下部分隔空间610b中。此处，预先注入到支撑卡盘600中的上部分隔空间610a中的气体通过上部管681排放。在此过程中，注入到下部分隔空间610b和上部分隔空间610a中的每一个的气体可以所需比率调节注入速率和压力以允许可扩展部件630平稳地上升。
[0108]通过气体的注入向下扩展的弹性膜631可以收缩到初始位置并且随后在一些情况下再次向上扩展。具体来说，弹性膜631可以朝向喷淋头660进一步扩展使得加强件632上升直至移动部件640的上端接触喷淋头660。当然，此时，弹性膜631的扩展在主体620的厚度方向上通过加强板632得到控制。在操作S620中，随着可扩展部件630上升，安置在可扩展部件630上的移动部件640和粘合部件650下降。
[0109]此处，缓冲部件670可以施加预定弹力到可扩展部件630同时在可扩展部件630的移动方向上弹性地复原，并且因此可扩展部件630可以通过弹力稳定地移动。当移动部件640的上端接触喷淋头660时，可扩展部件630的移动停止。也就是说，移动部件640的上端，例如，上部移动部件640a可以充当挡止件。
[0110]在上述过程中，在操作S630中，粘合部件650的粘合表面移动远离衬底并且因此从上部衬底S1的顶部表面释放，并且因此粘合部件650从上部衬底S1分离。从支撑卡盘600分离的上部衬底S1安放且支撑在下部衬底S2上。当粘合部件650从上部衬底S1释放时，连接到下部分隔空间610b的控制阀是关闭的以终止气体的注入。并且随后，供应到下部分隔空间610b中的气体可以通过下部管682排放。因此，粘合部件650可以返回到其初始位置。
[0111]如上文所述，在粘合部件650向支撑卡盘600内移动且从上部衬底S1释放的同时，维持了支撑卡盘600的支撑表面接触以由上部衬底S1支撑的状态，并且因此在与现有技术相比时衬底可以稳定地间隔开，并且可以防止对齐衬底中发生绞拧的现象。
[0112]在当前实施例中，密封部件690可以安置在通孔622的一端上或可以不安置在通孔622的一端上。当密封部件690不安置在通孔622的一端上时，至少一部分的注入到下部分隔空间610b中的气体可以在通孔622与粘合部件650之间喷洒。因此，注入到下部分隔空间610b中的气体可以充当净化气体以用于在上部衬底S1从支撑卡盘600分离的同时辅助上部衬底S1从支撑卡盘600分离。
[0113]随后，如图8中所说明，在操作S700中，上部支撑件上升。此处，在上部支撑件200上升的同时，或者在上部支撑件200上升之前或之后，注入到下部分隔空间610b中的气体可以排放以释放施加到支撑卡盘600的内部组件的压力，由此将支撑卡盘600的内部组件的状态改变为它们的初始状态。
[0114]随后，安置在下部支撑件300上的抬升部件500上升以从下部支撑件300分离衬底，并且衬底移动到间隔开的固化装置(未示出)。并且随后，在操作S800中，光，例如，紫外射线照射到结合部件上，例如，密封剂，方法是使用固化装置以固化密封剂从而完成衬底的结合。
[0115]根据所述实施例，可以提供被驱动同时通过将气体选择性地注入到支撑卡盘中的隔离的分隔空间中保持相对于支撑卡盘中的衬底的平行状态的可扩展部件。
[0116]此处，可扩展部件可以由弹性地支撑可扩展部件的缓冲部件稳定地驱动。由于粘合部件通过使用可扩展部件在支撑卡盘中向内或外向移动，所以粘合部件可以移动同时保持彼此相同的高度，并且支撑卡盘可以均匀地将粘合部件粘合到衬底或者将粘合部件均匀地从衬底分离。
[0117]根据现有技术，接触衬底的单独的组件用于从支撑卡盘推按衬底，由此从支撑卡盘分离衬底。因此，由于从单独的组件施加到衬底的力，衬底被损坏或绞拧。
[0118]另一方面，根据实施例，在粘合部件向内移动支撑卡盘以从支撑卡盘分离衬底的同时，衬底可以维持在衬底接触支撑卡盘的支撑表面的状态中，并且因此衬底可以分离而不会被损坏，并且还可以防止衬底发生绞拧的现象。
[0119]并且，由于支撑卡盘允许气体选择性地注入到其中的隔离的分隔空间中以驱动粘合部件，也就是说，驱动粘合部件的组件安置在支撑卡盘中，支撑卡盘和具有支撑卡盘的衬底处理设备可以在结构上得到简化。
[0120]因此，多种衬底处理过程，例如，衬底结合过程的稳定性可以得到改进，并且所制造的衬底还可以在品质上得到改进。
[0121]虽然已参考具体实施例描述衬底结合过程和设备，但它们不限于此。因此，所属领域的技术人员将容易理解，在不脱离由所附权利要求界定的本发明的精神和范围的情况下，可对其进行各种修改和改变。
【主权项】
1.一种支撑衬底的支撑卡盘，其特征在于所述支撑卡盘包括: 主体，其具有内部空间； 可扩展部件，其经配置以在所述主体的厚度方向上划分所述内部空间，所述可扩展部件安置在所述主体中使得通过注入到间隔开的分隔空间中的气体使所述可扩展部件在所述主体的所述厚度方向上移动； 移动部件，其在所述主体的所述厚度方向上穿过所述主体的一个表面并且安置在柔性部件上；以及 粘合部件，其安置在所述主体向外的所述移动部件的端部上。2.根据权利要求1所述的支撑卡盘，其特征在于进一步包括安置在所述主体中的喷淋头使得气体注入到在所述主体的所述厚度方向上的所述分隔空间中的至少一个中。3.根据权利要求1所述的支撑卡盘，其特征在于进一步包括缓冲部件，所述缓冲部件安置在所述分隔空间中的至少一个中并且具有连接到所述可扩展部件的一个端部。4.根据权利要求1所述的支撑卡盘，其特征在于通孔和真空孔界定在所述主体的一个表面中，并且 所述粘合部件安置在所述通孔内。5.根据权利要求4所述的支撑卡盘，其特征在于暴露于所述主体的外部的所述粘合部件的粘合表面通过选择性地注入到所述分隔空间中的气体安置在所述通孔中或平行于所述主体的所述一个表面。6.根据权利要求4所述的支撑卡盘，其特征在于进一步包括安置在所述通孔中的密封部件使得所述粘合部件和所述移动部件的上端中的至少一个与所述通孔之间的空间是密封的。7.根据权利要求1所述的支撑卡盘，其特征在于所述可扩展部件包括: 弹性膜，其安置在所述主体中以划分所述内部空间；以及 加强板，其安置在所述弹性膜的至少一个表面上使得所述加强件板根据所述弹性膜的形状改变在所述主体的所述厚度方向上移动。8.根据权利要求3所述的支撑卡盘，其特征在于所述缓冲部件包括: 引导部件，其安置在所述主体中朝向所述可扩展部件；以及 弹性部件，其安置在所述引导部件的外部并且具有连接到所述可扩展部件的一端和连接到所述主体的另一端。9.一种衬底处理设备，其特征在于包括: 腔室，其具有衬底处理空间； 上部支撑件，其安置在所述腔室中； 下部支撑件，其安置成面向所述上部支撑件；以及 支撑卡盘，其安置在所述上部支撑件和所述下部支撑件中的至少一个上，所述支撑卡盘具有其中彼此分离的分隔空间， 其中所述支撑卡盘包括粘合部件，所述粘合部件可通过选择性地注入到所述分隔空间中的气体在所述支撑卡盘中向外或向内移动。10.根据权利要求9所述的衬底处理设备，其特征在于所述支撑卡盘提供为多个，并且多个所述支撑卡盘安置在界定在所述上部支撑件的底部表面和所述下部支撑件的顶部表面中的至少一个上的多个区域中。11.根据权利要求9所述的衬底处理设备，其特征在于所述支撑卡盘包括: 主体，其具有内部空间； 可扩展部件，其经配置以在所述主体的厚度方向上划分所述内部空间，所述可扩展部件安置在所述主体中使得通过注入到间隔开的分隔空间中的气体使所述可扩展部件在所述主体的所述厚度方向上移动；以及 移动部件，其安置在所述可扩展部件上并且具有插入到所述主体中的至少一个部分。12.根据权利要求11所述的衬底处理设备，其特征在于所述支撑卡盘包括: 缓冲部件，其安置在所述主体中朝向所述可扩展部件以接触和支撑所述可扩展部件；以及 管，其经配置以将气体注入到所述分隔空间中的每一个中。13.根据权利要求11所述的衬底处理设备，其特征在于通孔和真空孔界定在所述主体的一个表面中，并且 所述粘合部件耦合到所述主体向外的所述移动部件的端部中，使得所述粘合部件移动穿过所述通孔。14.根据权利要求11所述的衬底处理设备，其特征在于所述可扩展部件包括: 弹性膜，其安置在所述主体中使得所述内部空间在所述主体的所述厚度方向上得到划分；以及 加强板，其安置在所述弹性膜的至少一个表面上。15.根据权利要求12所述的衬底处理设备，其特征在于所述缓冲部件包括: 引导部件，其安置在朝向所述可扩展部件的所述分隔空间中的至少一个中并且具有与所述可扩展部件间隔开的朝向所述可扩展部件的一端；以及 弹性部件，其安置在所述引导部件的外部，所述弹性部件具有连接且支撑在所述主体上的一端以及连接且支撑在所述可扩展部件上的另一端。16.根据权利要求13所述的衬底处理设备，其特征在于进一步包括安置在所述通孔的一端上的密封部件因此包括所述通孔与所述粘合部件的外圆周表面之间的空间。
【专利摘要】本发明提供一种支撑卡盘和衬底处理设备。支撑衬底的支撑卡盘包含：主体，其具有内部空间；可扩展部件，其经配置以在主体的厚度方向上划分内部空间，可扩展部件安置在主体中使得通过注入到间隔开的分隔空间中的气体使可扩展部件在主体的厚度方向上移动；移动部件，其在主体的厚度方向上穿过主体的一个表面并且安置在柔性部件上；以及粘合部件，其安置在主体向外的移动部件的端部上。在衬底从支撑衬底的单元分离的同时，可以防止衬底发生绞拧的现象。
【IPC分类】H01L21/683, H01L21/67
【公开号】CN105244306
【申请号】CN201510395072
【发明人】金相午
【申请人】Ap系统股份有限公司
【公开日】2016年1月13日
【申请日】2015年7月7日