专利名称：压电元件单元制造法、压电元件单元及采用其的液体喷头的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种适于使墨滴等液滴喷出的压电元件单元的制造方法、压电元件单元、以及采用该压电元件单元的液滴喷头，尤其涉及将压电元件组与向该压电元件供给驱动信号的布线部件焊锡结合。
背景技术：
在作为一种液体喷头的喷墨式记录头(以下仅称作记录头)中，例如具备具有压力室或储藏室等的流路单元；配置在该流路单元的背面侧，具有多个使压力室的容积改变的振子(元件)的压电元件单元；和在内部形成可收容压电元件单元的空收容部、且在前端与流路单元结合的外壳。
该压电元件单元，例如连接有形成在压电元件的表面的电极和膜状的挠性电缆(布线部件的一种)。并且，由于该挠性电缆与供给驱动脉冲的布线基板电结合，因此经由该挠性电缆将驱动脉冲提供给压电元件单元的电极(例如参照专利文献1)。
然而，近年来，在这种记录头中，随着材料成本的削减或部件的高密度化，存在使各构成部件变小的倾向。但是，由于如果使这些构成部件变小，则其电极或端子等也会变小，因此部件的结合面积变小，焊锡结合时的结合力降低。其结果为，尤其在压电元件的电极与挠性电缆的端子之间的焊锡结合形成的结合部中，在组装时存在因弯曲挠性电缆而产生的弯曲应力从而导致产生剥离的问题。并且，在这样的压电元件单元中，虽然将将比挠性电缆结合部的前端侧更后段侧的部分通过UV粘合剂等增强固定在固定压电元件的固定板上，但在该增强固定中，无法抑制粘合部的剥离。
专利文献1JP特开平11-277745号公报
发明内容
本发明是鉴于上述问题所形成的，其目的在于提供一种充分确保将压电元件组的电极与布线部件的端子结合的结合部的结合强度，可以防止在组装时布线部件的剥离的压电元件单元的制造方法、压电元件单元、以及采用该压电元件单元的液体喷头。
本发明是为了实现上述目的而提出的一种压电元件单元，具备排列多个压电元件的压电元件组、在从固定板前端面使上述压电元件组的前端突出的状态下将上述压电元件组的后部重合固定的固定板、和具有与上述压电元件的外部电极结合的布线端子的布线部件，在与上述压电元件组的将固定板固定的面相反侧的布线连接面，设定焊锡结合区域，并且在比上述焊锡结合区域更处于上述压电元件组的后端侧设置抗蚀剂涂布区域，在将布线部件的布线端子焊锡结合在上述焊锡结合区域时，使涂布在上述抗蚀剂涂布区域的阻焊剂熔融，以将布线部件结合在布线连接面。
采用上述结构，由于在比焊锡结合区域更处于压电元件组的后端侧设定抗蚀剂涂布区域，在将布线部件的布线端子焊锡结合在上述焊锡结合区域时，使涂布在上述抗蚀剂涂布区域的阻焊剂熔融，并将布线部件结合在布线连接面，因此可以在焊锡结合的同时使阻焊剂熔融来结合。并且，在采用该阻焊剂进行结合的情况下的加热温度、加热时间、负荷等结合条件即使与焊锡结合的结合条件相同也可。因此，不需要重新设定使阻焊剂熔融并结合的工序，从而不必增加作业工序数即可应对。
并且，由于布线部件和压电振子组不仅通过焊锡结合还可以通过阻焊剂结合，因此可以提高结合强度。因此，在组装喷头时，即使在布线部件的前端侧的焊锡结合部产生弯曲应力，也可以抑制产生剥离。
在上述构成中，优选抗蚀剂涂布区域，在上述压电元件组的元件排列方向为长条状，短边侧的宽度为从上述压电元件组的后端至上述外部电极的连接上述布线端子的一侧端部为止的距离的一半以下，该抗蚀剂涂布区域是位于上述压电元件组的后端侧的区域。
采用该结构，由于将抗蚀剂涂布区域设为在上述压电元件组的元件排列方向为长条状，短边侧的宽度为从上述压电元件组的后端至上述外部电极的连接上述布线端子的一侧的端部为止的距离的一半以下，且位于上述压电元件组的后端侧的区域，因此可以通过阻焊剂将易产生布线部件的剥离的压电元件组的后端侧牢固地结合。并且，不会使阻焊剂流出至压电元件之间，可以容易使阻焊剂的结合面积变大。通过以上便可以进一步提高布线部件与压电元件组之间的焊锡结合部的结合强度。
在上述结构中，优选在抗蚀剂涂布区域的上述压电元件组的元件排列方向的至少一方的端部侧，形成比上述抗蚀剂涂布区域更向上述外部电极的连接上述布线端子一侧端部突出并扩大的抗蚀剂涂布过剩区域。
采用该结构，由于在抗蚀剂涂布区域的上述压电元件组的元件排列方向的至少一方的端部侧，形成比上述抗蚀剂涂布区域更向上述外部电极的连接上述布线端子一侧的端部突出并扩大的抗蚀剂涂布过剩区域，因此可以进一步提高在压电元件组的元件排列方向的端部侧、即压电元件组的后端侧角落部附近的焊锡结合部的结合强度。因此，可以进一步抑制易产生剥离的角落部附近的焊锡结合部产生剥离。
本发明的液体喷头，具备流路单元，其形成从公共液体室经过压力室至喷嘴开口的连通着的液体流路；和上述各构成中的压电元件单元，其特征在于，通过压电元件的变形使压力室内的液体产生压力变动而从喷嘴开口喷出液滴。
并且，本发明是一种压电元件单元的制造方法，该压电元件单元具备压电元件组，排列有多个压电元件；固定板，在使上述压电元件组的前端从固定板前端面突出的状态下将上述压电元件组的后部重合固定；和布线部件，具有与上述压电元件的外部电极结合的布线端子，在与上述压电元件组的将固定板固定的面相反侧的布线连接面设定焊锡结合区域，并且在比该焊锡结合区域更处于压电元件组的后端侧设置抗蚀剂涂布区域，在将布线部件的布线端子焊锡结合在上述焊锡结合区域时，使涂布在上述抗蚀剂涂布区域的阻焊剂熔融，而将布线部件与布线连接面结合。
采用该制造方法，在比焊锡结合区域更靠近压电元件组的后端侧设定抗蚀剂涂布区域，在将布线部件的布线端子焊锡结合在上述焊锡结合区域时，由于使涂布在上述抗蚀剂涂布区域的阻焊剂熔融，而将布线部件结合在布线连接面，因此可以在焊锡结合的同时使阻焊剂熔融、并结合。并且，在采用阻焊剂结合的情况下的加热温度、加热时间、负荷等结合条件与焊锡结合的结合条件相同也可。因此，不需要重新设定使阻焊剂熔融并结合的工序，因而不增加作业工序也可应对。
另外，由于布线部件和压电振子组不仅可以焊锡结合还可以通过阻焊剂结合，因此可以提高结合强度。因此，在组装喷头时，即使布线部件的前端侧的焊锡结合部产生弯曲应力，也可以抑制产生剥离。通过以上，便可以抑制成本增加，同时提高成品率。
图1是将压电元件单元以及记录头的主要部件放大显示的剖面图。
图2是将压电元件单元的主要部件放大显示的剖面图。
图3是挠性电缆结合前的压电元件单元的平面图。
图4是图3的区域A的放大图。
图5是图3的区域B的放大图。
图6是图3的区域B的放大图。
其中1-记录头，2-外壳，3-流路单元，4-压电振子单元，5-空收容部，7-流路形成板，8-喷嘴板，9-弹性板，10-喷嘴开口，11-储藏室，12-压力室，13-油墨供给口，14-弹性体膜，15-不锈钢板，16-岛部，17-弹性部，21-压电振子组，21a-自由端部，21b-后部，22-固定板，22a-固定板前端面，24-挠性电缆，24a-个别布线端子，，24b-公共布线端子，28-虚设元件，29-驱动元件，29a-自由端部，29b-后部，31-压电体，32-公共内部电极，33-个别内部电极，36-个别外部电极，37-公共外部电极，38-布线连接面，39-布线基板，40-焊锡结合区域，42-抗蚀剂涂布区域，43-槽部，44-抗蚀剂涂布过剩区域具体实施方式
下面，根据图示的实施方式说明本发明。图1为将记录头的主要部件放大显示的剖面图，图2为将压电元件单元的主要部件放大显示的剖面图，图3为挠性电缆结合前的压电元件单元的平面图。
作为该液体喷头的记录头1，大致由外壳2、流路单元3、以及压电元件单元4等构成。另外，在以后的说明中，为了方便起见，将各图的上方称作前端侧(前方侧)，下侧称作后端侧(后方侧)。
外壳2，是一种前端和后端(底端)均打开的合成树脂制的块状部件，在内部设置有开口形状在喷嘴排列方向、即元件排列方向(后述)呈细长的长方形的空收容部5。在该外壳2的前端通过粘合剂结合有流路单元3，在空收容部5内，在使后述的压电元件组21的前端面部面对空收容部5的前端侧开口的状态下收容固定压电元件单元4。在该空收容部5的侧方，设置有在后端侧与墨盒连通的油墨供给管6。
流路单元3，大致由流路形成板7、喷嘴板8以及弹性板9构成。
喷嘴板8，是一种以与点形成密度对应的间距列状设立多个(例如180个)喷嘴开口10的薄板状部件，例如由不锈钢板构成。在层叠在该喷嘴板8上的流路形成板7上，形成流入通过油墨供给管6所供给的油墨的储藏室11、产生为了从喷嘴开口10喷出油墨所需要的油墨压力的压力室12、和将这些储藏室11和压力室12连通的油墨供给口13等。并且，在本实施方式中，通过对硅晶片进行蚀刻处理而形成这些各部件。另外，流路形成板7并非限于采用单一部件，也可以采用层叠多种部件而形成的部件，或者并非限于在一个部件中形成储藏室11、压力室12以及油墨供给口13等，也可以在分别不同的材料形成储藏室11、压力室12以及油墨供给口13等。并且，作为流路形成板7的材料并非限定于硅。
在本实施方式中，弹性板9，是一种将PPS(聚亚苯基亚硫酸盐)等高分子膜作为弹性体膜14层叠在不锈钢15上的双重构造。并且，不锈钢板15，通过蚀刻处理去除与储藏室11对应的部分等无用部分后形成岛部16，将该岛部16的周围仅作为弹性体膜14而构成弹性部17。该岛部16，是在背面侧设置了邻接后述的驱动元件29的邻接面的块状，与喷嘴开口10一样地以与点形成密度对应的间距设置有多个。并且，在弹性板9中形成用于使来自油墨供给管6的油墨流入储藏室11的开口(未图示)。该开口，可以相对压力室12的排列的一列设置一个，也可以设置多个。
并且，在将喷嘴板8配置在流路形成板7的一方的面侧的同时，将弹性板9配置在另一方的面侧，用喷嘴板8和弹性板9挟持流路形成板7，通过粘合等而一体化，从而形成流路单元3。另外，在该流路单元3中，上述弹性板9，构成将压力室12或储藏室11的顶面密封的密封材的一部分。
上述压电元件单元4，大致由压电元件组21、不锈钢板的固定板22和与后述的压电元件组21的各外部电极连接的挠性电缆24(本发明布线部件的一种)构成。如图2、3所示，该压电元件组21，使元件前端侧的自由端部21a从固定板22的前端面22a突出，在将后部(固定端部)21b重合固定在固定板22上的状态下呈梳状设置各压电元件，将位于压电元件设置方向(面方向)的两端部的元件作为虚设元件28，将配置在这些虚设元件28之间的多个元件作为驱动元件29。在此，驱动元件29是干预墨滴的喷吐的压电元件，例如划分为50μm～100μm左右的极细宽度的针状。并且，虚设元件28是不干预墨滴的喷吐的压电元件，用于规定压电元件单元4在外壳2内的位置而形成。另外，本实施方式的压电元件组21的驱动元件29，是一种在元件长度方向(与元件排列方向正交的方向)振动的、所谓纵向振动模式的压电元件。并且，有关该压电元件单元4、及其制造方法后面详细描述。
如图2所示，该驱动元件29，通过挟持压电体31而交替层叠公共内部电极32和个别内部电极33。在此，公共内部电极32是相对所有的驱动元件29都设定为相同的电位等级的电极，个别内部电极33是按每个驱动元件29设定电位等级的电极。并且，将该驱动元件29中的从元件前端至元件长度方向(与层叠方向正交的方向)的一半左右为止或者三分之二左右为止的部分作为自由端部29a，将剩余的部分作为后部(固定端部)29b来结合固定板22。关键在于，该驱动元件29是在所谓的悬臂状态下从固定板22的前端面22a使元件前端突出而被固定的。
在驱动元件29的自由端部29a形成公共内部电极32与个别内部电极33重合的活性区域(重叠部分)。一旦有时向这些内部电极32、33赋以电位差而放电，则活性区域的压电体31产生变形(工作)在元件长度方向产生位移而伸缩。并且，公共内部电极32的底端在驱动元件29的后端面部与公共外部电极37导通，个别内部电极33的前端在驱动元件29的前端面部与个别外部电极36导通。在此，个别外部电极36，是将挠性电缆24的前端侧的个别布线端子24a与各个别内部电极33导通的外部电极，公共外部电极37，是将比挠性电缆24的个别布线端子24a更后端侧的公共布线端子24b与公共内部电极32导通的外部电极。另外，虽然位于该驱动元件29的两侧的虚设元件28的基本结构为与上述驱动元件29的结构相同，但由于虚设元件28与个别布线端子24a不连接，因此不供给驱动脉冲，成为不伸缩的结构。
上述挠性电缆24的前端侧，配置在与上述压电元件组21的后部(固定端部)21b中的结合固定板22的固定板结合面相反侧的布线连接面(表面)38侧，将挠性电缆24的个别布线端子24a以及公共布线端子24b与个别外部电极36以及公共外部电极37电连接。并且，由于挠性电缆24的后端侧，与供给驱动脉冲的布线基板39电连接，因此经由挠性电缆24将驱动脉冲向各电极33，36供给。
如图1所示，压电元件单元4，在安装在记录头1中的状态下，从背面侧将驱动元件29的前端面部与弹性板9的岛部16邻接，通过粘合剂粘合该前端面部与岛部16。
在向驱动元件29供给驱动脉冲后，驱动元件29在元件长度方向伸缩，使构成弹性部17的弹性体膜14在前后方向变形。随着该弹性部17在前后方向的移动，压力室12膨胀或收缩使容积改变。在从喷嘴开口10喷吐墨滴的情况下，对使墨滴喷吐的驱动元件29选择性地施加驱动信号，例如使压力室12一旦膨胀后而使其收缩。这样，随着压力室12的膨胀，储藏室11内的油墨流入压力室12，随着压力室12的收缩，压力室12内的油墨压力提高，这样从喷嘴开口10挤出的油墨便作为墨滴喷出。
接着，针对本实施方式的压电元件单元4及其制造方法进行说明。
图4为图3的区域A的放大图，图5为图3的区域B的放大图，图6为图3的区域B的变形例的放大图。
本实施方式的压电元件单元4，如上述，大致由以下构成由不锈钢等金属制板材构成的固定板22、后部重合固定在该固定板22的压电元件组21、和与压电元件组21的布线连接面38电连接的挠性电缆24。挠性电缆24为，在由具有可塑性的电绝缘材料、例如聚酰亚氨膜构成的基底材料上，使焊锡润湿性高的锡等金属以金属薄片状粘着在各布线端子24a、24b上而构成。在该挠性电缆24的个别布线端子24a与公共布线端子24b的表面，连接有压电元件组21侧的个别外部电极36和公共外部电极37，为此预先实施电镀焊锡。个别布线端子24a与压电元件组21的驱动元件29中的每个个别外部电极36对应而被排列在挠性电缆24的前端侧。另一方面，在这些个别布线端子24a的排列方向的两侧，在比个别布线端子24a更处于挠性电缆24后端的一侧，与压电元件组21的每个公共外部电极37对应地设置用于与压电元件组21的公共外部电极37连接并调整为接地电位的公共布线端子24b。
如图2所示，在上述压电元件组21中，在除去侧面以外的布线连接面38、前端面部、后端面部、以及固定板结合面，通过采用导电材料的蒸镀或喷溅形成各外部电极36、37。个别外部电极36，是与驱动元件29(压电元件组21)的前端面部和布线连接面38连着形成的外部电极，在布线连接面38侧的部分，从驱动元件29的前端侧至后端附近连续地形成。该各个别外部电极36中的驱动元件29后端附近位置的端部、和挠性电缆24的各个别布线端子24a通过焊锡结合而电结合，各个别内部电极33和挠性电缆24被导通。并且，在与该挠性电缆24结合的压电振子组21的表面、即、与压电元件组21中的将固定板22固定的面相反侧的布线连接面38，设定将个别布线端子24a与个别外部电极36焊锡结合的焊锡结合区域40。具体来说，如图2、3所示，在驱动元件29的个别外部电极36中的压电振子组21的后端侧的端部侧，将连接挠性电缆24的个别布线端子24a的横长带状区域作为焊锡结合区域40。
另一方面，公共外部电极37，是与压电元件组21(驱动元件29)的布线连接面38和固定板结合面连着形成的外部电极，在布线连接面38侧的部分，从比个别外部端子36的端部(焊锡结合区域40)更远离压电元件组21的后端侧的位置向后端面部连续地形成。具体来说，从个别外部电极36中的结合个别布线端子24a一侧的端部向后端侧偏离一点的后部21b侧的两个角落部，形成为大约四角形状。并且，与个别外部电极36同样，各共同外部电极37和挠性电缆24的各共同布线端子24b通过焊锡结合而电结合，各公共内部电极32和挠性电缆24被导通。
在上述挠性电缆24和压电元件组21之间结合时，将个别外部电极36与个别布线端子24a重叠，同时在将共同外部电极37与公共布线端子24b重叠的状态下，从挠性电缆24的表面侧按压加热工具，同时锡焊这些部件。在此，在本实施方式中，在比焊锡结合区域40更处于压电振子组21的后端侧，在元件排列方向设定长条状的抗蚀剂涂敷区域42，在将挠性电缆24的个别布线端子24a焊锡结合在焊锡结合区域40中时，利用焊锡结合中所使用的加热工具使涂布在抗蚀剂涂布区域42的阻焊剂熔融，从而将挠性电缆24结合在压电振子组21的布线连接面38。
这样，在焊锡结合时，如果使涂布在抗蚀剂涂布区域42的阻焊剂熔融，使挠性电缆24结合在压电振子组21的布线连接面38，则在焊锡结合的同时使阻焊剂熔融，可以使挠性电缆24结合在压电振子组21的布线连接面38上。并且，在通过该阻焊剂进行结合的情况下的加热温度、加热时间、负荷等结合条件即使与焊锡结合的结合条件相同也可。因此，不需要重新设定使阻焊剂熔融而结合的工序，由此不会增加作业工序，可以抑制成本增加。
并且，由于挠性电缆24和压电振子组21不仅可通过焊锡结合还可通过阻焊剂结合，因此可以提高结合强度。即，即使挠性电缆24的各布线端子24a、24b或压电振子组的各外部电极36、37变小，焊锡结合面积变小，由于对焊锡结合部加以采用阻焊剂的结合，因此也可以得到足够的结合强度。其结果为，在组装记录头1时，即使因弯曲挠性电缆24的后端层而使前端侧的焊锡结合部产生弯曲应力，也可以抑制产生剥离。因此，如果采用该制造方法制造记录头1，则可以使成品率提高。
并且，在本实施方式中，如图4所示，使抗蚀剂涂布区域42呈在压电元件21的元件排列方向连续的长条状，与压电元件组的元件排列方向垂直的元件长度方向的宽度、即短边侧的宽1为从压电元件组21的后端至个别外部电极36的连接个别布线端子24a的一侧的端部为止的距离L的一半(L/2)以下，并作为压电元件组21的后端侧、具体来说压电元件组21的后端侧的两个角落部位置的公共外部电极37彼此之间的区域，这样，在设定抗蚀剂涂布区域42时，可以通过阻焊剂将易产生挠性电缆24的剥离的压电元件组21的后端侧牢固地结合。并且，压电振子组21的后端侧，由于是不存在划分各压电元件的槽部43的平坦面，因此阻焊剂不会流到压电元件之间的槽部43，可以容易增大阻焊剂的结合面积。通过以上可以进一步提高挠性电缆24与压电元件组21之间的焊锡结合部的结合强度。其结果为，在组装记录头1时，可以进一步抑制挠性电缆24剥离。进而，由于抗蚀剂涂布区域42配置在位于易产生剥离的压电元件组21的后端侧的两个角落部位置的公共外部电极37之间，因此可以抑制在焊锡结合公共外部电极37与公共布线端子24b的焊锡结合部产生剥离。
并且，如图5所示，在抗蚀剂涂布区域42的压电元件组2 1的元件排列方向的至少一方的端部侧(即压电振子组21的后端侧的角落部附近、或者公共外部电极37附近)，形成按照比抗蚀剂涂布区域42更向个别外部电极36的连接个别布线端子24b的一侧的端部膨胀的方式突出并扩大的抗蚀剂涂布过剩区域44。这样，如果在挠性电缆24易产生剥离的压电振子组21的后端侧的角落部附近，形成将抗蚀剂涂布区域42扩大了的抗蚀剂涂布过剩区域44，则可以进一步提高该角落部附近的焊锡结合部的结合强度。因此，可以进一步抑制易产生剥离的公共外部电极37和公共布线端子24b之间的焊锡结合部产生剥离。其结果为，在组装记录头1时，可以进一步抑制挠性电缆24剥离。
并且，以上描述中虽然例示了在压电振子组21的与驱动元件29的后端对置的区域、即驱动元件29的后部29b的区域，形成按照比抗蚀剂涂布区域42更向个别外部电极36的连接个别布线端子24b的一侧的端部(自由端部29a侧)膨胀的方式突出并扩大的抗蚀剂涂布过剩区域44，但这种情况下，由于担心因抗蚀剂涂布过剩区域44而限制驱动元件29的位移，因此如图6所示，也可以进一步增大(扩展)虚设元件28的在压电元件组21的元件排列方向的宽度，使形成在公共外部电极37与抗蚀剂涂布区域42之间的抗蚀剂涂布过剩区域44形成在与虚设元件28的后端相对的上述扩展区域且不与驱动元件29重叠。
另外，也可以将该抗蚀剂涂布过剩区域44设置作为在采用针(needle)将阻焊剂涂布在抗蚀剂涂布区域42上时的涂布开始点、涂布结束点。这种情况下也能实现上述作用效果。
然而，本发明并非限定于上述实施方式也可以有各种变形。例如，有关抗蚀剂涂布区域42，虽然在上述实施方式中，是作为在压电元件组21的布线连接面38上，在元件排列方向连续的长条区域，但并非限于此。例如，也可以是通过采用锯齿状的点涂布阻焊剂而形成的区域。关键在于，如果可得到足够的结合强度，使得设定在比焊锡结合区域40更靠近压电元件组21的后端侧，且压电振子组21的各外部电极与挠性电缆24的各布线端子之间的焊锡结合部不产生剥离，则可以是任何形状。并且，也可以在与压电振子组21的布线连接面38结合的挠性电缆24侧的连接面，设置抗蚀剂涂布区域42。
权利要求
1.一种压电元件单元，具备排列多个压电元件的压电元件组、在从固定板前端面使上述压电元件组的前端突出的状态下将上述压电元件组的后部重合固定的固定板、和具有与上述压电元件的外部电极结合的布线端子的布线部件，在与上述压电元件组的将固定板固定的面相反侧的布线连接面，设定焊锡结合区域、和比上述焊锡结合区域更处于上述压电元件组的后端侧的抗蚀剂涂布区域，在将上述布线部件的布线端子焊锡结合在上述焊锡结合区域时，使涂布在上述抗蚀剂涂布区域的阻焊剂熔融，使上述布线部件结合在上述布线连接面。
2.根据权利要求1中所述的压电元件单元，其特征在于，上述抗蚀剂涂布区域，在上述压电元件组的元件排列方向为长条状，短边侧的宽度为从上述压电元件组的后端至上述外部电极的连接上述布线端子的一侧端部为止距离的一半以下，该抗蚀剂涂布区域是位于上述压电元件组的后端侧的区域。
3.根据权利要求2所述的压电元件单元，其特征在于，在上述抗蚀剂涂布区域的上述压电元件组的元件排列方向的至少一方的端部侧，形成比上述抗蚀剂涂布区域更向上述外部电极的连接上述布线端子一侧的端部突出并扩大的抗蚀剂涂布过剩区域。
4.一种液体喷头，具备流路单元，其形成从公共液体室经过压力室至喷嘴开口的连通着的液体流路；和权利要求1～3中任一项所述的压电元件单元，通过压电元件的变形使压力室内的液体产生压力变动而从喷嘴开口喷出液滴。
5.一种压电元件单元的制造方法，该压电元件单元具备压电元件组，排列有多个压电元件；固定板，在使上述压电元件组的前端从固定板前端面突出的状态下将上述压电元件组的后部重合固定；和布线部件，具有与上述压电元件的外部电极结合的布线端子，在与上述压电元件组中的将固定板固定的面相反侧的布线连接面设定焊锡结合区域，并且在比该焊锡结合区域更处于压电元件组的后端侧设置抗蚀剂涂布区域，在将布线部件的布线端子焊锡结合在上述焊锡结合区域时，使涂布在上述抗蚀剂涂布区域的阻焊剂熔融，并将布线部件与布线连接面结合。
全文摘要
在与压电元件组(21)的将固定板(22)固定的面相反侧的布线连接面(38)，设定焊锡结合区域(40)，并且在比该焊锡结合区域(40)更靠近压电元件组(21)的后端侧设定抗蚀剂涂布区域(42)，在焊锡结合区域(40)焊锡结合挠性电缆的个别布线端子时，使涂布在抗蚀剂涂布区域(42)的阻焊剂熔融，将挠性电缆结合在布线连接面(38)，这样便提供一种可以充分确保将压电元件组的电极与布线部件的端子结合的结合部的结合强度，且防止在组装时布线部件的剥离的压电元件单元的制造方法、压电元件单元、以及采用该压电元件单元的液体喷头。
文档编号H02N2/00GK101083297SQ20071010874
公开日2007年12月5日 申请日期2007年5月31日 优先权日2006年6月1日
发明者竹内直, 笠井聪 申请人:精工爱普生株式会社