一种硅片翻转冲洗装置的制作方法

文档序号:12170262阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及机械领域,尤其涉及一种硅片翻转冲洗装置。包含机架,所述机架上包含竖直的板状结构,该板状结构上可转安装有定位卡盘,所述定位卡盘中部一边包含把手,定位卡盘一边穿过板状结构为燕尾固定座,燕尾固定座中部包含一个夹持槽,还包含能套装在燕尾固定座的夹持槽中的燕尾座,所述燕尾座为上方的凸起,凸起和下方固定底盘之间能夹持在燕尾固定座中,固定底盘能放置硅片。有益效果:通过燕尾机构和转轴共同驱动硅棒旋转,使切割后的硅棒旋转90度,粘胶面将处于一侧,通过喷淋水自上而下进行冲洗,硅片间的砂浆尤其是粘胶面位置之前很难清洗的砂浆,将被彻底冲洗干净,降低硅片之间的砂浆残存,解决硅片清洗的脏污问题。

技术研发人员:王学军
受保护的技术使用者:平凉中电科新能源技术有限公司
文档号码:201620882256
技术研发日:2016.08.16
技术公布日:2017.03.08

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