薄膜制造方法及有机EL器件的制造方法与流程

技术特征：

1.一种薄膜制造方法，一边对支承体进行搬运一边利用喷涂法在所述支承体上形成薄膜，

所述薄膜制造方法的特征在于，包括：

涂布膜形成工序，在该涂布膜形成工序中，一边使所述支承体相对于包括在所述支承体的搬运方向上分开配置的N根行式头在内的行式头组通过一次，一边从所述N根行式头中的第一行式头～第M行式头向所述支承体上的薄膜形成区域喷出包含薄膜形成用材料的涂布液，形成弹落到所述支承体的所述涂布液相连而成的涂布膜，其中，N为2以上的自然数，M为2以上且N以下的自然数；以及

干燥工序，在该干燥工序中，使所述涂布膜干燥而得到薄膜，

所述N根行式头分别在与所述搬运方向正交的方向即支承体宽度方向上分开配置，

所述N根行式头分别具有在所述支承体宽度方向上排列的多个薄膜形成用喷孔，

所述第一行式头～所述第M行式头在所述搬运方向上从上游朝向下游而以所述第一行式头～所述第M行式头的顺序配置，

在将所述第一行式头～所述第M行式头中的第一行式头～第m行式头所具有的所述多个薄膜形成用喷孔向与所述搬运方向正交的假想平面投影而得到的薄膜形成用喷孔列设为第m薄膜形成用喷孔列的情况下，第m行式头所具有的所述多个薄膜形成用喷孔在第m行式头中配置为位于第(m-1)薄膜形成用喷孔列中的相邻的薄膜形成用喷孔之间，其中，m为2以上且M以下的自然数，

在所述涂布膜形成工序中，所述第一行式头在多个喷出时机向所述支承体涂布所述涂布液，每当所述第一行式头在各所述时机涂布所述涂布液时，第m行式头在相对于所述第一行式头的所述喷出时机的规定的延迟时机向所述支承体涂布所述涂布液，

所述第一行式头～所述第M行式头从根据所述薄膜形成区域的形状而选自所述第一行式头～所述第M行式头各自所具有的所述多个薄膜形成用喷孔中的薄膜形成用喷孔按照所述第一行式头～所述第M行式头各自的喷出时机向所述支承体喷出所述涂布液。

2.根据权利要求1所述的薄膜制造方法，其中，

所述多个薄膜形成用喷孔在所述支承体宽度方向上以间距p配置。

3.根据权利要求2所述的薄膜制造方法，其中，

所述第二行式头所具有的所述多个薄膜形成用喷孔分别在从所述搬运方向观察的情况下配置于所述第一行式头所具有的所述多个薄膜形成用喷孔中的相邻的薄膜形成用喷孔的中央。

4.根据权利要求3所述的薄膜制造方法，其中，

从所述第二行式头所具有的所述薄膜形成用喷孔喷出的所述涂布液的弹落位置与相对于该薄膜形成用喷孔的目标弹落位置之差为所述间距p的1/4以下。

5.根据权利要求3或4所述的薄膜制造方法，其中，

所述M为2、4、8中的任一者。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的薄膜制造方法，其中，

所述M为3以上，

第三行式头～第M行式头中的第j行式头所具有的所述多个薄膜形成用喷孔如下配置，其中，j为3以上且M以下的自然数，

在所述支承体宽度方向上第(j-1)薄膜形成用喷孔列中的相邻的薄膜形成用喷孔的间隔为等间隔的情况下，所述第j行式头所具有的所述多个薄膜形成用喷孔在第j行式头内配置为位于所述第(j-1)薄膜形成用喷孔列中的相邻的薄膜形成用喷孔之间，

在所述支承体宽度方向上所述第(j-1)薄膜形成用喷孔列中的相邻的薄膜形成用喷孔的间隔不为等间隔的情况下，所述第j行式头所具有的所述多个薄膜形成用喷孔在第j行式头内配置为位于第(j-1)薄膜形成用喷孔列中的具有最大间隔的相邻的薄膜形成用喷孔之间。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的薄膜制造方法，其中，

在相对于所述第一行式头的所述喷出时机的所述规定的延迟时机所述第m行式头喷出所述涂布液的情况下，所述第一行式头及所述第m行式头将所述涂布液喷出到相对于所述搬运方向的同一垂直行上。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的薄膜制造方法，其中，

在相对于所述第一行式头的所述喷出时机的所述规定的延迟时机所述第m行式头喷出所述涂布液的情况下，将所述涂布膜喷出到相对于所述搬运方向的不同的垂直行上。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的薄膜制造方法，其中，

所述涂布液的粘度在25℃下为1mPa·s以上且20mPa·s以下。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的薄膜制造方法，其中，

所述第一行式头～所述第M行式头分别包括多个喷头，

各所述喷头具有在所述支承体宽度方向上以规定的间隔配置的多个喷孔，

所述多个喷孔所具有的全部的所述多个喷孔中的至少一部分为所述多个薄膜形成用喷孔，

在所述第一行式头～所述第M行式头中的各行式头中，所述多个喷头中的相邻的喷头配置为在从所述搬运方向观察时一部分重叠，

所述第一行式头～所述第M行式头中的相邻的行式头各自所具有的所述多个喷头配置为，所述搬运方向上相邻的所述行式头中的上游侧的行式头中的所述相邻的喷头的重复区域与下游侧的行式头中的所述相邻的喷头的重复区域在从所述搬运方向观察时不重叠。

11.根据权利要求10所述的薄膜制造方法，其中，

所述第一行式头～所述第M行式头通过针对所述宽度方向的位置调整机构而配置为，相邻的所述行式头中的上游侧的行式头中的所述相邻的喷头的重复区域与下游侧的行式头中的所述相邻的喷头的重复区域在从所述搬运方向观察时不重叠。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的薄膜制造方法，其中，

所述支承体具有挠性。

13.一种有机EL器件的制造方法，所述有机EL器件在基板上具有第一电极、第二电极及设置于所述第一电极与所述第二电极之间的包含有机发光材料的薄膜，

所述有机EL器件的制造方法的特征在于，包括：

第一电极制造工序，在该第一电极制造工序中，在所述基板上制造所述第一电极而得到带电极的基板；

薄膜制造工序，在该薄膜制造工序中，在权利要求1～12中任一项所述的薄膜制造方法中，将所述有机发光材料作为所述薄膜形成用材料，将所述带电极的基板作为所述支承体而在所述支承体上制造所述薄膜；以及

第二电极制造工序，在该第二电极制造工序中，在所述薄膜上制造所述第二电极。