专利名称：一种注浆成型高密度高强度ito靶材坯体的制备方法
技术领域：
本发明涉及一种大规格平板陶瓷湿法成型技术，特别是一种注浆成型高密度高强度ITO靶材坯体的制备方法。
背景技术：
ITO靶材坯体成型技术分为干法成型与湿法成型两大类。干法普遍采用先模压再冷等静压(CIP)的方法；湿法采用注浆成型、压滤注浆成型等方法。干压成型技术是将ITO粉料直接置于模具中，通过压机进行轴向加压而成型。其制程短、操作简单，但成型坯体密度不均匀、模压过程易出现分层、对模具和压机精度要求高、难于压制大规格坯体。注浆成型技术通常是将预先制备的ITO浆料浇注到石膏模中，采用多面、双面或单面吸浆，使ITO坯体成型。用该法可得到大规格、高密度、均匀的板状坯体，且成本较低。注浆成型的难点是适合于浇注的浆料的制备技术，目前采用的技术所制备的浆料存在固含量低、粘度大、流动性差等缺点，制备出的坯体容易出现开裂、分层、不均匀、变形等，造成废品率增加。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种注浆成型高密度高强度ITO靶材坯体的制备方法，过在水溶剂中加入有机分散剂、调节PH值并通过控制球磨工艺制备出高固含量(85、0%)、低粘度、高分散度的ITO浆料。整个过程操作简单、能耗低，可根据实际需要制备出不同高固含量的ITO浆料。该ITO浆料因其高固含量和良好的流动性，适于注浆成型制备大规格高密度、高强度的IT O靶材坯体。为了实现解决上述技术问题的目的，本发明采用了如下技术方案
本发明的一种注浆成型高密度高强度ITO靶材坯体的制备方法，是将纯度大于99. 99%、平均粒径范围为0. 08^3 y m的ITO粉体通过在水溶剂中加入有机分散剂、调节pH值，再通过控制球磨工艺制备成ITO浆料，具体过程为
(1)预混液的制备工艺
制备固含量85、0%浆料的预混液时，其水的质量含量占粉体的11. ri7. 6% ;在水中加入聚丙烯酸类分散剂，其加入量为ITO粉体(对应于不同的固含量)的0. 05、. 4%，并用氨水调节PH值至8 11 ;在配置预混液的过程中始终用磁力转子或机械搅拌棒进行搅拌，以使水溶剂中添加剂混合均匀，得到预混液；
(2)高固含量、低粘度浆料的球磨工艺
在(I)制备的预混液中按不同固含量需求加入纯度大于99. 99%、平均粒径范围为0. 08 3 ii m的ITO粉体，再于球磨机中进行湿磨；球磨后的ITO浆料固含量为85 90%，转速20s-1下的室温粘度值为112 295mPa s ；
(3)注浆后坯体的成型
用(2)制备的高固含量ITO浆料于石膏模具中浇注成型，该石膏模具采用双面吸浆的方式，依靠模具中毛细孔的吸引力吸收掉浆料中的大部分水分而固化成型，期间需要不断补充浆料，直到体积基本不再变化为止；
(4)坯体的脱模、干燥
浆料浇注后于石膏模具中静置3 5h后即固化成型，成型后脱模；脱模后的坯体干燥后即得到高密度坯体。高密度的坯体再于50(T90(TC脱脂5 10h、150(Tl650°C烧结6 15h后，靶材相对密度可达99. 3%以上。优选的，所述的聚丙烯酸类分散剂具体为D3021。所述的ITO粉，具体为电弧气化法ITO粉。优选的，行星球磨采用20L球磨罐，所选用的球磨罐材质为玛瑙、尼龙或聚氨酯，球磨介质选为玛瑙球、氧化锆球或聚氨酯球；所选用的磨球直径为5 10mm，料球质量比范围为1. 2:1 2:1 ;采用的球磨转速为10(T250r/min，球磨时间为10 40h。石膏模成型后坯体的干燥、脱脂条件可以为室温状态干燥f 2天后再于10(Tl20°C干燥 l(T20h、50(T90(rC脱脂 5 10h。ITO坯体室温状态干燥1 2天后再于10(Tl2(rC干燥IOlOh后用阿基米德法测量，密度高达4. 29 4. 65g/cm3，理论密度按7. 15g/cm3计算，相对密度为60 65%。本专利所述的含量比例，如无特别说明，均为质量含量。通过采用上述技术方案，本发明的注浆成型ITO靶材坯体的制备方法，制备的ITO浆料固含量高、粘度低 、分散效果理想，具有很好的流动性，特别有利于采用注浆成型法制备大规格的高密度ITO靶材坯体；
(I)高固含量高固含量的陶瓷浆料是制备高强度、高密度陶瓷坯体的必要条件之一，本发明制备的ITO浆料其固含量高达85、0%，可满足制备高强度、高密度ITO靶材坯体的要求。(2)低粘度在保证浆料高固含量的同时，低粘度是使得注浆行为可顺利进行的必要条件。一般认为粘度值低于IOOOmPa* s的陶瓷浆料即可完成浇注行为。本发明制备的ITO浆料其粘度值为112 295mPa-s (室温，转速20s—1)，故其良好的流动性可使浇注过程顺利进行。(3) ITO坯体干燥后用阿基米德法测量，密度高达4. 29 4. 65g/cm3,理论密度按7. 15g/cm3计算，相对密度为60 65%。
具体实施例方式下面进一步具体说明本专利。但是本专利的保护范围不限于具体的实施方式。实施例所述的ITO粉体，具体为电弧气化法ITO粉；实施例所述的聚丙烯酸类分散剂具体为D3021 ;实施例所述的成型模具具体为双面注浆石膏模具，模腔规格为500mmX400mmo实施例1
一种注浆成型高密度高强度ITO靶材坯体的制备方法，步骤如下
取纯度大于99. 99%、平均粒径为0. 08 ii m的ITO粉体6kg，并按照目标固含量85%称取定量的水配置预混液。在水搅拌过程中，加入占粉体0. 4%的聚丙烯酸类分散剂D3021，pH值调至10，再搅拌5 10min后制得预混液。将ITO粉和预混液加入到20L行星球磨罐内，其中球罐为玛瑙罐，球磨介质为直径IOmm的玛瑙球，料球质量比为2:1。将球磨转速设定为250r/min，经过40h球磨后浆料流动性良好，测量其粘度值为139 mPa s (室温，转速20s-1)。浆料经抽真空脱气后，浇注到500mmX400mm的石膏模具中，浆料浇注完成后于石膏模具中静置5h后即固化成型，成型后脱模。以上相同工艺重复10次，其中成型的I块坯体开裂，开裂比例为10%。脱模后的坯体于室温状态干燥2天，再于120°C干燥20h，得到500mmX 400mm规格的高密度ITO坯体。经封蜡排水法测量，坯体密度为4. 29g/cm3 (相对密度为60%，理论密度按7. 15g/cm3计算)。坯体经600°C脱脂10h、1590°C烧结12h后，得到相对密度达99. 3%的ITO靶材。实施例2
一种注浆成型高密度高强度ITO靶材坯体的制备方法，步骤如下
取纯度大于99. 99%、平均粒径为0.1 ii m的ITO粉体6kg，并按照目标固含量86%称取定量的水配置预混液。在水搅拌过程中，加入占粉体0. 35%的聚丙烯酸类分散剂D3021，pH值调至10. 8，再搅拌5 10min后制得预混液。将ITO粉和预混液加入到20L行星球磨罐内，其中球罐为尼龙罐，球磨介质为直径8mm的氧化锆球，料球质量比为1.5:1。将球磨转速设定为200r/min，经过30h球磨后浆料流动性良好，测量其粘度值为112mPa s (室温，转速20s-l)。浆料经抽真空脱气后，浇注到500mmX400mm的石膏模具中，浆料浇注完成后于石膏模具中静置5h后即固化成型，成型后脱模。以上相同工艺重复10次，其中成型10块坯体均未开裂。脱模后的坯体于室温状态干燥2天，再于120°C干燥20h，得到500mmX400mm规格的高密度ITO坯体。经封蜡 排水法测量，坯体密度为4. 32g/cm3,理论密度按7. 15g/cm3计算则相对密度为60. 4%。坯体经600°C脱脂10h、1590°C烧结12h后，得到相对密度达99. 5%的ITO靶材。实施例3
一种注浆成型高密度高强度ITO靶材坯体的制备方法，步骤如下
取纯度大于99. 99%、平均粒径为0. 4 ii m的ITO粉体6kg，并按照目标固含量87%称取定量的水配置预混液。在水搅拌过程中，加入占粉体0.2%的聚丙烯酸类分散剂D3021，pH值调至9. 5，再搅拌5 10min后制得预混液。将ITO粉和预混液加入到20L行星球磨罐内，其中球罐为聚氨酯罐，球磨介质为直径IOmm的聚氨酯球，料球质量比为2:1。将球磨转速设定为220r/min，经过30h球磨后浆料流动性良好，测量其粘度值为160mPa s (室温，转速20s-l)。浆料经抽真空脱气后，浇注到500mmX400mm的石膏模具中，浆料浇注完成后于石膏模具中静置5h后即固化成型，成型后脱模。以上相同工艺重复10次，其中成型10块坯体均未开裂。脱模后的坯体于室温状态干燥2天，再于120°C干燥20h，得到500mmX400mm规格的高密度ITO坯体。经封蜡排水法测量，坯体密度为4. 47g/cm3 (相对密度为62. 5%，理论密度按7. 15g/cm3计算)。坯体经600°C脱脂10h、1590°C烧结12h后，得到相对密度达99. 4%的ITO靶材。实施例4一种注浆成型高密度高强度ITO靶材坯体的制备方法，步骤如下
取纯度大于99. 99%、平均粒径为0. 6 ii m的ITO粉体6kg，并按照目标固含量88%称取定量的水配置预混液。在水搅拌过程中，加入占粉体0. 16%的聚丙烯酸类分散剂D3021，pH值调至9. 5，再搅拌5 10min后制得预混液。将ITO粉和预混液加入到20L行星球磨罐内，其中球罐为玛瑙罐，球磨介质为直径5mm的氧化锆球，料球质量比为1. 2:1。将球磨转速设定为180r/min，经过25h球磨后浆料流动性良好，测量其粘度值为180 mPa s (室温，转速20s-1)。浆料经抽真空脱气后，浇注到500mmX400mm的石膏模具中，浆料浇注完成后于石膏模具中静置5h后即固化成型，成型后脱模。以上相同工艺重复10次，其中成型10块坯体均未开裂。脱模后的坯体于室温状态干燥2天，再于120°C干燥20h，得到500mmX400mm规格的高密度ITO坯体。经封蜡排水法测量，坯体密度为4. 47g/cm3 (相对密度为62. 5%，理论密度按7. 15g/cm3计算)。坯体经600°C脱脂10h、1590°C烧结12h后，得到相对密度达99. 5%的ITO靶材。实施例5
一种注浆成型高密度高强度ITO靶材坯体的制备方法，步骤如下
取纯度大于99. 99%、平均粒径为1. 2 ii m的ITO粉体6kg，并按照目标固含量88%称取定量的水配置预混液。在水搅拌过程中，加入占粉体0.1%的聚丙烯酸类分散剂D3021，pH值调至9，再搅拌5 10min后制得预混液。将ITO粉和预混液加入到20L行星球磨罐内，其中球罐为聚氨酯罐，球磨介质为直径8mm的氧化锆球，料球质量比为1. 5:1。将球磨转速设定为150r/min，经过18h球磨后浆料流动性良好，测量其粘度值为135 mPa s (室温，转速20s-1)。浆料经抽真空脱气后，浇注到500mmX400mm的石膏模具中，浆料浇注完成后于石膏模具中静置5h后即固化成型，成型后脱模。以上相同工艺重复10次，其中成型10块坯体均未开裂。脱模后的坯体于室温状态干燥2天，再于120°C干燥20h，得到500mmX400mm规格的高密度ITO坯体。经封蜡排水法测量，坯体密度为4. 5g/cm3 (相对密度为63%，理论密度按7. 15g/cm3计算)。坯体经600。。脱脂10h、1590°C烧结12h后，得到相对密度达99. 5%的ITO靶材。实施例6
一种注浆成型高密度高强度ITO靶材坯体的制备方法，步骤如下
取纯度大于99. 99%、平均粒径为2 ii m的ITO粉体6kg，并按照目标固含量89%称取定量的水配置预混液。在水搅拌过程中，加入占粉体0. 05%的聚丙烯酸类分散剂D3021，pH值调至9. 5，再搅拌5 10min后制得预混液。将ITO粉和预混液加入到20L行星球磨罐内，其中球罐为尼龙罐，球磨介质为直径IOmm的玛瑙球，料球质量比为1. 5:1。将球磨转速设定为100r/min，经过IOh球磨后浆料流动性良好，测量其粘度值为195 mPa s (室温，转速20s-1)。浆料经抽真空脱气后，浇注到500mmX400mm的石膏模具中，浆料浇注完成后于石膏模具中静置5h后即固化成型， 成型后脱模。以上相同工艺重复10次，其中成型10块坯体均未开裂。脱模后的坯体于室温状态干燥2天，再于120°C干燥20h，得到500mmX400mm规格的高密度ITO坯体。经封蜡排水法测量，坯体密度为4. 56g/cm3 (相对密度为63. 8%，理论密度按7. 15g/cm3计算)。坯体经600°C脱脂10h、1590°C烧结12h后，得到相对密度达99. 3%的ITO靶材。实施例7
一种注浆成型高密度高强度ITO靶材坯体的制备方法，步骤如下
取纯度大于99. 99%、平均粒径为3 ii m的ITO粉体6kg，并按照目标固含量90%称取定量的水配置预混液。在水搅拌过程中，加入占粉体0. 12%的聚丙烯酸类分散剂D3021，pH值调至8. 5，再搅拌5 10min后制得预混液。将ITO粉和预混液加入到20L行星球磨罐内，其中球罐为聚氨酯罐，球磨介质为直径8mm的玛瑙球，料球质量比为2:1。将球磨转速设定为150r/min，经过20h球磨后浆料流动性良好，测量其粘度值为295 mPa *s(室温，转速20s—1)。浆料经抽真空脱气后，浇注到500mmX400mm的石膏模具中，浆料浇注完成后于石膏模具中静置5h后即固化成型，成型后脱模。以上相同工艺重复10次，其中成型10块坯体均未开裂。脱模后的坯体于室温状态干燥2天，再于120°C干燥20h，得到500mmX400mm规格的高密度ITO坯体。经封蜡排水法测量，坯体密度为4. 65g/cm3 (相对密度为65%，理论密度按7. 15g/cm3计算)。坯体经600。。脱脂10h、1590°C烧结12h后，得到相对密度达99. 6%的ITO靶材。上述的各个实施例，由于浆料的固含量较高(固含量范围在7(T83%)，成型出坯体的强度和密度均很高，总的开裂比例< 10%，具有很高的成功率。对比例I
普通ITO浆料的制备坯体的方法，步骤如下
取纯度大于99. 99%、平均粒径为0. 08 ii m的ITO粉体6kg，并按照目标固含量70%称取定量的水配置预混液。在水搅拌过程中，加入占粉体0.4%的聚丙烯酸类分散剂D3021，pH值调至10，再搅拌5 10min后制`得预混液。将ITO粉和预混液加入到20L行星球磨罐内，其中球罐为玛瑙罐，球磨介质为直径IOmm的玛瑙球，料球质量比为2:1。将球磨转速设定为250r/min，经过40h球磨后浆料流动性良好，测量其粘度值为18 mPa *s (室温，转速20s—1)。浆料经抽真空脱气后，浇注到500mmX400mm的石膏模具中。浆料浇注完成后于石膏模具中静置5h后即固化成型，成型后脱模，脱模后的坯体因强度较低而易发生开裂。以上相同工艺重复10次，成型的10块坯体全部开裂，开裂比例为100%。开裂的坯体于室温状态干燥2天，再于120°C干燥20h后经封蜡排水法测量，密度仅为3. 5g/cm3 ;理论密度按7. 15g/cm3计算则相对密度为49%。取部分开裂的坯体经600°C脱脂10h、1590°C烧结12h后，得到相对密度仅为94. 3%的ITO靶材，且靶材断口处可发现较多宏观气孔。对比例2
普通ITO浆料的制备坯体的方法，步骤如下
取纯度大于99. 99%、平均粒径为0. 4 ii m的ITO粉体6kg，并按照目标固含量75%称取定量的水配置预混液。在水搅拌过程中，加入占粉体0.2%的聚丙烯酸类分散剂D3021，pH值调至9. 5，再搅拌5 10min后制得预混液。将ITO粉和预混液加入到20L行星球磨罐内，其中球罐为聚氨酯罐，球磨介质为直径IOmm的聚氨酯球，料球质量比为2:1。将球磨转速设定为220r/min，经过30h球磨后浆料流动性良好，测量其粘度值为27 mPa s (室温，转速20s-l)。浆料经抽真空脱气后，浇注到500mmX400mm的石膏模具中，浆料浇注完成后于石膏模具中静置5h后即固化成型，成型后脱模，脱模后的坯体因强度较低而易发生开裂。以上相同工艺重复10次，其中成型的9块坯体开裂，开裂比例为90%。开裂的坯体于室温状态干燥2天，再于120°C干燥20h后经封蜡排水法测量，密度仅为3. 56g/cm3 ;理论密度按7. 15g/cm3计算则相对密度为49. 8%。取部分开裂的坯体经600°C脱脂10h、1590°C烧结12h后，得到相对密度仅为95%的ITO靶材。对比例3
普通ITO浆料的制备坯体的方法，步骤如下
取纯度大于99. 99%、平均粒径为0. 4 ii m的ITO粉体6kg，并按照目标固含量80%称取定量的水配置预混液。在水搅拌过程中，加入占粉体0.2%的聚丙烯酸类分散剂D3021，pH值调至9. 5，再搅拌5 10min后制得预混液。将ITO粉和预混液加入到20L行星球磨罐内，其中球罐为聚氨酯罐，球磨介质为直径IOmm的聚氨酯球，料球质量比为2:1。将球磨转速设定为220r/min，经过30h球磨后浆料流动性良好，测量其粘度值为67mPa s (室温，转速20s-1)。浆料经抽真空脱气后，浇注到500mmX400mm的石膏模具中，浆料浇注完成后于石膏模具中静置5h后即固化成型，成型后脱模，脱模后的坯体因强度较低而易发生开裂。以上相同工艺重复10次，其中成型的6块坯体开裂，开裂比例为60%。开裂的坯体于室温状态干燥2天，再于120°C干燥20h后经封蜡排水法测量，密度仅为3. 71g/cm3 (相对密度为51. 9%，理论密度按7. 15g/cm3计算)。取部分开裂的坯体经600°C脱脂10h、1590°C烧结12h后，得到相对密度仅为95. 9%的ITO靶材。对比例4
普通ITO浆料的制备坯体的方法，步骤如下 取纯度大于99. 99%、平均粒径为0. 4 ii m的ITO粉体6kg，并按照目标固含量82%称取定量的水配置预混液。在水搅拌过程中，加入占粉体0.2%的聚丙烯酸类分散剂D3021，pH值调至9. 5，再搅拌5 10min后制得预混液。将ITO粉和预混液加入到20L行星球磨罐内，其中球罐为聚氨酯罐，球磨介质为直径IOmm的聚氨酯球，料球质量比为2:1。将球磨转速设定为220r/min，经过30h球磨后浆料流动性良好，测量其粘度值为78mPa s (室温，转速20s-1)。浆料经抽真空脱气后，浇注到500mmX400mm的石膏模具中，浆料浇注完成后于石膏模具中静置5h后即固化成型，成型后脱模，脱模后的坯体因强度较低而发生开裂。以上相同工艺重复10次，其中成型的6块坯体开裂，开裂比例为60%。开裂的坯体于室温状态干燥2天，再于120°C干燥20h后经封蜡排水法测量，密度仅为3. 79g/cm3(相对密度为53%，理论密度按7. 15g/cm3计算)。取部分开裂的坯体经600°C脱脂10h、1590°C烧结12h后，得到相对密度仅为96. 1%的ITO靶材。对比例5
普通ITO浆料的制备坯体的方法，步骤如下
取纯度大于99. 99%、平均粒径为0. 4 ii m的ITO粉体6kg，并按照目标固含量83%称取定量的水配置预混液。在水搅拌过程中，加入占粉体0.2%的聚丙烯酸类分散剂D3021，pH值调至9. 5，再搅拌5 10min后制得预混液。将ITO粉和预混液加入到20L行星球磨罐内，其中球罐为聚氨酯罐，球磨介质为直径IOmm的聚氨酯球，料球质量比为2:1。将球磨转速设定为220r/min，经过30h球磨后浆料流动性良好，测量其粘度值为84mPa s (室温，转速20s-1)。浆料经抽真空脱气后，浇注到500mmX400mm的石膏模具中，浆料浇注完成后于石膏模具中静置5h后即固化成型，成型后脱模，脱模后的坯体因强度较低而发生开裂。以上相同工艺重复10次，其中成型的5块坯体开裂，开裂比例为50%。开裂的坯体于室温状态干燥2天，再于120°C干燥20h后经封蜡排水法测量，密度仅为3. 85g/cm3 (相对密度为53. 8%，理论密度按7. 15g/cm3计算)。取部分开裂的坯体经600°C脱脂10h、1590°C烧结12h后，得到相对密度仅为96. 5%的ITO靶材。对比例中，由于浆料的固含量较低，虽然其粘度较低、流动性较好，但成型出的坯体强度和密度较低，容易因干燥应力而发生开裂。以上对比例中制备的浆料固含量范围在70^83%,其成型出坯体的开裂比例≥50%,难以保证坯体的成品率。
权利要求
1.一种注浆成型高密度高强度ITO靶材坯体的制备方法，其特征是是将纯度大于 99. 99%、平均粒径范围为O. 08 3 μ m的ITO粉体通过在水溶剂中加入有机分散剂、调节pH 值，再通过控制球磨工艺制备成ITO浆料，具体过程为(1)预混液的制备工艺制备固含量85、0%浆料的预混液时，其水的质量含量占粉体的11. Γ17. 6% ;在水中加入聚丙烯酸类分散剂，其加入量为ITO粉体(对应于不同的固含量)的O. 05、. 4%，并用氨水调节PH值至8 11 ;在配置预混液的过程中始终用磁力转子或机械搅拌棒进行搅拌，以使水溶剂中添加剂混合均匀，得到预混液；(2)高固含量、低粘度浆料的球磨工艺在(I)制备的预混液中按不同固含量需求加入纯度大于99. 99%、平均粒径范围为0.08 3 μ m的ITO粉体，再于球磨机中进行湿磨；球磨后的ITO浆料固含量为85 90%，转速 20s4下的室温粘度值为112 295mPa · s ；(3)注浆后坯体的成型用(2)制备的高固含量ITO浆料于石膏模具中浇注成型，该石膏模具采用双面吸浆的方式，依靠模具中毛细孔的吸引力吸收掉浆料中的大部分水分而固化成型，期间需要不断补充浆料，直到体积基本不再变化为止；(4)坯体的脱模、干燥浆料浇注后于石膏模具中静置3 5h后即固化成型，成型后脱模；脱模后的坯体干燥后即得到高密度坯体。
2.根据权利要求1所述注浆成型高密度高强度ITO靶材坯体的制备方法，其特征是: 所述的聚丙烯酸类分散剂为D3021。
3.根据权利要求1所述注浆成型高密度高强度ITO靶材坯体的制备方法，其特征是所述的行星球磨采用20L球磨罐，所选用的球磨罐材质为玛瑙、尼龙或聚氨酯，球磨介质选为玛瑙球、氧化锆球或聚氨酯球；所选用的磨球直径为5 10mm，料球质量比范围为1.2:1 2:1 ;采用的球磨转速为10(T250r/min，球磨时间为10 40h。
4.根据权利要求1所述注浆成型高密度高强度ITO靶材坯体的制备方法，其特征是: 所述的ITO粉为电弧气化法ITO粉。
全文摘要
本发明介绍了一种注浆成型高密度高强度ITO靶材坯体的制备方法，预混液中水占粉体的11.1~17.6%；聚丙烯酸类分散剂为0.05~0.4%，并用氨水调节pH值至8~11；搅拌均匀后，加入ITO粉体进行湿磨；浆料于石膏模具中浇注成型，浆料浇注后于石膏模具中静置3~5h后即固化成型，成型后脱模；脱模后的坯体干燥后即得到高密度坯体。本发明制备的ITO浆料其粘度值为112~295mPa·s(室温，转速20s-1)，故其良好的流动性可使浇注过程顺利进行；ITO坯体干燥后密度达4.29~4.65g/cm3，相对密度为60~65%。
文档编号C04B35/457GK103044021SQ20121057930
公开日2013年4月17日 申请日期2012年12月28日 优先权日2012年12月28日
发明者杨硕, 王政红, 张秀勤 申请人:中国船舶重工集团公司第七二五研究所