专利名称：一种硅片线切割机的夹紧装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及线切割机领域，具体的说是一种硅片线切割机的夹紧装置。
背景技术：
目前，市场上销售和使用的硅片切割的线切割机，在进行切片作业时，是用进口的 热熔性高强胶粘剂固定晶体硅棒、锭的。该机型的物料固定方法存在以下不足其一待切割 的晶体硅棒、锭施胶后，需时间固化才能进行切割作业；硅片切成后又需经过加热使胶热熔 后，才能将硅片取下；取下的硅片还需将被胶粘剂污染的表面清除干净，才能作为商品，这 样的过程费时费力；其二该胶粘剂是纯化学品，用后残留物、排出物在一定程度上对环境造 成不良影响。其三该胶粘剂价格较贵，每公斤高达2000元人民币，且为一次性消耗品，它的 使用在一定程度上无疑增加了切片成本费用，还降低了生产效率，从而造成该行业污染严 重、生产成本居高不下。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片线切割机的夹紧装置，它不仅使得 线切割机在生产过程环保、能耗低，而且提高了生产效率，生产成本降低了 60%。本实用新型为解决上述技术问题的不足而采用的技术方案是一种硅片线切割机 的夹紧装置，由齿轮箱、真空泵和夹紧平台组成，在齿轮箱外的连接轴上设有顶紧板，顶紧 板上设有凹槽，对应凹槽设有一夹紧平台，所述的夹紧平台其内部呈中空的结构，在其上板 面均勻设有多个Φ 3- Φ 6mm的细孔，在其侧板面设有管嘴通过管道与真空泵连接，在齿轮 箱内还设有齿轮传动机构和锁紧机构，所述的齿轮传动机构主要由传动轴I、齿轮I、齿轮 II、传动轴II构成，所述的锁紧机构主要由锁紧偏心轴和锁紧环构成，所述的锁紧环为半 圆环，其一端设置在锁紧偏心轴上，另一端的开口卡在传动轴II上。本实用新型，所述的齿轮箱外壁上还设有导向杆，导向杆与顶紧板连接。本实用新型，所述的齿轮箱外还设有手轮，手轮与传动轴I连接。本实用新型，所述的齿轮箱外还设有手柄，手柄与锁紧偏心轴连接。本实用新型，所述的顶紧板设置在传动轴II伸出齿轮箱外的一端。本实用新型的有益效果是1、物料夹紧装置采用真空吸附力和机械挤压力两种复合力，从三个面对晶体硅 棒、锭进行加力固定，即晶体硅棒、锭下端面采用真空吸附力固定，两端面用丝杠转动产生 的机械挤压力固定；这样的二力三面的固定方式方法牢固可靠。2、采用的导向机构使夹紧板在移动过程只能沿导向杆设定的方向移动，提高了夹 紧板与夹紧平台迅速对位的准确性；锁紧机构使晶体硅棒、锭固定后，不因机械和误操作等 原因，而使夹紧板后退导致固定失稳；使物料固定更加稳固可靠。3、固定或卸出物料快捷迅速。本夹紧装置对晶体硅棒、锭无论是切割前的固定，还 是切割工作结束后卸出硅片，时间均不超过2分钟；仅此节约装卸料时间30 40分钟，极大了提高了生产效率。4、弃用胶粘法固定物料，节约了生产成本，避免了化学品对产品和环境的二次污 染。本夹紧装置固定物料的真空泵耗电费用，仅为胶粘法费用的1/10 ；胶粘法粘结在切缝 处的胶粘剂需排出，粘结硅片表面也必须清除，由于其量少且无回收价值，其排出和清除 后，必然会对环境造成二次污染。本夹紧装置的固定物料的方式方法不仅成本低，且无任何 污染物排出而危害环境。
图为本实用新型的结构示意图。图中标记1、齿轮箱，2、夹紧平台，3、顶紧板，4、传动轴1，5、齿轮1，6、齿轮11，7、 传动轴11，8、管嘴，9、管道，10、真空泵，11、手轮，12、手柄，13、锁紧环，14、锁紧偏心轴，15、 导向杆，16、细孔，17、凹槽。
具体实施方式
如图所示，一种硅片线切割机的夹紧装置，由齿轮箱1、真空泵10和夹紧平台2组 成，在齿轮箱1内设有齿轮传动机构和锁紧机构，所述的齿轮传动机构主要由传动轴14、齿 轮15、齿轮116、传动轴117构成，齿轮15设置在传动轴14上，齿轮116设置在传动轴117 上，齿轮15通过齿轮116将运动传递给传动轴117，在齿轮箱1外设有顶紧板3，所述的顶 紧板3设置在传动轴117伸出齿轮箱1外的一端，顶紧板3上设有凹槽17，对应凹槽17的 一侧设有一夹紧平台2，所述的加紧平台2其内部呈中空的结构，在其上板面均勻设有多个 Φ 6mm的细孔16，在其侧板面设有管嘴8通过管道9与真空泵10连接。本实用新型，所述的夹紧平台2其右端设有高出夹紧平台平面的固定夹紧板，且 顶紧板3与其固定夹紧板高度相同。本实用新型，所述的齿轮箱1外壁上还设有导向杆15，导向杆15的另一端穿过顶 紧板3的导向孔，因此当顶紧板3移动时，只能沿导向杆不偏不倚前进或后退，不产生偏移， 使得顶紧物料时更稳定，为提高切片的精度提供了有力保证。本实用新型，所述的齿轮箱1外还设有手轮11，手轮11与传动轴14连接，齿轮15 设置在传动轴14上，齿轮116设置在传动轴117上，顶紧板3设置在传动轴117的一端，由 手轮11旋转运动可经传动轴14、齿轮15、齿轮116传递给传动轴117，从而传动轴117将旋 转运动转化为直线运动，带动顶紧板3移动，直至夹紧物料。本实用新型，所述的锁紧机构由锁紧偏心轴14和锁紧环13构成，在齿轮箱外还设 有手柄12，手柄12与锁紧偏心轴14连接，所述的锁紧环13为半圆环，锁紧环13的外圆与 锁紧偏心轴14相连，其内圆与传动轴117结合，具体的说锁紧环13 —端设置在锁紧偏心 轴14上，另一端的半圆环开口卡在传动轴117上，当传动轴117带动顶紧板移动至所需位 置时，扳动手柄12，带动锁紧偏心轴14旋转运动，由于其为偏心轴，所以，当其旋转一定角 度时会带来的一定的垂直方由于其为偏心轴，所以，当其旋转一定角度时会带来的一定的 垂直方向上的位移量，垂直位移量使得锁紧偏心轴14上的锁紧环13压紧传动轴117，使得 传动轴Π7不再动作，从而起到了锁紧的作用。本实用新型，所述的顶紧板3与传动轴117连接方式可选用螺纹连接，传动轴117右端的梯形螺纹丝杠通过顶紧板3上的螺母，因此由传动轴117的旋转运动转化为顶紧板 3的直线运动。本实用新型，所述的夹紧平台2设置成内部中空的结构，其一端设有挡板，在其上 板面均勻设有若干个Φ6mm的小孔，侧板面设置的管嘴通过连接管道与真空泵连接，大气 压力与真空泵开动后形成的负压的压差，使待切割物料被紧紧吸附在夹紧平台上，且当顶 紧板移动至所需位置时，实现机械夹紧，采用此种手段改进了原有设备中使用高强胶粘剂 固定的方法，从而该设备省去了购买胶粘剂和资金和设置胶粘剂的工序，不仅节约了金钱， 还提高了生产速度。换句话说也就是提高了企业的竞争力。本实用新型，物料消耗低、生产过程洁净环保能耗低。采用真空夹紧和 机械夹紧两 种手段相结合，下端面采用真空夹紧，原有设备中通常使用高强胶粘剂固定的方法，使用后 的胶粘剂要么随废料抛洒在车间外，污染严重；或者进入收集程序，从而使得企业内回收碳 化硅磨粒时处理工艺复杂，回收难度大。该技术创新不仅为企业省去购买高强胶粘剂的资 金，又减少了污染，还为后序的回收处理提供了方便。其次，提高了生产效率近60%，采用真 空夹紧，速度快；其次在切割过程中不采用高强度胶粘剂，因此也就省去了改到工艺，极大 了提高了企业的生产效率。最后，夹紧稳定、锁紧效果好，由于采用了锁紧机构和导向杆，因 此，在夹紧过程中顶紧板沿导向杆移动，不产生偏移量，夹紧稳定，其次采用了锁紧偏心轮 和锁紧环结合使用，使得物料在夹紧后，传动轴不再旋转动作，从而起到了锁紧的作用。因 此，本次技术革新将为企业带来更多效益，值得在市场上推广应用。
权利要求一种硅片线切割机的夹紧装置，由齿轮箱(1)、真空泵(10)和夹紧平台(2)组成，其特征在于在齿轮箱(1)外的连接轴上设有顶紧板(3)，顶紧板(3)上设有凹槽(17)，对应凹槽(17)的一侧设有一夹紧平台(2)，所述的夹紧平台(2)其内部呈中空的结构，在其上板面均匀设有多个φ3-φ6mm的细孔(16)，在其侧板面设有管嘴(8)通过管道(9)与真空泵(10)连接，在齿轮箱(1)内还设有齿轮传动机构和锁紧机构，所述的齿轮传动机构主要由传动轴I(4)、齿轮I(5)、齿轮II(6)、传动轴II(7)构成，所述的锁紧机构主要由锁紧偏心轴(14)和锁紧环(13)构成，所述的锁紧环(13)为半圆环，其一端设置在锁紧偏心轴(14)上，另一端的开口卡在传动轴II(7)上。
2.根据权利要求1所述的一种硅片线切割机的夹紧装置，其特征在于所述的齿轮箱 (1)外壁上还设有导向杆(15)，导向杆(15)与顶紧板(3)连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅片线切割机的夹紧装置，其特征在于所述的齿轮箱 (1)外还设有手轮(11)，手轮(11)与传动轴1(4)连接。
4.根据权利要求1所述的一种硅片线切割机的夹紧装置，其特征在于所述的齿轮箱 (1)外还设有手柄(12)，手柄(12)与锁紧偏心轴(14)连接。
5.根据权利要求1所述的一种硅片线切割机的夹紧装置，其特征在于所述的顶紧板 (3)设置在传动轴11(7)伸出齿轮箱(1)外的一端。
专利摘要一种硅片线切割机的夹紧装置，涉及线切割机领域，主要由齿轮箱、真空泵和夹紧平台组成，所述的加紧平台其内部呈中空的结构，在其上板面均匀设有多个φ6mm的细孔，在其侧板面设有管嘴通过管道与真空泵连接，在齿轮箱内设有齿轮传动机构和锁紧机构，本实用新型采用真空夹紧和机械夹紧两种手段相结合，不仅夹紧稳定、锁紧效果好，而且生产过程中物料消耗低、洁净环保，还提高了生产效率近60％。
文档编号B28D7/04GK201566062SQ200920298380
公开日2010年9月1日 申请日期2009年12月29日 优先权日2009年12月29日
发明者尚春祥 申请人:尚春祥