该信息来抑制吸附头60的振动。
[0098]另外，加速度获取部件90以能够拆装的方式安装在一体安装于基台41的部件即安装部12上。由此，通过使Χ、Υ机器人工作，能够容易地将加速度获取部件90安装在安装部12上(图6的S21)。因此，能够容易地获取吸附头60移动时的基台41侧的加速度(图6的S23)。而且，控制部50在图6的S24中，通过分析基台41侧的加速度，能够获取基台41侧的固有振动频率即“第二固有振动频率”等对抑制吸附头60的振动起作用的信息。而且，振动抑制部200(如图8所示)结合“第一固有振动频率”，基于“第二固有振动频率”能够进行进一步抑制吸附头60的振动的控制。
[0099]另外，基板搬运装置10能够搬运加速度获取部件90。由此，通过基板搬运装置10搬运加速度获取部件90并使其停止在元件安装装置100内的安装位置(图7的S31)，通过X、Y机器人使吸附头60移动(图7的S32)，由此能够容易地获取吸附头60移动时的基台41侧的加速度(图7的33)。而且，控制部50在图7的S34中，通过分析基台41侧的加速度能够得到基台41侧的固有振动频率即“第二固有振动频率”等对抑制吸附头60的振动起作用的信息。而且，振动抑制部200(如图8所示)能够结合“第一固有振动频率”，并基于“第二固有振动频率”进行进一步抑制吸附头60的振动的控制。
[0100]另外，在图5所示的“第二实施方式的第一固有振动频率获取处理”中，通过基板搬运装置10将加速度获取部件90依次搬运到下游侧的元件安装装置100(图5的S110)，通过各元件安装装置100将加速度获取部件90安装在吸附头60上(图5的Sll I)，获取各元件安装装置100的“第一固有振动频率”(图5的S114)。
[0101]这样一来，由于加速度获取部件90通过基板搬运装置10依次搬运到下游侧的元件安装装置100，因此，能够在短时间内获取元件安装装置100的“第一固有振动频率”、“第二固有振动频率”。
[0102]另外，在图4的S14中，控制部50(振动分析部)在使吸附头60移动时，基于由加速度获取部件90获取的加速度，分析因伴随吸附头60的移动的反作用力而产生的振动，并计算“第一固有振动频率”。而且，图8所示的振动抑制部200基于“第一固有振动频率”来控制X、Y机器人(吸附部移动装置)。由此，能够抑制伴随吸附头60的移动的吸附头60的振动。
[0103]另外，在图4的S15中，“第一固有振动频率”存储在“存储部”中。由此，无需每次重新起动元件安装装置100都基于加速度获取部件90检测出的加速度来计算“第一固有振动频率”。同样，在图6的S25、图7的S35中，“第二固有振动频率”存储在“存储部”中。由此，无需每次重新起动元件安装装置100都基于加速度获取部件90检测出的加速度来计算“第二固有振动频率”。
[0104](其它实施方式)
[0105]在以上说明的实施方式中，对“第一固有振动频率”、“第二固有振动频率”进行计算。但是，也可以是如下实施方式:不对“第一固有振动频率”、“第二固有振动频率”进行计算，而是通过Χ、γ机器人重复进行吸附头60的定位动作，并基于由加速度获取部件90检测出的吸附头60部位的加速度，对控制部50的程序进行调节，抑制吸附头60的振动。
[0106]在以上说明的实施方式中，获取吸附头60部位的加速度的“加速度获取部”为以能够与吸嘴65互换的方式安装在吸附头60的吸嘴座61上的加速度获取部件90。但是，上述“加速度获取部”也可以是以能够与吸附头60互换的方式安装在X轴滑动件45 (吸附部移动装置)上的加速度获取部件190。
[0107]如图9所示，加速度获取部件190由主体部191、加速度传感器192、通信部163及蓄电池194构成。主体部191为块状，并形成有以能够通过螺钉等进行拆装的方式安装在X轴滑动件45上的拆卸安装部191a。加速度传感器192、通信部163、蓄电池194分别与图3所示的加速度获取部件90的加速度传感器92、通信部93、蓄电池94相同。
[0108]这样一来，通过代替吸附头60而将加速度获取部件190 (加速度获取部)安装在X轴滑动件45 (吸附部移动装置)上，能够容易地获取吸附头60部位的加速度。
[0109]在以上说明的实施方式中，加速度获取部件90不具有作为吸嘴65的功能。但是，也可以是在吸嘴65上安装有加速度传感器92、通信部93、蓄电池94的实施方式。同样，也可以是在吸附头60上安装有加速度传感器192、通信部193、蓄电池194的实施方式。
[0110]在以上说明的实施方式中，图8所示的振动抑制部200基于“第一固有振动频率”和“第二固有振动频率”进行前馈控制，以降低“第一固有振动”和“第二固有振动”。但是，也可以是振动抑制部200仅基于“第一固有振动频率”进行前馈控制以降低“第一固有振动”的实施方式。
[0111]在以上说明的实施方式中，在图6的S21中，加速度获取部件90的磁铁95吸附在安装部12上，加速度获取部件90安装在安装部12上。但是，也可以是如下实施方式:在安装部12的上表面形成有卡合加速度获取部件90的下部的卡合凹部，加速度获取部件90安装在安装部12上。在该实施方式的情况下，加速度获取部件90中不需要磁铁95。
[0112]在以上说明的实施方式中，安装部12安装在基板搬运装置10上。但是，也可以是如下实施方式:安装部12安装在基台41、或一体安装于基台41的部件上。
[0113]附图标记说明
[0114]10…基板搬运装置
[0115]12…安装部(一体安装于基台的部件)
[0116]41…基台
[0117]42…导轨(吸附部移动装置)
[0118]43…Y轴滑动件(吸附部移动装置)
[0119]44…Y伺服马达(吸附部移动装置)
[0120]45…X轴滑动件(吸附部移动装置)
[0121]46…X伺服马达(吸附部移动装置)
[0122]48…X伺服放大器(吸附部移动装置)
[0123]49…Y伺服放大器(吸附部移动装置)
[0124]60…吸附头(吸附部)
[0125]65…吸嘴(吸附部)
[0126]90…加速度获取部件(加速度获取部)
[0127]190…加速度获取部件(加速度获取部)
【主权项】
1.一种元件安装装置，其中，具有: 基台； 吸附部，吸附元件并将所述元件安装到基板上； 吸附部移动装置，安装在所述基台上并使所述吸附部移动； 加速度获取部，获取通过所述吸附部移动装置使所述吸附部移动时的、所述吸附部部位的加速度。2.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中， 所述吸附部由吸附所述元件的吸嘴和安装有该吸嘴并安装在所述吸附部移动装置上的吸附头构成， 所述加速度获取部以能够与所述吸嘴互换的方式安装在所述吸附头上。3.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中， 所述吸附部由吸附所述元件的吸嘴和安装有该吸嘴并安装在所述吸附部移动装置上的吸附头构成， 所述加速度获取部以能够与所述吸附头互换的方式安装在所述吸附部移动装置上。4.根据权利要求2所述的元件安装装置，其中， 所述加速度获取部以能够拆装的方式安装在所述基台、或一体安装于所述基台的部件上。5.根据权利要求2所述的元件安装装置，其中，在所述基台上安装有搬运所述基板的基板搬运装置， 所述基板搬运装置能够搬运所述加速度获取部。6.根据权利要求1?5中任一项所述的元件安装装置，其中， 具有:振动分析部，在通过所述吸附部移动装置使所述吸附部移动时，基于由所述加速度获取部获取的加速度，对因所述吸附部的移动所产生的振动进行分析；及 振动抑制部，基于由所述振动分析部分析出的分析结果，控制所述吸附部移动装置，抑制所述振动。
【专利摘要】本发明提供一种能够获取吸附部的加速度的元件安装装置。具有：基台(41)；吸附头(60)，吸附元件并将元件安装到基板上；X、Y机器人，安装在基台(41)上并使吸附头(60)移动；加速度获取部件(90)，获取通过X、Y机器人使吸附头(60)移动时的、吸附头(60)部位的加速度。加速度获取部件(90)以能够与吸嘴(65)互换的方式安装在吸附头(60)上。
【IPC分类】H05K13/04
【公开号】CN105052252
【申请号】CN201380074792
【发明人】藤田政利, 城户隆志, 永田良, 饲沼谅
【申请人】富士机械制造株式会社
【公开日】2015年11月11日
【申请日】2013年3月19日
【公告号】WO2014147770A1