一定长度使得移动部件640的另一端与稍后将描述的喷淋头660间隔开预定距离。此处，移动部件640的另一端与喷淋头660之间的距离可以接纳当可扩展部件630上升和扩展时可扩展部件630的改变。也就是说，移动部件640的另一端与喷淋头660之间的距离表示粘合部件650的冲程距离，例如，粘合部件650的上限位置与粘合部件650的下限位置之间的距离。当移动部件640上升时上部移动部件640a可以充当挡止件。
[0074]由于移动部件640安置在可扩展部件630上以根据可扩展部件630的移动而移动，所以移动部件640可以如下耦合到可扩展部件630。突起641安置在下部移动部件640b的上端的外圆周表面上，并且垫圈642安置在上部移动部件640a的上端的外圆周表面上以对应于突起641。突起641和垫圈642中的每一个接触可扩展部件630。螺栓643穿过突起641和垫圈642以允许将移动部件640固定到可扩展部件630。此处，垫圈642可以将移动部件640固定到可扩展部件630并且密封由移动部件640穿透的可扩展部件630。
[0075]粘合部件650是用于通过使用粘合力固定衬底的部件。粘合部件650可以由具有以下特征的材料形成，其中一旦粘合部件粘合到衬底上并且随后从衬底分离，粘合部件就安置在移动部件640的一端上，实际上不会留下粘合轨迹。举例来说，粘合部件650可以是由基于硅、基于丙烯酸或基于氟的材料形成的粘合片材。
[0076]粘合部件650安置在移动部件640的一端上使得粘合部件650可以移动穿过通孔622。因此，粘合部件650通过主体620的通孔622暴露于主体620的外部。粘合部件650暴露于主体620的一个表面621，例如，支撑表面可以具有圆形形状。粘合部件650可以通过螺栓(未示出)耦合到移动部件640的端部或通过粘合剂粘合到移动部件640的端部上。粘合部件650安置在移动部件640的一端上以通过移动部件640的提升在主体620的通孔622内移动。具体来说，粘合部件650具有平行于主体620的通孔622内的支撑表面安置的粘合表面651以粘合到衬底上或安置为与通孔622内的支撑表面间隔开并且通过选择性地注入到分隔空间610中的气体从衬底上拆卸。
[0077]根据实施例的支撑卡盘600可进一步包含安置在主体620中的喷淋头660使得气体在主体620的厚度方向上注入到分隔空间610:分隔空间610a和分隔空间610b中的至少一个。具体来说，喷淋头660安置在上部主体620a中使得气体在主体620的厚度方向上注入到上部分隔空间610a中。喷淋头660连接到安置在上部主体620a的一侧上的上部管681。
[0078]喷淋头660可以包含:底板，例如，穿孔板，其具有界定在主体620的厚度方向上的多个喷洒孔661 ;以及侧壁，其围绕位于底板的上部部分上的底板的边缘。侧壁中的每一个具有密闭地安置在上部主体620a中的上部部分上的上部部分。喷淋头660的底板可以安置为与上部主体620a中的上部部分间隔开预定距离。底板具有对应于加强板632的尺寸的面积。
[0079]通过喷淋头660，气体可以均匀地喷洒到上部分隔空间610a和加强板632。因此，均匀的力可以施加到可扩展部件630以允许可扩展部件630上升或下降同时保持水平状态。当然，喷淋头660可以安置在下部主体620b中使得气体注入到下部分隔空间610b中。替代地，喷淋头660可以安置在主体620上。
[0080]根据实施例的支撑卡盘600可进一步包含缓冲部件670，所述缓冲部件670安置在主体620中的分隔空间610中的至少一个中并且其中的每一个具有连接到可扩展部件630的一端使得可扩展部件630在主体620的厚度方向上在主体620中移动同时保持均匀的高度。
[0081]也就是说，缓冲部件670中的每一个安置在主体620中朝向可扩展部件630。缓冲部件670具有接触可扩展部件630的组件的一部分以弹性地支撑可扩展部件630。可扩展部件630可以忍受由于主要通过安置在其上的并且以在主体620的厚度方向上的所需速度平稳地升高的缓冲部件670偏斜喷洒的气体的压力。因此，可以防止可扩展部件630的出乎意料的驱动和可扩展部件630与移动部件之间的粘附滑动现象，即，振动现象。
[0082]在当前实施例中，虽然缓冲部件670安置在可扩展部件630下方的下部主体620b上，即，在下部分隔空间610b中，但是所述实施例并不限于此。举例来说，缓冲部件670可以安置在可扩展部件630上方的上部主体620a上，即，在上部分隔空间610a中。并且，缓冲部件670可以安置在可扩展部件630的上方和下方的上部主体620a和下部主体620b中的每一个上并且因此安置在上部分隔空间610a和下部分隔空间610b中的每一个上。在下文中，虽然缓冲部件670的技术特征是基于安置在下部主体620b上的缓冲部件670描述的，但是所述实施例可以同等地应用于缓冲部件670安置在上部主体620a上的情况中。
[0083]缓冲部件670可以包含:引导部件671，其安置在主体620中朝向可扩展部件630 ；以及弹性部件672，其安置在引导部件671的外部并且具有由主体620连接和支撑的一端以及由可扩展部件630连接和支撑的另一端。此处，引导部件671可以具有一定长度使得面向可扩展部件630的引导部件671的一端与可扩展部件630间