成像器件、制造装置、制造方法以及电子装置的制造方法_5

文档序号:9848359阅读:来源:国知局

[0583]校正单元,所述校正单元校正入射在所述光电转换单元上的光的角度,所述校正单元位于所述光电转换单元的光入射侧上,
[0584]所述方法包括:
[0585]制造所述校正单元,所述校正单元为下列之一:具有弯曲表面的校正单元,所述弯曲表面的表面形状为球形表面;和具有非球形表面的校正单元,
[0586]其中所述表面形状为满足下列条件之一的形状:
[0587](I.15Xn-0.38-0.0067473X ((n-1.2)2/0.42) Xa.) Xxl
[0588]<r < (((n-1.35)2/0.252) X 23.157/(a 繼-24.9 2 5 ) 0.46551
[0589]+44.5918-29 Xn) Xxl
[0590](0.1733+1.7 Xn-0.02993X ((n-0.9)2) Xamax) Xxl[0591 ] <r < (((n-1.I )2/0.52) X 9.2769/(a 繼-19.206)°.3767
[0592]+9.94712-6.5Xn) Xxl
[0593]Arc Cos[Sqrt[n2-2XnXCos[a]+Cos[a]2]
[0594]/ sqrt[n2-2 Xn XCos[a]+Cos[a]2+Sin[a]2] ]-5
[0595]< e < Arc Cos[Sqrt[n2-2 Xn XCos[a]+Cos[a]2]
[0596]/ sqrt[n2-2 Xn XCos[al+Cos[a]2+Sin[a]2] ]+5
[0597]or
[0598]Arc Cos[Sqrt[n2-2XnXCos[a]+Cos[a]2]
[0599]/ sqrt[n2-2 Xn XCos[a]+Cos[a]2+Sin[a]2] ]-2
[0600]< e < Arc Cos[Sqrt[n2-2 Xn XCos[a]+Cos[a]2]
[0601 ] / sqrt[n2-2 Xn XCos[a]+Cos[a]2+Sin[a]2] ]+2
[0602]其中r表示球形表面的半径,xl表示自成像平面的光轴的中心至成像平面的边缘的距离,η表示形成校正单元的材料的折射率,amax表示光的最大入射角,a表示光的入射角,以及e表示垂直于校正单元的表面的线与垂直于成像平面的线之间的角度。
[0603]本发明也可采用下列形式:
[0604](20)—种成像器件,包括:
[0605]光电转换单元;和
[0606]校正单元,被配置为校正入射在所述光电转换单元上的光的角度,其中所述校正单元位于所述光电转换单元的光入射侧上。
[0607](21)根据(20)所述的成像器件,其中所述校正单元具有弯曲表面,其中所述弯曲表面的表面形状为球形表面,以及其中所述表面形状满足下列条件:
[0608](I.15 Xn-0.38-0.0067473 X ((n-1.2)2/0.42) X 30) X xl
[0609]<r < (((n-1.35)2/0.252) X 23.157/(20-24.925)0.46551
[0610]+44.5978-29Xn) Xxl
[0611]其中,r表示球形表面的半径,xl表示自成像平面的光轴的中心至成像平面的边缘的距离,以及η表示形成校正单元的材料的折射率。
[0612](22)根据(20)所述的成像器件,其中所述校正单元具有弯曲表面,其中所述弯曲表面的表面形状为球形表面,以及其中所述表面形状满足下列条件:
[0613](I.15 X n-0.38-0.0067473 X ((n_l.2)2/0.42) X 20) X xl
[0614]<r < (((n-1.35)2/0.252) X 23.157/(30-24.925)0.46551
[0615]+44.5978-29Xn) Xxl
[0616]其中,r表示球形表面的半径,xl表示自成像平面的光轴的中心至成像平面的边缘的距离,以及η表示形成校正单元的材料的折射率。
[0617](23)根据(20)所述的成像器件,其中所述校正单元具有弯曲表面,其中所述弯曲表面的表面形状为球形表面,以及其中所述表面形状满足下列条件:
[0618](0.1733+1.7 Xn-0.02993 X ((n-0.9)2) X30) Xxl
[0619]<r < (((n-1.I )2/0.52) X 9.2769/(20-19.206)。.3767
[0620]+9.94712-6.5Xn) Xxl
[0621]其中,r表示球形表面的半径,xl表示自成像平面的光轴的中心至成像平面的边缘的距离,以及η表示形成校正单元的材料的折射率。
[0622](24)根据(20)所述的成像器件,其中所述校正单元具有弯曲表面,其中所述弯曲表面的表面形状为球形表面,以及其中所述表面形状满足下列条件:
[0623](0.1733+1.7 Xn-0.02993 X ((n-0.9)2) X 20) Xxl
[0624]<r < (((n-1.I )2/0.52) X 9.2769/(30-19.206)。.3767
[0625]+9.94712-6.5Xn) Xxl
[0626]其中,r表示球形表面的半径,xl表示自成像平面的光轴的中心至成像平面的边缘的距离,以及η表示形成校正单元的材料的折射率。
[0627](25)根据(20)所述的成像器件,其中所述校正单元具有弯曲表面,其中所述弯曲表面的表面形状为非球形表面,以及其中所述表面形状满足下列条件:
[0628]Arc Cos[Sqrt[n2-2XnXCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]
[0629]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2]
[0630]/sqrt[n2-2XnXCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]
[0631]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2
[0632]+Sin[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2]]~5
[0633]< e <
[0634]Arc Cos[Sqrt[n2-2XnXCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]
[0635]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2]
[0636]/sqrt[n2-2XnXCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]
[0637]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2
[0638]+Sin[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2]]+5
[0639]其中,e表示垂直于校正单元的表面的线与垂直于成像平面的线之间的角度,n表示形成校正单元的材料的折射率,X表示离光轴中心的距离,xl表示自光轴中心至边缘的距离,amax表示光的最大入射角,以及301£?在20度至30度之间。
[0640](26)根据(20)所述的成像器件,其中所述校正单元具有弯曲表面,其中所述弯曲表面的表面形状为非球形表面,以及其中所述表面形状满足下列条件:
[0641]Arc Cos[Sqrt[n2-2XnXCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]
[0642]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2]
[0643]/sqrt[n2-2XnXCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]
[0644]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2
[0645]+Sin[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2]]~2
[0646]< e <
[0647]Arc Cos[Sqrt[n2-2XnXCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]
[0648]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2]
[0649]/sqrt[n2-2XnXCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]
[0650]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2
[0651]+Sin[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2]]+2
[0652]其中,e表示垂直于校正单元的表面的线与垂直于成像平面的线之间的角度,n表示形成校正单元的材料的折射率,X表示离光轴中心的距离,Xl表示自光轴中心至边缘的距离,amax表示光的最大入射角,以及301£?在20度至30度之间。
[0653](27)根据(20)所述的成像器件,其中所述校正单元为可转换透镜和形状可变透镜中一者,以及其中所述校正单元的表面形状由拉应力控制。
[0654](28)根据(20)所述的成像器件,其中所述校正单元为可转换透镜和形状可变透镜中一者,其中所述校正单元由两层液体形成,其中所述液体中一者具有凸接面形状,以及其中所述液体中所述一者的凸接面形状由电压施加控制。
[0655](29)根据(28)所述的成像器件,其中所述凸接面形状为满足下列条件的形状:
[0656](I.15 X n-0.38-0.0067473X((n-1.2) 2/0.42)
[0657]XArc Sin[Sin30/nl]) Xxl < r < (((n-1.35)2/0.252)
[0658]X23.157/(Arc Sin[Sin20/nl]-24.925)0'46551
[0659]+44.5978-29Xn) Xxl
[0660]其中,n等于nl/n2,nl表示光入射侧上的第一液体的折射率,n2表示光电转换单元侧上的第二液体的折射率,xl表示自成像平面的光轴的中心至成像平面的边缘的距离,以及r表示凸状形状的半径,所述第一液体和所述第二液体为所述两层液体。
[0661](30)根据(28)所述的成像器件,其中所述凸接面形状为满足下列条件的形状:
[0662](I.15 X n-0.38-0.0067473X((n-1.2) 2/0.42)
[0663]XArc Sin[Sin20/nl]) Xxl < r < (((n-1.35)2/0.252)
[0664]X23.157/(Arc Sin[Sin30/nl]-24.925)0'46551
[0665]+44.5978-29Xn) Xxl
[0666]其中,n等于nl/n2,nl表示光入射侧上的第一液体的折射率,n2表示光电转换单元侧上的第二液体的折射率,xl表示自成像平面的光轴的中心至成像平面的边缘的距离,以及r表示凸状形状的半径,所述第一液体和所述第二液体为所述两层液体。
[0667](31)根据(28)所述的成像器件,其中所述凸接面形状为满足下列条件的形状:
[0668](0.1733+1.7 Xn-0.02993 X ((n-0.9)2)
[0669]XArc Sin[Sin30/nl]) Xxl < r < (((n-1.1)2/0.52)
[0670]X9.2769/(Arc Sin[Sin20/nl]_19.2 0 6 ) 0.3767
[0671]+9.94712-6.5Xn) Xxl
[0672]其中,n等于nl/n2,nl表示光入射侧上的第一液体的折射率,n2表示光电转换单元侧上的第二液体的折射率,Xl表示自成像平面的光轴的中心至成像平面的边缘的距离,以及r表示凸状形状的半径,所述第一液体和所述第二液体为所述两层液体。
[0673](32)根据(28)所述的成像器件,其中所述凸接面形状为满足下列条件的形状:
[0674](0.1733+1.7 Xn-0.02993 X ((n-0.9)2)
[0675]XArc Sin[Sin20/nl]) Xxl < r < (((n_l.I)2/0.52)
[0676]X9.2769/(Arc Sin[Sin30/nl]_19.206)。.3767
[0677]+9.94712-6.5 X η)X xl
[0678]其中,n等于nl/n2,nl表示光入射侧上的第一液体的折射率,n2表示光电转换单元侧上的第二液体的折射率,xl表示自成像平面的光轴的中心至成像平面的边缘的距离,以及r表示凸状形状的半径,所述第一液体和所述第二液体为所述两层液体。
[0679](33)根据(28)所述的成像器件,其中所述凸接面形状为满足下列条件的形状:
[0680]dmax5 =Arc Sin[nl X Sin[cmax,]/n2]_b’
[0681]Arc Cos[Sqrt[n2-2 Xn XCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,])]]
[0682]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,]) ] ]2]
[0683]/sqrt[n2-2XnXCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,])]]
[0684]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,]) ] ]2
[0685]+Sin[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,]) ] ]2] ]-5
[0686]<e<
[0687]Arc Cos[Sqrt[n2-2 Xn XCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,])]]
[0688]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,]) ] ]2]
[0689]/sqrt[n2-2XnXCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,])]]
[0690]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,]) ] ]2
[0691]+Sin[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,]) ] ]2] ]+5
[0692]其中,e表示垂直于校正单元的表面的线与垂直于成像平面的线之间的角度,n等于nl/n2,nl表示光入射侧上的第一液体的折射率,n2表示光电转换单元侧上的第二液体的折射率,X表示离光轴中心的距离,xl表示自光轴中心至边缘的距离,cmax’表示入射在第二液体上的光的最大入射角,以及dmax’表不在第二液体中的光的最大入射角,所述第一液体和所述第二液体为所述两层液体。
[0693](34)根据(28)所述的成像器件,其中所述凸接面形状为满足下列条件的形状:
[0694]dmax5 =Arc Sin[nl X Sin[cmax,]/n2]_b’
[0695]Arc Cos[Sqrt[n2-2 Xn XCos[Tan[ X/(xl/Arc Tan[dmax?])]]
[0696]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,]) ] ]2]
[0697]/sqrt[n2-2XnXCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,])]]
[0698]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,]) ] ]2
[0699]+Sin[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,]) ] ]2] ]-2
[0700]< e <
[0701]Arc Cos[Sqrt[n2-2 Xn XCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,])]]
[0702]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,]) ] ]2]
[0703]/sqrt[n2-2XnXCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,])]]
[0704]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax,])]]2
[0705]+Sin[Tan[x/(xl/Arc Tan[dmax’])]]2]]+2
[0706]其中,e表示垂直于校正单元的表面的线与垂直于成像平面的线之间的角度,n等于nl/n2,nl表示光入射侧上的第一液体的折射率,n2表示光电转换单元侧上的第二液体的折射率,X表示离光轴中心的距离,xl表示自光轴中心至边缘的距离,cmax’表示入射在第二液体上的光的最大入射角,以及dmax’表不在第二液体中的光的最大入射角,所述第一液体和所述第二液体为所述两层液体。
[0707](35) —种用于制造成像器件的装置,所述成像器件包括:
[0708]光电转换单元;和
[0709]校正单元,被配置为校正入射在所述光电转换单元上的光的角度,所述校正单元位于所述光电转换单元的光入射侧上,
[0710]其中所述校正单元具有弯曲表面,其中所述弯曲表面的表面形状为球面,以及其中所述表面形状满足下列条件之一:
[0711 ] (I.15 Xn-0.38-0.0067473 X ((η-1.2)2/0.42) X 30) X xl
[0712]<r < (((n-1.35)2/0.252) X 23.157/(20-24.925)0.46551
[0713]+44.5978-29Xn) Xxl
[0714]or
[0715](I.15 X n-0.38-0.0067473 X ((n_l.2)2/0.42) X 20) X xl
[0716]<r < (((n-1.35)2/0.252) X 23.157/(30-24.925)0.46551
[0717]+44.5978-29Xn) Xxl
[0718]其中,r表示球形表面的半径,xl表示自成像平面的光轴的中心至成像平面的边缘的距离,以及η表示形成校正单元的材料的折射率。
[0719](36) —种用于制造成像器件的装置,所述成像器件包括:
[0720]光电转换单元;和
[0721]校正单元,被配置为校正入射在所述光电转换单元上的光的角度,所述校正单元位于所述光电转换单元的光入射侧上,
[0722]其中所述校正单元具有弯曲表面,其中所述弯曲表面的表面形状为球面,以及其中所述表面形状满足下列条件之一:
[0723](0.1733+1.7 Xn-0.02993 X ((n-0.9)2) X30) Xxl
[0724]<r < (((η-1.I )2/0.52) X 9.2769/(20-19.206)。.3767
[0725]+9.94712-6.5Xn) Xxl
[0726]or
[0727](0.1733+1.7 Χη-0.02993X ((n-0.9)2) X20) Xxl
[0728]<r < (((n-1.I )2/0.52) X 9.2769/(30-19.206)。.3767
[0729]+9.94712-6.5Xn) Xxl
[0730]其中,r表示球形表面的半径,xl表示自成像平面的光轴的中心至成像平面的边缘的距离,以及η表示形成校正单元的材料的折射率。
[0731](37) —种用于制造成像器件的装置,所述成像器件包括:
[0732]光电转换单元;和
[0733]校正单元,被配置为校正入射在所述光电转换单元上的光的角度,其中所述校正单元位于所述光电转换单元的光入射侧上,
[0734]其中所述校正单元具有弯曲表面,其中所述弯曲表面的表面形状为非球面,以及其中所述表面形状满足下列条件之一:
[0735]Arc Cos[Sqrt[n2-2XnXCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]
[0736]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2]
[0737]/sqrt[n2-2 Xn XCos[Tan[x/ (xl/Arc Tan [a.])]]
[0738]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2
[0739]+Sin[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2]]~5
[0740]< e <
[0741]Arc Cos[Sqrt[n2-2XnXCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]
[0742]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2]
[0743]/sqrt[n2-2 Xn XCos[Tan[x/ (xl/Arc Tan [a.])]]
[0744]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2
[0745]+Sin[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2]]+5
[0746]or
[0747]Arc Cos[Sqrt[n2-2XnXCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]
[0748]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2]
[0749]/sqrt[n2-2 Xn XCos[Tan[x/ (xl/Arc Tan [a.])]]
[0750]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2
[0751]+Sin[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2]]~2
[0752]<e<
[0753]Arc Cos[Sqrt[n2-2XnXCos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]
[0754]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2]
[0755]/sqrt[n2-2 Xn XCos[Tan[x/ (xl/Arc Tan [a.])]]
[0756]+Cos[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2
[0757]+Sin[Tan[x/(xl/Arc Tan[amax])]]2]]+2
[0758]其中,e表示垂直于校正单元的表面的线与垂直于成像平面的线之间的角度,n表示形成校正单元的材料的折射率,X表示离光轴中心的距离,xl表示自光轴中心至边缘的距离,amax表示光的最大入射角,以及&1^在20度至30度之间ο
[0759](38)—种制造装置的方法,所述装置用于制造成像器件,所述成像器件包括:
[0760]光电转换单元;和
[0761]校正单元,被配置为校正入射在所述光电转换单元上的光的角度,所述校正单元位于所述光电转换单元的光入射侧上,
[0762]所述方法包括:
[0763]制造所述校正单元,所述校正单元具有下列之一:I)球形表面形状;和2)非球形表面形状,
[0764]其中所述表面形状满足下列条件之一:
[0765](1.15Xn-0.38-0.0067473X ((η-1.2)2/0.42) Xamax) Xxl
[0766]<r < (((n-1.35)2/0
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