基板转移装置的制造方法

基板转移装置的制造方法
【专利摘要】本发明提供一种基板转移装置，所述基板转移装置包含：托盘，基板安装在所述托盘上；磁性转移部分，其安置在所述托盘下方，磁性地使所述托盘悬浮并藉由磁力转移所述托盘；导引单元，其导引所述托盘的转移而不接触所述托盘；以及间隙维持构件，其设在所述磁性转移部分与所述导引单元之间的至少一个区域上。
【专利说明】
基板转移装置
技术领域
[0001] 本发明是关于基板转移装置，且更明确而言是关于经由无接触方法转移安装了基 板的托盘(tray)的基板转移装置。
【背景技术】
[0002] 大体而言，平板显示器件(Flat Panel Display device，简称:FFO)(诸如液晶显 不器件（Liquid Crystal Display device，简称：LCD)、等离子体显不面板器件（Plasma Display Panel device，简称：PDP)、场发射显不器件（Field Emission Display device， 简称:FED)以及电致发光显不器件（Electro luminescence Display device，简称：ELD)) 是藉由在基板上执行多个制程而制造。即，在基板上，重复进行沉积(deposition)制程、光 微影(photo lithography)制程以及蚀刻(etching)制程多次，且另外执行清洁、附接以及切 割制程以制造平板显示器件。
[0003] 平板显示器件的此等制造过程是在其中准备了最佳环境的多个腔室内部执行。为 此，设想了线内方法，其中基板安装于托盘(Tray)上，且所述托盘接着被垂直或倾斜竖立地 转移以便通过所述多个腔室的内部。
[0004] 用于转移基板的转移装置可包含基板安装在其上的托盘，及接触所述托盘的底部 并由马达旋转以藉此将推力提供至所述托盘的驱动滚筒。即，现有技术转移装置藉由设在 腔室的下部部分上并接触托盘底部的驱动滚筒的力矩转移托盘。此等转移装置的实例揭露 于韩国专利申请特许公开案第2003-0068292号中。
[0005] 然而，存在限制，因为随着驱动滚筒与托盘底部之间的摩擦增加而产生颗粒 (particle)。所述颗粒附着至经转移基板，藉此产生显示器件中的缺陷，并根据高规格/高 效能器件的开发而引起缺陷器件。又，颗粒被引入用于在腔室内部形成真空的真空栗中，导 致真空栗的故障。
[0006] (现有技术文献）
[0007] 韩国专利申请特许公开案第2003-0068292号

【发明内容】

[0008] 所要解决的技术问题
[0009] 本发明提供由于在不接触托盘的情况下转移基板而能够防止颗粒产生的基板转 移装置。
[0010] 本发明提供由于托盘在被磁性悬浮的同时进行转移而能够防止颗粒产生的基板 转移装置。
[0011] 解决问题的技术手段
[0012] 根据例示性实施例，基板转移装置包含:托盘，基板安装在所述托盘上;磁性转移 单元，其安置在所述托盘下方，磁性地使所述托盘悬浮，并藉由磁力转移所述托盘；以及导 引单元，其在不接触所述托盘的情况下导引所述托盘的转移。
[0013] 基板转移装置可进一步包含转移基底，其包含经提供以接触所述托盘的下侧的接 触区域以及自接触区域两侧向下延伸的延伸区域。
[0014] 磁性转移单元可包含:磁性悬浮部分，其安置于转移基底的一个区域上并磁性地 使托盘悬浮；以及磁性转移部分，其安置在磁性悬浮部分下方以在一个方向中转移由磁力 悬浮的托盘。
[0015] 磁性悬浮部分可包含：第一磁性悬浮部分，其接触转移基底，并包含至少一个磁 体；以及第二磁性悬浮部分，其与第一磁性悬浮部分隔开，并包含将被施加来自第一磁性悬 浮部分的吸力及斥力中的至少任一个的至少一个磁体。
[0016] 磁性转移部分可包含:旋转轴;磁性旋转部分，其包含经安置以环绕所述旋转轴的 多个磁体;以及磁性转移部分，其与磁性旋转部分隔开并包含多个磁体。
[0017] 基板转移装置可进一步包含容纳部分，其在内部容纳磁性旋转部分，其中所述容 纳部分的上部部分接触第二磁性悬浮部分。
[0018] 磁性转移部分的所述多个磁体可设在转移基底的延伸区域的至少一个区域上，所 述一个区域面对磁性旋转部分。
[0019]磁性旋转部分的所述多个磁体可经提供以使得具有彼此不同极性的磁体被交替 地安置，以便以预定角度环绕旋转轴，且磁性转移部分的所述多个磁体可经提供以使得具 有彼此不同极性的磁体被交替地安置，以便具有与磁性旋转部分的角度相同的角度。
[0020] 导引单元可包含:第一导引磁体，其耦接至托盘的上部部分；以及第二导引磁体， 其设在腔室的上壁上以与第一导引磁体隔开预定距离，其中第一导引磁体及第二导引磁体 被施加吸力或斥力中的至少任一个。
[0021] 导引单元可进一步包含设在托盘与腔室内壁之间的转移导引件。
[0022] 转移导引件可设在延伸区域与腔室内壁之间。
[0023] 基板转移装置可进一步包含设在磁性转移单元与导引单元之间的至少一个区域 上的间隙维持构件。
[0024] 间隙维持构件可设在延伸区域与磁性悬浮部分之间的区域或延伸区域与转移导 引件之间的区域中的至少一个上。
[0025] 转移导引件的至少一部分可在接近托盘的方向中及在远离托盘的方向中移动。
[0026] 当托盘被转移时，设在横移腔室中的转移导引件可位于邻近于托盘的第一位置 处，且当托盘被返回时，转移导引件可位于远离托盘的第二位置处。
[0027]发明效果
[0028] 根据例示性实施例的基板转移装置包含:磁性转移部分，其在托盘下方，所述磁性 转移部分磁性地悬浮并转移其上安装基板的托盘；以及导引单元，其在托盘之上并在托盘 的侧表面上，导引单元导引托盘的移动。因此，由于并未在托盘与磁性转移部分之间产生摩 擦，因此不产生颗粒，且因此不会出现由颗粒引起的产品缺陷且不会出现诸如真空栗的零 件的故障。
[0029] 在根据例示性实施例的基板转移装置中，导引托盘的转移的转移导引件的至少一 部分可在接近托盘的方向上及在远离托盘的方向上移动。亦即，当托盘被转移时，横移腔室 的转移导引件接近于托盘而安置，且当托盘被返回时，横移腔室的转移导引件远离托盘而 安置以允许托盘的位置被容易地移动。因此，当在横移腔室中移动托盘的位置时，可增加托 盘的移动裕度。
【附图说明】
[0030]图1是根据例示性实施例的基板转移装置的正视图。
[0031 ]图2是说明根据例示性实施例的基板转移装置的侧视图。
[0032] 图3是说明根据第一例示性实施例的基板转移装置的磁性转移单元的侧视图。
[0033] 图4是说明根据第一例示性实施例的基板转移装置的磁性转移部分的示意图。 [0034]图5是说明根据第二例示性实施例的基板转移装置的磁性转移单元的侧视图。
[0035] 图6是说明根据第三例示性实施例的基板转移装置的磁性转移单元的侧视图。
[0036] 图7是说明根据例示性实施例的基板转移装置的导引单元的侧视图。
[0037] 图8是说明根据第四例示性实施例的基板转移装置的磁性转移单元的侧视图。
[0038] 图9是说明根据第五例示性实施例的基板转移装置的磁性转移单元的侧视图。
[0039] 图10及图11是说明根据第六例示性实施例的基板转移装置的侧视图。
【具体实施方式】
[0040] 下文中，将参看附图更详细地描述例示性实施例。然而，本发明可呈不同形式，且 不应被理解为限于本文中所阐述的实施例。确切而言，提供此等实施例以使得本发明将为 透彻且完整的，且将向本领域技术人员充分传达本发明的范畴。
[0041] 图1是根据第一例示性实施例的基板转移装置的正视图，且图2是说明根据第一例 示性实施例的基板转移装置的侧视图。即，自安装基板的方向来看，图1是正视图，且图2是 侧视图。又，图3是说明根据第一例示性实施例的基板转移装置的磁性转移单元的侧视图， 且图4是说明根据第一例示性实施例的基板转移装置的磁性转移部分的示意图。
[0042] 参看图1至图4,根据例示性实施例的基板转移装置可包含:托盘（100)，其转移安 装在其上的基板;磁性转移单元（200)，其安置在所述托盘（100)下方，磁性地使所述托盘 (100)悬浮，并藉由磁力转移所述托盘（100);以及导引单元(300)，其安置在所述托盘（100) 上方以导引所述托盘(100)的转移。
[0043] 托盘（100)是以中空矩形框架的形状提供，且基板安装在其上。即，托盘（100)可以 中空矩形框架的形状制造，以使得具有预定长度的四个条设在上部侧、下部侧、左侧以及右 侧上，彼此隔开预定距离，且条的末端彼此接触。又，用于可拆卸地夹持基板的多个夹具可 设在托盘（100)上。此处，基板的边缘可按预定宽度接触托盘（100)的四个侧，且基板可藉由 夹具固定。此托盘（1〇〇)是在基板安装于其上且所述托盘垂直地或倾斜地竖立的状态中进 行转移。即，多个腔室在一个方向上连接，且在其上安装有基板的托盘（100)移动穿过所述 多个腔室的内部的同时，在基板上执行诸如薄膜沉积制程的预定制程。托盘(100)所移动穿 过的所述多个腔室可包含:装载腔室，在其中基板被安装于托盘（100)上；以及多个沉积腔 室，在其中预定薄膜沉积于安装在托盘（1〇〇)上的基板上；以及横移(traverse)腔室，在其 中托盘（100)被提升且托盘（100)的位置被移动。即，基板在装载腔室中安装于托盘（100) 上，接着在托盘移动穿过所述多个沉积腔室的同时多个薄膜沉积于基板上，且接着在横移 腔室中移动托盘的位置以使得托盘可朝向装载腔室移动。此处，装载腔室、所述多个沉积腔 室以及横移腔室可维持真空状态。又，基板可为用于制造包含液晶显示器件的平板显示器 件的各种基板，且可由包含(例如)玻璃、塑胶、薄膜或类似的材料制成。另外，接触转移单元 (200)的部分的转移基底（110)可设在托盘（100)下方。转移基底（110)可设在托盘（100)底 部的整个区域上。即，转移基底(110)可具有与托盘(100)底部的长度相同的长度，且可连接 至托盘（100)的底部以在向下方向上具有预定厚度。此转移基底（110)可包含具有与托盘 (100)宽度相同的宽度的第一区域(111)，及设在第一区域(111)下方并具有小于托盘(100) 宽度的宽度(例如，托盘（100)的一半宽度）的第二区域（112)。此处，磁性转移单元(200)的 部分可接触第二区域(112)。当然，可以各种形状提供转移基底(110)。
[0044] 磁性转移单元(200)磁性地使托盘（100)悬浮并转移托盘（100)同时维持与托盘 (100)的无接触状态。此磁性转移单元(200)可包含磁性地使托盘（100)悬浮的磁性悬浮部 分（210 )，及磁性转移部分（220 )，磁性转移部分(220)藉由被施加来自磁性悬浮部分(210) 的吸力或斥力而转移由磁性悬浮部分(210)磁性地悬浮的托盘(100)。
[0045] 磁性悬浮部分（210)可包含经提供以接触转移基底（110)的第一磁性悬浮部分 (211) ，及经提供以与第一磁性悬浮部分(211)隔开的第二磁性悬浮部分(212)。此处，第二 磁性悬浮部分(212)可设在托盘（100)与托盘（100)转移穿过的所述多个腔室的内壁之间。 此处，第二磁性悬浮部分(212)可固定至托盘（100)转移穿过的所述多个腔室的内壁，并固 定在距腔室底部部分的预定高度处。即，其上安装有基板的托盘(100)可经转移穿过串联连 接的多个腔室，第一磁性悬浮部分(211)可耦接至在托盘（100)下方的转移基底（110)的第 二区域（112)的两个侧表面，且第二磁性悬浮部分（212)可设在托盘（100)与腔室之间以面 对第一磁性悬浮部分(211)并可耦接至腔室的内壁或底部表面。如图3中所说明，第一磁性 悬浮部分(211)可包含：固定至转移基底（110)的第二区域（112)的两个侧表面的第一固定 构件（211a)、设在第一固定构件（21 la)的侧表面的预定区域上的至少一个第一磁体 (211b)，以及设在第一固定构件（211a)的底部表面的预定区域上的至少一个第二磁体 (211c)。即，第一及第二磁体(211b、211c)中的每一个可经提供为单一磁体，或第一及第二 磁体(211 b、211 c)中的至少任一个可经提供为两个或大于两个磁体。举例而言，第一磁体 (211b)可经提供为单一磁体，且第二磁体(211c)可经提供为两个或大于两个磁体。第一固 定构件(211a)可以具有预定高度及宽度的大致六面体形状提供，且可沿转移基底（110)的 第二区域（112)具有与第二区域(112)的长度相同的长度并具有与第二区域(112)的凹陷深 度相同的宽度。因此，第一磁性悬浮部分(211)可与转移基底（110)共面。即，藉由第一固定 构件(211a)及位于第一固定构件之间的第二区域（112)界定的宽度可与转移基底（110)的 第一区域（111)的宽度相同或与托盘(100)的宽度相同。当然，藉由第二区域（112)及在第二 区域（112)的一侧及另一侧的第一磁性悬浮部分(211)界定的宽度可大于或小于转移基底 (110)的宽度或托盘(100)的宽度。又，第一及第二磁体(211b、211c)可经提供以嵌入于第一 固定构件（211a)中达预定深度。即，第一及第二磁体（211b、211c)可设在第一固定构件 (211a)中预定深度处，使得第一及第二磁体(211b、211c)的表面可与第一固定构件(211a) 的表面共面。第一固定构件(211a)可由诸如对由磁体产生的磁力不作出回应的金属、陶瓷、 塑胶或类似的材料形成，且可由（例如)钨形成。第二磁性悬浮部分(212)可经提供以与第一 磁性悬浮部分(211)隔开预定距离并面对第一磁性悬浮部分(211)。即，第二磁性悬浮部分 (212) 可设在腔室的内壁侧面上并与第一磁性悬浮部分(211)隔开，使得其内表面面对第一 磁性悬浮部分(211)。此第二磁性悬浮部分(212)可包含:与第一磁性悬浮部分(211)的第一 固定构件(211a)隔开预定距离并面对其的第二固定构件(212a)，以及分别面对第一磁性悬 浮部分(211)的第一磁体(211b)及第二磁体(211c)的第三磁体及第四磁体(212b、212c)。此 处，第三及第四磁体（212b、212c)中的每一个可经提供为单一磁体，或第三及第四磁体 (212b、212c)中的至少一个可经提供为对应于第一及第二磁体(211b、211c)的数目的两个 或大于两个磁体。举例而言，当提供一个第一磁体（21 lb)及两个或大于两个第二磁体 (211c)时，可提供一个第三磁体(212b)及两个或大于两个第四磁体(212c)。又，第二固定构 件(212a)可连接至腔室的内壁或底部表面并固定至其，并可经提供以使得一侧具有形 状且另一侧具有。? ?形状以便与具有矩形横截面的第一固定构件(211a)隔开预定距离。第 一磁体(211b)及第三磁体(212b)可具有彼此不同的极性且吸力可在其间起作用。然而，第 二磁体(211c)及第四磁体(212c)可具有彼此相同的极性，且斥力可在其间起作用。斥力在 第二与第四磁体(211c、212c)之间起作用，且因此托盘（100)可被悬浮。又，吸力在第一与第 三磁体(211b、212b)之间起作用，且因此可防止托盘（100)向上及向下移动。即，托盘（100) 可藉由第二与第四磁体(211c、212c)之间的斥力而被磁性地悬浮并向上移动，所述斥力可 藉由在第一与第三磁体(211b、212b)之间起作用的吸力抑制。类似于第一固定构件(211a)， 第二固定构件(212a)可由诸如对由磁体产生的磁力不作出回应的金属、陶瓷、塑胶或类似 的材料形成，且可由（例如）钨形成。第一磁性悬浮部分(211)可在托盘（100)的长度方向上 (即，在托盘（100)的转移方向上)设在转移基底（110)的整个区域上，且第二磁性悬浮部分 (212) 可设在托盘(100)移动穿过的整个区域上。即，由于托盘(100)通过所述多个腔室的内 部，因此第二磁性悬浮部分（212)可设在所述多个腔室的内壁的面对第一磁性悬浮部分 (211)的区域上。然而，第一及第二磁性悬浮部分(21U212)中的至少任一个可被提供多个， 以使得第一及第二磁性悬浮部分(211、212)中的至少任一个的该多个以预定间隔配置。举 例而言，第二磁性悬浮部分(212)可在长度方向上设在整个区域上，且可提供多个第一磁性 悬浮部分(211)以使得所述多个第一磁性悬浮部分(211)以预定间隔配置。又，第一磁性悬 浮部分(211)的第一及第二磁体(211b、211c)以及第二磁性悬浮部分(212)的第三及第四磁 体(212b、212c)可在长度方向上设在整个区域上，且可被提供多个而按预定间隔隔开。举例 而言，第一磁体(211b)及第二磁体(211c)可设在整个区域之上，且可以预定间隔提供第三 及第四磁体(21213、212〇)。又，用于维持第一与第二磁性悬浮部分(211、212)之间的间隙的 间隙维持构件(213)可设在第一磁性悬浮部分(211)与第二磁性悬浮部分(212)之间。即，由 于吸力在彼此面对的第一与第三磁体(211b、212b)之间起作用，因此第一与第二磁性悬浮 部分(21U212)之间的间隙减少或第一及第三磁体(211b、212b)可彼此附着。可藉由提供间 隙维持构件(213)而维持第一与第二磁性悬浮部分(211、212)之间的间隙。此间隙维持构件 (213) 可设在第一及第三磁体(211b、212b)下方的区域上。即，间隙维持构件(213)可设在第 一磁性悬浮部分(211)的外表面与第二磁性悬浮部分(212)的内表面之间。又，间隙维持构 件(213)可设在第一与第二磁性悬浮部分(21U212)之间在长度方向上的整个区域上，且可 以预定间隔提供多个间隙维持构件(213)。
[0046]磁性转移部分(220)可包含:经提供以与转移基底（110)的底面隔开预定距离的磁 性旋转部分(221)，及设在转移基底（110)下方以与磁性旋转部分(221)隔开预定距离的磁 性转移部分(222)。磁性旋转部分(221)可经提供以与转移基底（110)的底面隔开预定距离。 此处，磁性旋转部分（221)可具有与托盘（100)宽度相同的宽度，且可具有大于或小于托盘 (100)宽度的宽度。如图3及图4中所说明，此磁性旋转部分(221)可包含旋转轴(221 a)及形 成于旋转轴(221a)的表面上的多个第五磁体(221b)。旋转轴(221a)可具有大致圆形条的形 状并藉由旋转马达(未图示)在一个或另一个方向上旋转。又，所述多个第五磁体(221b)可 以按预定角度环绕轴的形状设在旋转轴（221a)的表面上，且举例而言，可具有螺纹形状。 即，可在旋转轴(221a)上提供多个所述第五磁体(221b)(如图4中所说明）以按角度(例如， 45°)环绕轴。此处，所述多个第五磁体（221b)可经提供以使得S极及N极在按角度（例如， 45°)环绕旋转轴的同时被交替地提供。磁性转移部分(222)可设在转移基底(110)下方。即， 磁性转移部分(222)可设在磁性悬浮部分(210)之间的转移基底（110)的第二区域（112)下 方。在此磁性转移部分(222)中，具有彼此不同极性的磁体可交替地安置。即，如图4中所说 明，磁性转移部分(222)可包含固定至转移基底（110)的第二区域（112)的底面的第三固定 构件(222a)，及设在第三固定构件(222a)的一个表面上的多个第六磁体(222b)，其中极性 彼此不同，即，S极及N极可被交替地提供至所述多个第六磁体(222b)。此处，可提供磁性转 移部分（222)的多个第六磁体（222b)以具有与磁性旋转部分（221)的所述多个第五磁体 (221b)的角度相同的角度(例如，45° )。因此，由于归因于磁性旋转部分(221)的旋转的极性 及磁性转移部分(222)的极性彼此不同或相同，且吸力或斥力藉此起作用，因此磁性转移部 分(222)根据磁性旋转部分(221)的旋转在一个方向上移动。即，磁性旋转部分(221)的旋转 转换为磁性转移部分(222)的线性运动以移动磁性悬浮的托盘(100)。
[0047] 导引单元（300)可包含耦接至托盘（100)的上部部分的第一导引磁体(310)，及设 在腔室的上壁上以与第一导引磁体(310)隔开预定距离的第二导引磁体(320)。此处，第一 及第二导引磁体(310、320)可具有相同的极性以使得斥力在其间起作用，或可具有彼此不 同的极性以使得吸力在其间起作用。又，可以各种形状提供第一及第二导引磁体（310、 320)。举例而言，可以直线形状彼此面对地提供第一及第二导引磁体(310、320)。又，第一导 引磁体(310)可以圆形条形状提供，且第二导引磁体(320)可具有例如以"η"形状弯曲的横 截面以自导引磁体(310)上方环绕第一导引磁体(310)。即，第二导引磁体(320)可经提供以 环绕第一导引磁体(310)同时与第一导引磁体(310)隔开预定距离。因此，托盘（100)的上部 末端经导引以使得托盘(100)在被转移的同时不落下，这是因为第二导引磁体(320)在第一 导引磁体(310)两侧对第一导引磁体(310)施加推力或拉力。
[0048] 其中组合铁芯及线圈的电磁体、永久磁体或电磁体与永久磁体的组合可用作例示 性实施例的磁体。
[0049] 如上文所描述，根据例示性实施例的基板转移装置具备安置在托盘（100)下方并 磁性地悬浮及转移托盘（100)的磁体转移单元(200)，及安置在托盘（100)之上并导引托盘 (100)的导引单元(300)。又，磁体转移单元(200)包含磁性地使托盘（100)悬浮的磁性悬浮 部分(210 )，及归因于磁力将旋转转换成线性运动以转移磁性悬浮的托盘(100)的磁性转移 部分(220)。因此，根据例示性实施例的基板转移装置藉由磁性悬浮部分(210)磁性地使托 盘（100)悬浮，且接着磁性旋转部分(220)在一个方向上旋转以在一个方向上转移磁性悬浮 的托盘(100)。在此例示性实施例中，由于并未在托盘(100)与磁性转移单元(200)之间产生 摩擦，因此不产生颗粒。因此，并未产生归因于颗粒的产品缺陷，且不发生诸如真空栗的零 件的故障。
[0050] 根据例示性实施例的基板转移装置可经由在托盘（100)下方磁性地使托盘（100) 悬浮及藉由使用磁力转移托盘（100)的各种方法来实施。即，在托盘（100)下方的结构可以 不同方式受到修改。此另一例示性实例是在图5及图6中说明。图5是说明根据第二例示性实 施例的基板转移装置的磁性转移单元的侧视图，且将藉由使用此图5在下文描述第二例示 性实施例。
[0051] 参看图5,根据第二例示性实施例的基板转移装置可包含:托盘（100)，其转移安装 在其上的基板;磁性转移单元（200)，其安置在托盘（100)下方以藉由磁性悬浮转移托盘 (100);以及导引单元(300)，其安置在托盘（100)之上以导引托盘（100)的转移。此处，将不 描述或简单地描述与第一例示性实施例相同的组态。
[0052] 转移基底（110)设在托盘(100)下方，且转移基底（110)可包含具有与托盘(100)宽 度相同的宽度的第一区域（111)、安置在第一区域（111)下方并具有小于第一区域（111)宽 度的第二区域（112)，以及设在第二区域（112)下方以环绕磁性旋转部分(222)的第三区域 (113)。第三区域(113)可包含自第二区域（112)向下延伸的延伸部分、水平地设在延伸部分 下方的水平部分（113a)，以及自水平部分（113a)的两侧向下延伸的垂直部分（113b、113c)。 此处，水平部分（113a)经提供以具有大于磁性旋转部分（221)的宽度的宽度且垂直部分 (113b、113c)经提供以具有大于磁性旋转部分(221)的高度的高度。因此，水平部分（113a) 以及在水平部分两侧的垂直部分（113b、113c)经提供以环绕磁性旋转部分(221)的上部部 分及侧部分。
[0053]此磁性转移单元（200)可包含磁性地使托盘（100)悬浮的磁性悬浮部分(210 )，及 藉由允许吸力或斥力在磁性转移单元(200)与磁性悬浮部分(210)之间起作用而转移藉由 磁性悬浮部分(210)磁性悬浮的托盘（100)的磁性转移部分(220)。磁性悬浮部分(210)可包 含设在转移基底（110)的第二区域（112)上的第一磁性悬浮部分(211)、经提供以与第一磁 性悬浮部分（211)隔开的第二磁性悬浮部分（212)、用于维持第一与第二磁性悬浮部分 (211、212)之间的间隙的间隙维持构件(213)，以及支撑第二磁性悬浮部分(212)的支撑构 件(214)。第一磁性悬浮部分(211)可包含：固定至转移基底（110)的第二区域（112)的侧表 面及底部表面的第一固定构件(211a)、设在第一固定构件(211a)的侧表面的预定区域上的 至少一个第一磁体(211b)，以及设在第一固定构件(211a)的底部表面的预定区域上的至少 一个第二磁体(211c)。第一固定构件(211a)可经提供以具有具有形状的一个侧面及具 有?形状的另一侧面。此处，第一固定构件(211a)可经提供以自转移基底（110)的第一区 域（111)突出。即，藉由第一固定构件(211a)及在第一固定构件之间的第二区域（112)所界 定的宽度可大于转移基底(110)的第一区域(111)的宽度或托盘(100)的宽度。又，第一及第 二磁体(211b、211c)中的每一个可经提供为单一磁体，或第一及第二磁体(21 lb、211 c)中的 至少任一个可以两个或大于两个磁体提供。举例而言，第一磁体(21 lb)可经提供为单一磁 体，且第二磁体(211 c)可经提供为两个或大于两个磁体。第二磁性悬浮部分(212)可经提供 以与第一磁性悬浮部分(211)隔开预定距离以面对第一磁性悬浮部分(211)。此第二磁性悬 浮部分(212)可包含与第一磁性悬浮部分(211)的第一固定构件(211a)隔开预定距离并面 向其的第二固定构件(212a)，以及分别面对第一磁性悬浮部分(211)的第一磁体(211b)及 第二磁体（211c)的第三及第四磁体(21213、212(：)。此处，第三及第四磁体(21213、212(3)中的 每一个可以单一磁体提供，或第三及第四磁体(212b、212c)中的至少一个可以对应于第一 及第二磁体(211b、211c)的数目的两个或大于两个磁体提供。举例而言，当提供一个第一磁 体(211 b)以及两个或大于两个第二磁体(211 c)时，可提供一个第三磁体(212b)及两个或大 于两个第四磁体(212c)。又，第二固定构件(212a)可经提供以具有具有"I·"形状的一个侧面 及具有形状的另一侧面以便与第一固定构件(211a)隔开预定距离。支撑构件(214)可设 在第二磁性悬浮部分(212)下方以支撑第二磁性悬浮部分(212)。即，支撑构件(214)可设在 第二磁性悬浮部分(212)的水平部分与腔室底部之间以支撑第二磁性悬浮部分(212)的水 平部分。支撑构件(214)支撑第二磁性悬浮部分(212)的水平部分，且因此第二磁性悬浮部 分(212)可被更稳定地支撑。即，第二磁性悬浮部分(212)的垂直部分是藉由腔室的内壁固 定且第二磁性悬浮部分(212)的水平部分是藉由支撑构件(214)支撑，且因此第二磁性悬浮 部分(212)可被更稳定地实施。转移基底（110)的一部分及磁性转移部分(220)可设在支撑 构件(214)的内部。即，转移基底（110)的第三区域(113)可设在支撑构件(214)的内部，且磁 性转移部分(220)可设在第三区域(113)的内部。
[0054] 磁性转移部分(220)可包含磁性旋转部分(221)及与磁性旋转部分(221)隔开预定 距离的磁性转移部分（222)。磁性旋转部分（221)可设在水平部分（113a)以及垂直部分 (113b、113c)的内部以与其隔开预定距离。磁性转移部分(222)可设在水平部分（113a)以及 垂直部分（113b、113c)的至少一个区域上。类似于例示性实施例，磁性旋转部分(221)包含 旋转轴（221a)，以及经提供以按预定角度环绕旋转轴（221a)的表面的多个第五磁体 (221b)。磁性转移部分(222)可经提供至垂直部分（113b、113c)。即，磁性转移部分(222)可 经提供至磁性旋转部分（221)的两侧。当然，磁性转移部分（222)可经提供至水平部分 (113a)，且经提供至水平部分（113a)以及垂直部分（113b、113c)两个。此磁性转移部分 (222)可具备预定固定构件，且S极及N极可交替地设在固定构件上。此处，磁性转移部分 (222)可经提供以具有与磁性旋转部分(221)的所述多个第五磁体(221b)的角度相同的角 度(例如45° )。因此，由于归因于磁性旋转部分(221)的旋转的极性及磁性转移部分(222)的 极性彼此相同，且吸力藉此起作用，因此磁性转移部分(222)根据磁性旋转部分(221)的旋 转在一个方向上移动。即，磁性旋转部分(221)的旋转转换为磁性转移部分(222)的线性运 动以移动磁性悬浮的托盘(100)。
[0055]图6是说明根据第三例示性实施例的基板转移装置的磁性转移单元的侧视图。 [0056]参看图6,根据第三例示性实施例的基板转移装置可包含:托盘（100)，其转移安装 在其上的基板;磁性转移单元（200)，其安置在托盘（100)下方以藉由磁性悬浮转移托盘 (100);以及导引单元(300)，其安置在托盘（100)之上以导引托盘（100)的转移。此处，在第 三例示性实施例中，磁性转移单元(200)的磁性悬浮部分(210)的结构不同于使用图5描述 的第二例示性实施例的结构，且此将主要利用另一例示性实施例而描述如下。
[0057]磁性转移单元(200)的磁性悬浮部分(210)可包含:第一磁性悬浮部分(211 )，其设 在转移基底（110)的第二区域（112)上;第二磁性悬浮部分(212)，其经提供以与第一磁性悬 浮部分(211)隔开;间隙维持构件(213)，其用于维持第一与第二磁性悬浮部分(21U212)之 间的间隙；以及支撑构件(214)，其支撑第二磁性悬浮部分(212)。第一磁性悬浮部分(211) 可包含:第一固定构件(211a)，其固定至转移基底（110)的第二区域（112)的侧表面及底部 表面，并具有具有" 形状的一个侧面及具有。d，，_形状的另一侧面；至少一个第一磁体 (211b)，其设在第一固定构件（211a)的上表面的预定区域上；以及至少一个第二磁体 (211c)，其设在第一固定构件(211a)的底部表面的预定区域上。即，尽管第一磁体(211b)在 第一及第二例示性实施例中设在第一固定构件(21 la)的侧表面上，但在第三实施例中第一 磁体(211b)可设在第一固定构件（211a)的上表面上。此处，第一磁体(211b)可设在第一固 定构件(211a)的上表面上同时与转移基底（110)的第一区域（111)的侧表面隔开。又，第二 磁性悬浮部分(212)可经提供以与第一磁性悬浮部分(211)隔开预定距离以面对第一磁性 悬浮部分(211)。此第二磁性悬浮部分(212)可包含与第一磁性悬浮部分(211)的第一固定 构件(211a)隔开预定距离并面对其的第二固定构件(212a)，以及分别面对第一磁性悬浮部 分(211)的第一磁体(211b)及第二磁体(211c)的第三及第四磁体(212b、212c)。此处，第二 固定构件(212a)可与第一固定构件(211a)隔开预定距离并面对其，且可经提供以具有具有 "Π "形状的一个侧面及具有"二"形状的另一侧面以便面对第一固定构件(211a)的上表面。 第二固定构件(212a)可经提供以具有短上部侧面及长下部侧面，并在其整个区域之内与第 一固定构件（211a)隔开相同距离。此处，第一磁体(211b)及第三磁体(212b)彼此可具有不 同极性，且吸力可藉此起作用。第二磁体(211c)及第四磁体(212c)彼此可具有相同极性，且 斥力可藉此起作用。又，在其之间吸力起作用的磁体可进一步设在第一固定构件(211a)的 侧表面及第二固定构件(212a)的侧表面上。
[0058] 图7是说明根据例示性实施例的导引单元(300)的侧视图。
[0059] 参看图7,根据例示性实施例的导引单元(300)可包含:第一板(311)，其耦接至托 盘（100)的上部;第一导引磁体(310)，其设在第一板(311)上;第二板(321)，其固定至腔室 的上壁；第二导引磁体（320)，其与第一导引磁体（310)隔开预定距离并设在第二板（321) 上；侧板（330)，其自第二板(321)的侧表面向下延伸；第三导引磁体(340)，其设在第一板 (311)的侧表面上;第四导引磁体(350)，其与第三导引磁体(340)隔开预定距离并面对第三 导引磁体(340)且设在侧板(330)上；以及第二间隙维持构件(360)，其设在侧板(330)的预 定区域上以维持侧板(330)与导引磁体(310、320、340、350)之间的间隙。此处，第三及第四 导引磁体（340、350)可设在第二导引磁体（320)之上的第二板（321)与面对第二板的侧板 (330)之间，且可设在第一板(311)与面对第一板的侧板(330)之间及第二板(321)与面对第 二板的侧板(330)之间的两个区域上。又，第一及第二导引磁体(310、320)可具有相同极性 以使得斥力在其间起作用，或可具有彼此不同的极性以使得吸力在其间起作用。又，第三及 第四导引磁体(340、350)可具有相同极性以使得斥力在其间起作用。因此，托盘（100)的上 部末端部分可藉由第一与第二导引磁体（310、320)之间的吸力及第三与第四导引磁体 (340、350)之间的斥力而转移同时被导引而不落下。即，由于斥力是由第三及第四导引磁体 (340、350)自侧表面施加，因此与使用第一及第二导引磁体（310、320)的状况相比，托盘 (100)的垂直姿势转移可更容易执行。又，由于进一步提供第二间隙维持构件(360)，因此托 盘(100)的摇动宽度可被均匀地维持，且因此托盘(100)的垂直姿势转移可更容易执行。
[0060] 导引托盘(100)的转移的转移导引件可进一步设在托盘（100)下方。转移导引件可 经提供以与托盘（100)隔开预定距离，其中托盘（100)安置在其间。转移导引件可设在托盘 (100)与腔室的内壁之间。即，两个转移导引件可经提供以在腔室的侧表面与托盘（100)之 间与托盘（100)隔开预定距离。举例而言，在图3、图5,以及图6中，转移导引件可设在磁性悬 浮部分(210)的外部。即，转移导引件可设在磁性悬浮部分(210)的第二磁性悬浮部分(212) 与腔室的内壁之间。当转移导引件设在第二磁性悬浮部分(212)与腔室的内壁之间时，可自 腔室的底部表面固定第二磁性悬浮部分(212)。将在下文使用图8及图9描述具备此转移导 引件的基板转移装置。
[0061 ]图8是说明根据第四例示性实施例的基板转移装置的磁性转移单元的侧视图。
[0062] 参看图8,根据第四例示性实施例的基板转移装置可包含:托盘（100)，其转移安装 在其上的基板;磁性转移单元（200)，其安置在托盘（100)下方以藉由磁性悬浮转移托盘 (100);以及导引单元(300)，其用于导引托盘（100)。导引单元(300)可设在托盘（100)之上 及下方。图7中描述及说明的组态可设在托盘（100)之上，且用于导引托盘（100)的转移的转 移导引件(370)可设在托盘(100)下方。此处，在第四例示性实施例中，与第一至第三例示性 实施例中的组态相同的组态将被简单描述或将不被描述。
[0063] 转移基底（110)设在托盘(100)下方，且转移基底（100)可包含:第一区域（111)，其 具有与托盘(1〇〇)宽度相同的宽度；以及延伸区域(114)，其设在第一区域(111)的侧表面上 并环绕磁性旋转部分(221)。即，延伸区域(114)可经提供以自第一区域(111)的侧表面向下 延伸。此处，延伸区域(114)可经提供以具有大于磁性旋转部分(221)的宽度的宽度，以便与 磁性旋转部分（221)隔开预定距离。可以具有预定宽度及长度的板形状提供此延伸区域 (114)。又，间隙维持构件(213)可设在延伸区域（114)内部的预定区域上。即，在使用图6描 述的第三例示性实施例中，间隙维持构件(213)设在第一与第二磁性悬浮部分(211、212)之 间以维持在第一磁性悬浮部分(211)与第二磁性悬浮部分(212)之间的间隙。在第四例示性 实施例中，间隙维持构件(213)可设在延伸区域（114)内部在延伸区域（114)与磁性转移部 分(220)之间。当然，间隙维持构件(213)可设在磁性转移部分(220)的一个区域上。即，间隙 维持构件(213)可设在延伸区域（114)与磁性转移部分(220)之间，或经提供以固定至磁性 转移部分(220)的预定区域。至少一个第七磁体（115)可设在延伸区域（114)的至少一个区 域上，即设在延伸区域的外部区域上。
[0064] 磁性转移单元（200)可包含磁性悬浮托盘（100)的磁性悬浮部分(210 )，及藉由允 许吸力或斥力在磁性转移单元(200)与磁性悬浮部分(210)之间起作用而转移由磁性悬浮 部分(210)磁性悬浮的托盘（100)的磁性转移部分(220)。磁性悬浮部分(210)可包含经提供 以固定至转移基底（110)的第一区域（111)的第一磁性悬浮部分(211)，以及经提供以与第 一磁性悬浮部分（211)隔开的第二磁性悬浮部分(212)。第一磁性悬浮部分(211)可包含固 定至转移基底（110)的第一区域(111)的下表面的第一固定构件(211a)，以及设在第一固定 构件(211a)的下表面的预定区域上的至少一个第一磁体(211b)。其上部部分固定至第一区 域(111)的下部部分的第一固定构件(211a)以及其底部表面可为水平的。此处，可提供大于 第一区域（111)的宽度的第一固定构件(211a)的宽度。由于第一固定构件(211a)经提供以 具有大于第一区域（111)的宽度的宽度，因此接触第一固定构件(211a)的侧表面的延伸区 域（114)可经提供以具有大于第一区域111宽度的宽度。又，至少一个第一磁体211b可设在 第一固定构件(211a)下方，例如可提供三个磁体同时维持其间的相同间隔。第二磁性悬浮 部分（212)可经提供以与第一磁性悬浮部分(211)隔开预定距离以面对第一磁性悬浮部分 (211)。此第二磁性悬浮部分（212)可包含与第一磁性悬浮部分（211)的第一固定构件 (211a)隔开预定距离并面对其的第二固定构件(212a)，以及面对第一磁性悬浮部分(211) 的至少一个第一磁体(21 lb)的至少一个第三磁体(212b)。又，第二固定构件(212a)可经提 供以具有与第一固定构件(211a)的形状相同的形状，以便与第一固定构件(211a)隔开预定 距离。举例而言，第一及第二固定构件(211a、212a)可具有矩形横截面形状。此处，第二磁性 悬浮部分(212)的第二固定构件(212a)可固定至磁性转移部分(220)的一个区域。
[0065] 磁性转移部分（220)可包含磁性旋转部分(221)、与磁性旋转部分(221)隔开预定 距离的磁性转移部分(222)，以及其中容纳磁性旋转部分(221)的容纳构件(223)。容纳构件 (223)在内部容纳磁性旋转部分(221)，且其下部部分可固定至腔室底部。此处，容纳构件 (223)可经提供以具有中空形状以使得磁性旋转部分(221)可以可旋转方式容纳于其中。 又，可提供容纳构件(223)以使得在其侧表面曝露磁性转移部分(222)的至少一部分。又，第 二磁性悬浮部分(212)可设在容纳构件(223)的上表面上。即，第二磁性悬浮部分(212)的第 二固定构件(212a)可固定至容纳构件(223)的上部部分。磁性转移部分(222)可包含至少一 个磁体，且可设在面对磁性旋转部分(221)的延伸区域（114)上。即，延伸区域（114)可设在 容纳构件(223)外部以与容纳构件(223)隔开预定距离，且包含至少一个磁体的磁性转移部 分（222)可设在延伸区域（114)内部以便面对容纳于容纳构件（223)中的磁性旋转部分 (221) 〇
[0066] 转移导引件(370)可设在磁性转移单元(200)与腔室之间。即，导引单元(300)可在 托盘（100)的上及下方导引托盘（100)的转移。转移导引件(370)可设在托盘（100)下方以自 磁性转移单元(200)的侧表面导引磁性转移单元(200)的转移。此转移导引件(370)可设在 磁性转移单元(200)与腔室的内表面之间，且可具有预定宽度及高度。又，至少一个磁体设 在转移导引件（370)的内部侧面上的预定区域上。即，转移导引件(370)可包含在高度方向 上设在磁性转移单元(200)与腔室之间的垂直板(371)，以及设在垂直板(371)的预定区域 上的至少一个第八磁体(372)。垂直板(371)可经提供以具有例如第一磁性悬浮部分（211) 的高度。即，垂直板(371)可经提供以具有直至转移基底（110)的第一区域(111)与第一磁性 悬浮部分（211)的第一固定构件（211a)之间的边界表面的高度。又，至少一个第八磁体 (372)经提供至垂直板(371)。第八磁体(372)可经提供以面对设在延伸区域（114)上的第七 磁体（115)。此处，延伸区域（114)的第七磁体（115)及垂直板(371)的第八磁体(372)可具有 彼此不同的极性或相同的极性，且吸力或斥力可藉此起作用。在沉积腔室内部的转移导引 件(370)可为固定的，且在横移腔室内部的转移导引件（370)可在接近托盘（100)或远离托 盘(100)的方向上移动。此处，在横移腔室内部的转移导引件可使用磁性悬浮而无接触地移 动。即，与使用图4描述的磁性转移部分中的原理相同的原理可应用于横移腔室的转移导引 件(370)。举例而言，具备旋转轴(未图示)及设在旋转轴的表面上的多个磁体(未图示)的磁 性旋转部分(未图示)可设在垂直板(371)下方以与垂直板(371)隔开，且具有彼此不同极性 的磁体可以预定间隔设在垂直板(371)的下表面上以与磁性旋转部分隔开。因此，归因于在 垂直板(371)下方的磁性旋转部分的旋转的极性与在磁性旋转部分之上的磁性转移部分的 极性可彼此不同或彼此相同。由于吸力或斥力藉此起作用，因此磁性转移部分根据磁性旋 转部分的旋转在一个或另一个方向上移动。即，磁性旋转部分的旋转转换为磁性转移部分 的线性运动，且因此移动磁性悬浮的垂直板(371)。
[0067] 图9是说明根据第五例示性实施例的基板转移装置的磁性转移单元的侧视图。
[0068] 参看图9,根据第五例示性实施例的基板转移装置可包含:托盘（100)，其转移安装 在其上的基板;磁性转移单元（200)，其安置在托盘（100)下方以藉由磁性悬浮转移托盘 (100);以及导引单元(300)，其用于导引托盘（100)。导引单元(300)可设在托盘（100)的上 及下方。图7中描述及说明的组态可设在托盘（100)之上，且导引托盘（100)的转移的转移导 引件(370)可设在托盘（100)下方。此处，在第五例示性实施例中，间隙维持构件(213)的安 置位置不同于使用图8描述的第四例示性实施例的安置位置。即，除间隙维持构件(213)设 在转移导引件(370)与延伸区域(114)之间的差异以外，根据第五例示性实施例的基板转移 装置具有与根据第四例示性实施例的基板转移装置完全相同的组态。间隙维持构件(213) 可设在转移导引件（370)与延伸区域（114)之间的延伸区域（114)上或设在转移导引件 (370)的预定区域上。举例而言，间隙维持构件（213)可设在延伸区域（114)的第七磁体 (115)下方。因此，间隙维持构件(213)可设在磁性转移单元(200)与转移导引件(370)之间， 且因此即使当磁性转移单元(200)摇动时仍可在转移导引件(370)内部转移磁性转移单元 (200)。当然，间隙维持构件(213)可不仅设在转移导引件(370)与延伸区域(114)之间，而且 可设在延伸区域（114)与磁性转移部分(220)之间。即，至少两个或大于两个间隙维持构件 (213)可设在至少两个或大于两个区域上。
[0069] 转移导引件(370)的至少一部分可在一个方向上或在与所述一个方向相反的另一 方向上移动。举例而言，在沉积腔室内部的转移导引件为固定的，且在横移腔室内部的转移 导引件可为可移动的。即，当托盘（100)自沉积腔室转移时，设在横移腔室内部的转移导引 件藉由维持距托盘（100)的第一间隙而导引托盘（100)的转移，且当托盘（100)的转移完成 且托盘朝向装载腔室返回时，设在横移腔室内部的转移导引件朝向腔室的内壁移动并维持 距托盘（100)的大于第一间隙的第二间隙。转移导引件在横移腔室内部移动，且因此当托盘 (100)的位置移动时托盘100的移动裕度可得以增加。即，托盘（100)可脱离磁性力的作用， 且因此有可能实现容易的横移（即，改道(lane change))。将在下文使用图10及图11描述此 转移导引件(370)在其中移动的基板转移装置。
[0070] 参看图10及图11，根据第六例示性实施例的基板转移装置可包含:托盘（100)，其 转移安装在其上的基板;磁性转移单元(200)，其安置在托盘（100)下方以藉由磁性悬浮转 移托盘（100);以及导引单元(300)，其包含安置在托盘（100)下方以导引托盘（100)的转移 的转移导引件（370)。转移导引件(370)可在彼此相反的一个方向及另一方向上移动，且可 在接近托盘（100)的方向上及在远离托盘（100)的方向上移动。此可移动转移导引件(370) 可至少设在横移腔室内部。
[0071] 转移导引件（370)可包含垂直板(371a)及水平板(371b)，且垂直板(371a)可设在 水平板（371b)之上。即，可自水平板（371b)的预定区域在向上方向上垂直地提供垂直板 (371a)。又，在垂直板(371a)中，可提供至少一个第八磁体(372)以便面对设在托盘（100)的 延伸区域（114)上的第七磁体（115)。水平板(371b)可设在垂直板(371a)下方并可被水平地 提供。此处，可移动部分(395)可设在水平板(371b)下方。可移动部分(395)可经提供以使得 其下部区域的至少一部分围绕导轨(390)，且可沿着导轨(390)在彼此相反的一个及另一个 方向上移动。当可移动部分（395)移动时，位于其上方的转移导引件(370)移动。支撑部分 (380)设在导轨（390)下方。支撑部分（380)支撑导轨（390)及在导轨之上的转移导引件 (370)。又，用于驱动可移动部分(395)的驱动单元(未图示）可设在支撑部分(380)内部。驱 动单元包含汽缸、马达或类似的，且在如图10中所说明接近托盘(100)的一个方向上及在如 图11中所说明远离托盘（100)的另一个方向上移动可移动部分(395)。此处，当自沉积腔室 转移托盘(100)时，转移导引件(371)位于接近托盘（100)的第一位置处。在执行改道(即，横 移以使托盘（100)朝向装载腔室返回）的情况下，可移动部分(395)由驱动单元驱动以使得 转移导引件(371)在远离托盘（100)的方向上移动以位于第二位置处。在转移导引件(371) 移动之后，托盘（100)被提升，且接着朝向装载腔室返回。接着，转移导引件(371)再次被移 动至第一位置。
[0072] 如上文所描述，已关于上述实施例特定地描述本发明的技术思想，但应注意前述 实施例仅经提供用于说明而不限制本发明。可提供各种实施例以允许本领域技术人员理解 本发明的范畴，但本发明不限于此。
【主权项】
1. 一种基板转移装置，包括： 托盘，基板安装在所述托盘上； 磁性转移单元，其安置在所述托盘下方，并经组态以磁性地使所述托盘悬浮并藉由磁 力转移所述托盘；以及 导引单元，其经组态以导引所述托盘的所述转移而不接触所述托盘。2. 根据权利要求1所述的基板转移装置，其进一步包括转移基底，所述转移基底包含经 提供以接触所述托盘的下部侧面的接触区域，以及自所述接触区域的两侧向下延伸的延伸 区域。3. 根据权利要求2所述的基板转移装置，其中所述磁性转移单元包括： 磁性悬浮部分，其安置于所述转移基底的一个区域上以磁性地使所述托盘悬浮；以及 磁性转移部分，其安置在所述磁性悬浮部分下方以在一个方向上转移藉由磁力悬浮的 所述托盘。4. 根据权利要求3所述的基板转移装置，其中所述磁性悬浮部分包括： 第一磁性悬浮部分，其经组态以接触所述转移基底，并包括至少一个磁体；以及 第二磁性悬浮部分，其与所述第一磁性悬浮部分隔开，并包含将被施加来自所述第一 磁性悬浮部分的吸力及斥力中的至少任一个的至少一个磁体。5. 根据权利要求4所述的基板转移装置，其中所述磁性转移部分包括： 旋转轴； 磁性旋转部分，其包含经安置以环绕所述旋转轴的多个磁体；以及 磁性转移部分，其与所述磁性旋转部分隔开，并包含多个磁体。6. 根据权利要求5所述的基板转移装置，其进一步包括经组态以在内部容纳所述磁性 旋转部分的容纳部分，其中所述容纳部分的上部部分接触所述第二磁性悬浮部分。7. 根据权利要求6所述的基板转移装置，其中所述磁性转移部分的所述多个磁体设在 所述转移基底的所述延伸区域的至少一个区域上，所述一个区域面对所述磁性旋转部分。8. 根据权利要求7所述的基板转移装置，其中 所述磁性旋转部分的所述多个磁体经提供以使得具有彼此不同极性的所述磁体被交 替地安置以便以预定角度环绕所述旋转轴，且 所述磁性转移部分的所述多个磁体经提供以使得具有彼此不同极性的所述磁体被交 替地安置以便具有与所述磁性旋转部分的角度相同的角度。9. 根据权利要求2所述的基板转移装置，其中所述导引单元包括： 第一导引磁体，其耦接至所述托盘的上部部分；以及 第二导引磁体，其设在腔室的上壁上以与所述第一导引磁体隔开预定距离， 其中所述第一导引磁体及所述第二导引磁体被施加吸力或斥力中的至少任一个。10. 根据权利要求9所述的基板转移装置，其中所述导引单元进一步包括设在所述托盘 与所述腔室的内壁之间的转移导引件。11. 根据权利要求10所述的基板转移装置，其中所述转移导引件设在所述延伸区域与 所述腔室的所述内壁之间。12. 根据权利要求11所述的基板转移装置，其进一步包括设在所述磁性转移单元与所 述导引单元之间的至少一个区域上的间隙维持构件。13. 根据权利要求12所述的基板转移装置，其中所述间隙维持构件设在所述延伸区域 与所述磁性悬浮部分之间的区域或所述延伸区域与所述转移导引件之间的区域中的至少 一个上。14. 根据权利要求11所述的基板转移装置，其中所述转移导引件的至少一部分在接近 所述托盘的方向上及在远离所述托盘的方向上移动。15. 根据权利要求14所述的基板转移装置，其中 当所述托盘被转移时，设在横移腔室中的所述转移导引件位于邻近于所述托盘的第一 位置处，且 当所述托盘被返回时，所述转移导引件位于远离所述托盘的第二位置处。
【文档编号】H01L21/68GK105993068SQ201580003423
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2015年11月26日
【发明人】金正健, 金善吉, 金南训, 金锺大, 高元, 高元一, 苏秉镐, 孙承京, 李起泰, 李尚浩, 千敏镐, 韩应龙
【申请人】Ulvac韩国股份有限公司