技术总结
一种双定子固定式压电惯性驱动器及其驱动方法，以解决当前压电粘滑直线马达由于采用单定子驱动所导致的输出推力小、行程短、精度低等技术问题。本发明由斜拉式定子组件、动子组件、滑动凸台、微位移调节装置和底座组成。所述斜拉式定子组件通过产生侧向位移，调整其与动子组件之间的接触正压力，以实现对摩擦力的综合调控；同时，本发明通过不同非对称电信号组合激励斜拉式定子组件，可实现输出加强型及运动急停型等多种驱动模式。本发明具有结构简单、负载能力强，且运动稳定等特点，在光学精密仪器和半导体加工等微纳精密驱动与定位领域中具有很好的应用前景。 1
技术研发人员：程廷海;卢晓晖;唐晚静;宁鹏;房彦旭;陈昭旭
受保护的技术使用者：长春工业大学
技术研发日：2018.01.29
技术公布日：2018.06.15