感光性层叠体的制造装置的制作方法

专利名称：感光性层叠体的制造装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种感光性层叠体的制造装置，其将基板和在支承体上层
叠感光材料层而构成的感光性薄板(web)送出到一对压接辊之间，通过 将所述感光材料层粘贴到所述基板，从而制造感光性层叠体。
背景技术：
例如，在液晶面板用基板、印刷配线用基板、PDP用基板中，将 具有感光性树脂层(感光材料层)的感光性片体(感光性薄板)粘贴到 基板表面而构成。感光性片体在可挠性塑料支承体上依次层叠有感光性 树脂层和保护薄膜。
这种感光性片体的粘贴所使用的制造装置，通常采用如下方式，即， 使玻璃基板或树脂基板等基板离开规定间隔而输送，并且，对应于粘贴 在所述基板的感光性树脂层的范围，从所述感光性片体剥离保护薄膜。
例如，在日本特开平11-34280号公报所公开的制造装置中，如图 8所示，从薄膜辊1抽出的层叠体薄膜(感光性片体)la巻绕在导向辊 2a、 2b并沿水平的薄膜输送面延伸。在该导向辊2b安装有回转式编码 器3，该回转式编码器3输出与层叠体薄膜la的进给量对应数量的脉 冲信号。
沿水平的薄膜输送面延伸的层叠体薄膜la巻绕在吸入辊4上，并 且，在所述导向辊2b和所述吸入辊4之间设有半刀具(八一7力、;/夕) 装置5和保护薄膜剥离装置6。
半刀具装置5具有在层叠体薄膜la的输送方向上离开规定间隔的 一对圆盘刀具5a、 5b。圆盘刀具5a、 5b沿层叠体薄膜la的薄膜宽度 方向移动，从而将上述层叠体薄膜la的保护薄膜(未图示)中的剥离 部分和剩余部分这两个部位的分界部分与其背侧的感光性树脂层(未图 示) 一体地切断。保护薄膜剥离装置6在挤压辊8a、 8b之间将从粘接带辊7抽出的 粘接带7a用力压接到保护薄膜的剥离部分之后，被巻取辊9巻取。由 此，保护薄膜的剥离部分从感光性树脂层剥离并与粘接带7a —并巻取 于巻取辊9。
在吸入辊4的下游配置有一对被加热的层积辊12a、 12b，该层积 辊12a、 12b被加热器14加热到规定温度，在利用基板输送装置10以 规定间隔输送的多个基板11的上表面，重叠地压接保护薄膜的被剥离 的层叠体薄膜la的剥离部分。在该层积辊12a、 12b的下游侧配置有支 承薄膜巻取辊13。粘贴于基板11的透光性支承薄膜(未图示)在使感 光性树脂层残留于基板11的状态下与保护薄膜的剩余部分一并巻取在 支承薄膜巻取辊13。
但是，被加热器14加热的基板11在利用构成基板输送装置10的 输送辊15供给到层积辊12a、 12b之间时，如图9所示，若输送辊15 在与基板11的输送方向正交的方向上由长条状辊构成，则因基板11 和输送辊15的接触面积大，故基板11的热量被输送辊15夺去而导致 温度降低，恐怕不能得到层叠体薄膜la相对于基板11的合适的粘贴状 态。
因此，如图10所示，考虑代替长条状输送辊15，使用由圆盘形构 成的多个输送辊16输送基板11。此时，由于基板11和输送辊16的接 触面积变小，因此基板11的温度变化也变小。
但是，若与基板11的输送方向相邻的输送辊16排列于与输送方向 正交的方向的相同位置(参照虚线)，则由于输送辊16抵接的基板11 的温度比其周围的温度低，故导致在制造出的感光性层叠体上产生筋状 斑点。

发明内容
本发明的目的在于提供一种可以制造不存在斑点的高精度感光性 层叠体的感光性层叠体的制造装置。
另外，本发明的目的在于提供一种可以在不受温度不均影响的状态 下高精度地制造在基板上粘贴感光材料层而构成的感光性层叠体的感光性层叠体的制造装置。
并且，本发明的目的在于提供一种不会因输送基板或感光性层叠体 的输送辊的接触而导致产生温度不均的感光性层叠体的制造装置。
本发明的感光性层叠体的制造装置，其将在支承体上层叠感光材料 层而构成的感光性薄板送出到被加热了的一对压接辊之间，并且，将被 基板加热部加热了的基板以规定间隔送出到所述一对压接辊之间，通过 将所述感光材料层粘贴于所述基板而制造感光性层叠体，所述感光性层 叠体的制造装置的特征在于，具有多个基板输送辊，其配置于所述一 对压接辊的前段，将所述基板从所述基板加热部向所述一对压接辊之间 送出；多个粘贴基板输送辊，其配置于所述一对压接辊的后段，输送在 所述基板上粘贴了所述感光材料层的粘贴基板，其中，多个所述基板输 送辊及/或多个所述粘贴基板输送辊排列于所述基板的输送方向，并且， 在所述输送方向上至少相邻排列的所述基板输送辊及/或所述粘贴基板 输送辊在与所述输送方向正交的方向上错开位置地配置。
在本发明中，通过在与基板的输送方向正交的方向错开位置地配置 排列于压接辊前段的多个基板输送辊及/或排列于压接辊后段的多个粘 贴基板输送辊中的、在输送方向至少相邻排列的辊，从而可以抑制基板 输送辊及/或粘贴基板输送辊因在基板的相同位置接触而导致相对输送 方向的温度降低，可以制造不存在斑点的感光性层叠体。
基于与添加的附图结合的接下来的优选实施例的说明，更加明确上 述目的及其它目的、特点以及优点。 '


图1是本发明实施方式的制造装置的概略结构图； 图2是上述制造装置所使用的感光性薄板的剖视图； 图3是在上述感光性薄板粘接有粘接标签的状态的说明图； 图4是配置于基板输送机构和粘贴机构之间的基板输送辊群的立体结 构图5是图4所示的基板输送辊群的俯视结构图； 图6是构成基板输送辊群的基板输送辊的立体图；图7是构成基板输送辊群的基板输送辊的主视图； 图8是现有技术的制造装置的概略结构图； 图9是图8所示的输送辊的说明图10是图8所示的输送辊的其它结构的说明图。
具体实施例方式
图1是本发明实施方式的感光性层叠体的制造装置20的概略结构图， 在该制造装置20中，通过液晶或有机EL用滤色器等的制作工序，进行如 下作业，即，将感光性薄板22a、 22b的各感光性树脂层28 (后述)并列 地热转印到玻璃基板24上。感光性薄板22a、 22b分别设定为规定的宽度 尺寸。
图2是制造装置20所使用的感光性薄板22a、 22b的剖视图。该感光 性薄板22a、 22b通过层叠可挠性基体薄膜(支承体)26、感光性树脂层 (感光材料层)28以及保护薄膜30而构成。
如图l所示，制造装置20具有第一及第二薄板送出机构32a、 32b， 其收容将感光性薄板22a、 22b以辊状巻绕的两根(也可为两根以上)感 光性薄板辊23a、 23b，并能够从各感光性薄板辊23a、 23b同步地送出上 述感光性薄板22a、 22b;第一及第二加工机构36a、 36b，其在被送出的 各感光性薄板22a、 22b的保护薄膜30及感光性树脂层28上形成在宽度 方向可切断的边界位置即半切割部位34;第一及第二标签粘接机构40a、 40b，其将在一部分具有非粘接部38a的粘接标签38 (参照图3)与各保 护薄膜30粘接。
第一及第二标签粘接机构40a、 40b的下游配置有用于将各感光性 薄板22a、 22b从间歇式进给变更为连续进给的第一及第二存储机构42a、 42b;以规定的长度间隔使保护薄膜30从各感光性薄板22a、 22b剥离的 第一及第二剥离机构44a、 44b;将玻璃基板24在加热到规定温度的状态 下输送到粘贴位置的基板输送机构45;将因上述保护薄膜30的剥离而露 出的感光性树脂层28 —体且并列粘贴到上述玻璃基板24的粘贴机构46。
在粘贴机构46中的粘贴位置的上游附近配置有第一及第二检测机构 47a、 47b，该第一及第二检测机构47a、 47b检测各感光性薄板22a、 22b的边界位置即各个半切割部位34的位置。
在第一及第二薄板送出机构32a、 32b的下游附近分别配置有将大 致已经用完的感光性薄板22a、 22b的后端与重新使用的感光性薄板 22a、 22b的前端粘贴的粘贴台49。在粘贴台49的下游，为了控制因感 光性薄板辊23a、 23b的巻绕错位而导致宽度方向的错位配置有薄膜终 端位置检测器51。在此，薄膜终端位置检测器使第一及第二薄板送出 机构32a、 32b沿宽度方向移动而进行检测，但也可附带设置组合了辊 的位置调整机构而进行检测。另外，第一及第二薄板送出机构32a、 32b 也可将抽出轴构成为两轴或三轴等多轴，该抽出轴装填感光性薄板辊 23a、 23b并抽出感光性薄板22a、 22b。
第一及第二加工机构36a、 36b配置于辊对50的下游，该辊对50 用于算出在第一及第二薄板送出机构32a、 32b收容巻绕的各感光性薄 板辊23a、 23b的辊径。第一及第二加工机构36a、 36b分别具有单一的 圆刀刃52，该圆刀刃52在感光性薄板22a、 22b的宽度方向行进，从 而在隔着保护薄膜30的剩余部分30b (图2)的两个规定位置形成半切 割部位34。
如图2所示，半切割部位34至少需要切断保护薄膜30及感光性树 脂层28，实际上，圆刀刃52的切入深度设定为切入到基体薄膜26。圆 刀刃52采用如下两种方式形成半切割部位34， 一种为圆刀刃52在不 转动而固定的状态下，沿感光性薄板22a、 22b的宽度方向移动而形成 半切割部位34，另一种为圆刀刃52在上述感光性薄板22a、 22b上不 滑动而是边转动边沿上述宽度方向移动，从而形成上述半切割部位34。 该半切割部位34也可采用如下方式，即代替圆刀刃52，例如除使用激 光、超声波的切割方式之夕卜，使用刮刀刃(knifeedge)、切断刃(Thompson
edge)等形成半切割部位。
另外，第一及第二加工机构36a、 36b也可分别在感光性薄板22a、 22b的输送方向(箭头A方向)相距与剩余部分30b的宽度对应的距离 而配置两台，并隔着保护薄膜30的剩余部分30b (图2)而同时形成两 个半切割部位34。
在将感光性树脂层28粘贴到玻璃基板24时，半切割部位34例如设定为从上述玻璃基板24的两端部分别向内侧进入10mm的位置。另 外，玻璃基板24之间的保护薄膜30的剩余部分30b在后述粘贴机构 46中，作为将感光性树脂层28呈框状粘贴到上述玻璃基板24时的掩 模而起作用。
第一及第二标签粘接机构40a、 40b为了与玻璃基板24之间对应地 残留保护薄膜30的剩余部分30b，供给将剥离侧前方的剥离部分30aa 和剥离侧后方的剥离部分30ab连结的粘接标签38。如图2所示，保护 薄膜30隔着剩余部分30b，将先被剥离的部分作为前方的剥离部分 30aa，并且将后被剥离的部分作为后方的剥离部分30ab。
如图3所示，粘接标签38构成为长方形状，例如，由与保护薄膜 30相同的树脂材料构成。粘接标签38具有在中央部未涂敷粘接剂的非 粘接部(包括轻微粘接)38a，并且在该非粘接部38a的两侧即上述粘 接标签38的长度方向两端部具有与前方的剥离部分30aa粘接的第一粘 接部38b和与后方的剥离部分30ab粘接的第二粘接部38c。
如图1所示，第一及第二标签粘接机构40a、 40b分别具有能够将 最多七张粘接标签38离开规定间隔而粘贴的吸附盘54a 54g，并且在 由上述吸附盘54a 54g吸附的上述粘接标签38的粘贴位置配置有用于 从下方保持感光性薄板22a、 22b的承接台56，其升降自如。
为了吸收上游侧的感光性薄板22a、 22b的间歇式输送和下游侧的 上述感光性薄板22a、 22b的连续输送的速度差，第一及第二存储机构 42a、 42b具有沿箭头方向摆动自如的调节辊60。在第二存储机构42b 配置有调节辊61，该调节辊61用于将从第一及第二薄板送出机构32a、 32b送出的各感光性薄板22a、 22b到粘贴机构46的各输送路径长度调 整为相同。
配置于第-一及第二存储机构42a、 42b下游的第一及第二剥离机构 44a、 44b分别具有吸入辊62，该吸入辊62用于遮断感光性薄板22a、 22b送出侧的张力变动并使积层(laminate)时的张力稳定化。在各吸 入辊62的附近配置有剥离辊63，并且，经由该剥离辊63从感光性薄 板22a、 22b以锐角的剥离角被剥离的保护薄膜30除去剩余部分30b， 分别巻取在保护薄膜巻取部64。在第一及第二剥离机构44a、 44b的下游侧配置有包括张力辊65 的张力控制机构66a、 66b。张力控制机构66a、 66b分别具有汽缸68， 在上述汽缸68的驱动作用下，张力调节器70分别摆动并位移，从而可 以调整各张力调节器70滑动连接的感光性薄板22a、 22b的张力。
以构成粘贴机构46的橡胶辊80a、 80b的位置为基准，对半切割部 位34的位置进行检测的第一及第二检测机构47a、 47b配置于输送辊 73和输送辊71a、 71b之间的感光性薄板22a、 22b成为直线状的部分。 第一及第二检测机构47a、47b例如由对包括半切割部位34的感光性薄 板22a、 22b的图像进行摄影的CCD照相机构成。
基板输送机构45具有以夹持玻璃基板24的方式配置的多组基板 加热部(例如，加热器)74;将该玻璃基板24沿箭头C方向输送的输 送部76。在基板加热部74，始终监视玻璃基板24的温度，能够在产生 异常时，停止输送部76或发出警报，并且发出异常信息将异常的玻璃 基板24在后续工序中NG排出，灵活运用于品质管理或生产管理等。 在输送部76配置有未图示的气浮板(- ^浮上7 ^ —卜)，玻璃基板 24浮起并沿箭头C方向输送。玻璃基板24的输送也可以利用辊式输送 带进行。
玻璃基板24的温度测定优选在基板加热部74内或靠粘贴位置之前 的位置进行。作为测定方法，除接触式(例如，热电偶)测定方法之外， 也可为非接触式测定方法。
在基板加热部74的上游设有收容多个玻璃基板24的基板存储部 71。收容于该基板存储部71的各玻璃基板24被设于机械手75的手部 75a的吸附盘79吸附而取出，并被插入到基板加热部74。
粘贴机构46具有在上下方向配置并且被加热到规定温度的橡胶辊 (压接辊)80a、 80b。在橡胶辊80a、 80b滑动连接支承辊82a、 82b。 一侧的支承辊82b被构成辊夹持部83的加压汽缸84a、 84b向橡胶辊 80b侧挤压。
如图4及图5所示，在构成基板输送机构45的下游侧终端的基板 加热部74和粘贴机构46之间配置有将被加热了的玻璃基板24送出到 橡胶辊80a、 80b之间的四列基板输送辊群86a 86d。各基板输送辊群86a 86d具有在与玻璃基板24的输送方向(箭 头C方向)正交的方向上延伸的旋转轴87;轴支承于旋转轴87的规定 位置的多个基板输送辊S9。如图5所示，此时，构成基板输送辊群86a 86d的各基板输送辊89在与箭头C方向正交的方向上错开规定量而配 置，以使任一基板输送辊89在玻璃基板24的箭头C方向的相同位置 都不抵接。
如图6及图7所示，各基板输送辊89构成相对于旋转轴87延伸方 向的宽度变窄的圆盘形状，与玻璃基板24抵接的外周部91形成为在旋 转轴87的延伸方向上弯曲成大致圆弧状的形状，以使其与玻璃基板24 的接触面积减小。
玻璃基板24经由从粘贴机构46沿箭头C方向延伸的输送路径88 而被输送。在该输送路径88配置有对粘贴了感光性树脂层28的玻璃基 板24 (以下称为"粘贴基板24a")进行冷却的冷却机构122。在橡胶 辊80a、 80b和冷却机构122之间的输送路径配置有输送粘贴基板24a 的多个粘贴基板输送辊群93a 93n。各粘贴基板输送辊群93a 93n与 图4 图7所示的基板输送辊群86a 86d同样地构成，在与箭头C方 向正交的方向上错开规定量而配置，以使任一基板输送辊89在玻璃基 板24的箭头C方向的相同位置都不抵接。另外，相对于粘贴基板24a 的输送方向(箭头C方向)将粘贴基板输送辊群93a 93n分割为多块， 在各块内，也可以在与箭头C方向正交的方向上错开规定量而配置， 以使任一基板输送辊89在玻璃基板24的箭头C方向的相同位置都不 抵接。
在橡胶辊80a、 80b和冷却机构122之间的规定位置配置有检测玻 璃基板24的前端部的基板前端检测传感器94。当粘贴于玻璃基板24 的感光性树脂层28后端部的半切割部位34配置于粘贴机构46的橡胶 辊80a、 80b之间时，基板前端检测传感器94配置于检测玻璃基板24
的前端部的位置。
另外，在冷却机构122的下游设有基体自动剥离机构142a、 142b。 基体自动剥离机构142a、 142b从玻璃基板24连续地剥离粘贴于相距规 定间隔的各玻璃基板24的各感光性网22a、 22b的基体薄膜26，该基体自动剥离机构142a、 142b具有预先剥离部144、直径比较小的剥 离辊146、巻取轴148、自动粘贴机150。巻取轴148在驱动时进行转 矩控制并将规定的张力施加于基体薄膜26。预先剥离部144在玻璃基 板24之间具有可升降的剥离杆156。
在基体自动剥离机构142a、 142b的下游配置有测定实际粘贴于玻 璃基板24的感光性树脂层28的区域位置的测定器158。该测定器158 例如具有对粘贴有感光性树脂层28的玻璃基板24进行摄影的CCD照 相机160。
另外，在测定器158的下游设有收纳有多个感光性层叠体106的感 光性层叠体存储部132。利用基体自动剥离机构142a、 142b剥离基体 薄膜26及剩余部分30b后的感光性层叠体106，被设于机械手134的 手部134a的吸附垫136吸附而取出，并收容于感光性层叠体存储部 132。
在如上所述构成的制造装置20中，第一及第二薄板送出机构32a、 32b、第一及第二加工机构36a、 36b、第一及第二标签粘接机构40a、 40b、第一及第二存储机构42a、 42b、第一及第二剥离机构44a、 44b、 第一及第二张力控制机构66a、 66b隔开具有贯通孔114的隔壁110配 置于粘贴机构46的上部清洁室112a，另一方面，第一及第二检测机构 47a、 47b、粘贴机构46、冷却机构122、基体自动剥离机构142a、 142b、 测定器158配置于下部清洁室112b。另外，也可将配置于上部清洁室 112a及下部清洁室112b的各机构上下颠倒配置，另外，也可将上述制 造装置20整体呈直线状地构成。
接着，说明如上所述构成的制造装置20的动作。
首先，从安装于第一及第二薄板送出机构32a、 32b的各感光性薄 板辊23a、 23b送出感光性薄板22a、 22b。感光性薄板22a、 22b被输 送到第一及第二加工机构36a、 36b。
在第一及第二加工机构36a、 36b，圆刀刃52在感光性薄板22a、 22b的宽度方向移动，将上述感光性薄板22a、 22b从保护薄膜30—直 切入到感光性树脂层28甚至基体薄膜26，从而形成半切割部位34 (参 照图2)。并且，感光性薄板22a、 22b对应保护薄膜30的剩余部分30b的宽度M，沿箭头A方向输送后停止，在圆刀刃52的行进作用下形成
半切割部位34。由此，在感光性薄板22a、 22b隔着剩余部分30b设置 前方的剥离部分30aa和后方的剥离部分30ab (参照图2)。
另外，剩余部分30b的宽度M以感光性薄板22a、 22b不延伸为前 提，并以被供给到粘贴基板46的橡胶辊80a、 80b之间的玻璃基板24 之间的距离为基准进行设定。另外，以宽度M形成的一组半切割部位 34以粘贴于玻璃基板24的感光性树脂层28的基准长度的间隔形成于 感光性薄板22a、 22b。
接着，向第一及第二标签粘接机构40a、40b输送各感光性薄板22a、 22b，保护薄膜30的规定粘贴部位配置于承接台56上。在第一及第二 标签粘接机构40a、 40b中，规定张数的粘接标签38被吸附盘54b 54g 吸附保持，各粘接标签38跨过保护薄膜30的剩余部分30b， 一体地粘 接于前方的剥离部分30aa和后方的剥离部分30ab (参照图3)。
如图1所示，例如，粘接了七张粘接标签38的感光性薄板22a、 22b经由第一及第二存储机构42a、 42b而防止送出侧的张力变动之后， 被连续地输送到第一及第二剥离机构44a、 44b。在第一及第二剥离机 构44a、 44b中，感光性薄板22a、 22b的基体薄膜26被吸附保持于吸 入辊62，并且，保护薄膜30残留剩余部分30b，从上述感光性薄板22a、 22b被剥离。该保护薄膜30通过剥离辊63被剥离而在保护薄膜巻取部 64巻取(参照图1)。
在第一及第二剥离机构44a、 44b的作用下，保护薄膜30残留剩余 部分30b而从基体薄膜26被剥离后，感光性薄板22a、 22b利用张力控 制机构66a、 65b调整张力，接着，在第一及第二检测机构47a、 47b， 检测半切割部位34。
粘贴机构46以在被检测出的半切割部位34先进行的剥离部分 30ab侧的半切割部位34配置于橡胶辊80a、 80b的方式，输送感光性 薄板22a、 22b并使其停止。另一方面，基板输送机构45在利用各基板 加热部74将玻璃基板24加热到规定温度之后，经由终端的基板加热部 74和橡胶辊80a、 80b之间的基板输送辊群86a 86d,将玻璃基板24 输送到橡胶辊80a、 80b之间的粘贴位置。在此，如图4及图5所示，构成基板输送辊群86a 86d的基板输 送辊89在与箭头C方向正交的方向上错开地配置，以使其在玻璃基板 24的输送方向即箭头C方向的相同位置不抵接。此时，各基板输送辊 89的错开量既可以固定，或者也可以任意设定。另外，与玻璃基板24 抵接的基板输送辊89的外周部91形成为在旋转轴87的延伸方向上弯 曲成大致圆弧状的形状，以使其与玻璃基板24的接触面积减小。因此， 例如，通过将构成基板输送辊群86a的基板输送辊89与玻璃基板24 抵接，从而即便是该部分的温度稍微降低，由于构成与其连续的基板输 送辊群86b 86d的基板输送辊89不在玻璃基板24的同一部分抵接， 因此，因基板输送辊89而导致的温度降低的影响被抑制到最小限度。
另外，若因基板输送辊89而导致的玻璃基板24的温度降低在容许 范围内，则将在输送方向至少相邻排列的基板输送辊89的位置在与箭 头C方向正交的方向上错开地配置即可，不需要构成为使构成基板输 送辊群86a 86d的全部基板输送辊89的位置不配置于箭头C方向的 同一位置。另外，作为构成基板输送辊89的材料，选择热传导率低的 聚醚醚酮(PEEK)材料、聚砜(PSU)材料等，从而能够进一步减小 因基板输送辊89与玻璃基板24抵接而导致的温度降低的影响。
接着，通过使支承辊82b及橡胶辊80b上升，从而在橡胶辊80a、 80b之间以规定的按压力夹入玻璃基板24。另外，在橡胶辊80a的旋转 作用下，沿箭头C方向输送感光性薄板22a、 22b及玻璃基板24。其结 果是，并列的各感光性树脂层28被加热溶融，并被转印(积层)到玻 璃基板24。
另外，作为积层条件，速度为1.0m/min 10.0m/min、橡胶辊80a、 80b的温度为80。C 150。C、上述橡胶辊80a、80b的橡胶硬度为40度 90度、该橡胶辊80a、 80b的按压力(线压力)为50N/cm 400N/cm。
基板前端检测传感器94检测玻璃基板24的前端，若结束经由橡胶 辊80a、 80b在玻璃基板24上层叠一张感光性薄板22a、 22b，则上述 橡胶辊80a停止旋转。另外，橡胶辊80b向从橡胶辊80a离开的方向退 让，夹紧被解除，并且，构成输送路径88的粘贴基板输送辊群93a 93n的旋转开始，粘贴基板24a沿箭头C方向输送与保护薄膜30的剩余部分30b的宽度M对应的距离，保护薄膜30后方的剥离部分30ab 侧的半切割部位34移动到橡胶辊80a下方附近的规定位置。另一方面， 从基板输送机构45经由基板输送辊群86a 86d将下一个玻璃基板24 朝粘贴位置输送。通过反复进行以上动作，从而连续地制造粘贴基板 24a。
此时，粘贴基板24a的各个端部彼此被剩余部分30b覆盖。因此， 当感光性树脂层28转印到玻璃基板24时，橡胶辊80a、 80b不会被上 述感光性树脂层28污染。
另外，构成粘贴基板输送辊群93a 93n的基板输送辊89与基板输 送辊86a 86d同样地，在与箭头C正交的方向上错开地配置，以使其 在玻璃基板24的输送方向即箭头C方向的相同位置不抵接。此时，各 基板输送辊89的错开量既可以固定，或者也可以任意设定。因此，玻 璃基板24的因基板输送辊89而导致的温度降低的影响被抑制到最小限 度，粘贴基板24a在尽可能地维持为均匀温度的状态下，被供给到冷却 机构122。
另外，若因基板输送辊89而导致的玻璃基板24在温度降低在容许 范围内，则构成粘贴基板输送辊群93a 93n的基板输送辊89在输送方 向至少相邻排列的基板输送辊89的位置在与箭头C方向正交的方向上 错开地配置即可，不需要构成为使全部基板输送辊89的位置不配置于 箭头C方向的同一位置。另外，在构成基板输送辊群86a 86d及粘贴 基板输送辊群93a 93n的基板输送辊89之间，也可以将在输送方向至 少相邻排列的基板输送辊89的位置在与箭头C方向正交的方向上错开 地配置。作为构成基板输送辊89的材料，可以选择热传导率低的PEEK 材料、PSU材料等。
供给到冷却机构122而被冷却的粘贴基板24a被移送到预先剥离部 144。在该预先剥离部144，剥离杆156进入(臨入)玻璃基板24之间 并上升，由此，玻璃基板24之间的保护薄膜30被举起从相邻的玻璃基 板24的后端及前端剥离。
接着，在基体自动剥离机构142a、 142b，在巻取轴148的旋转作 用下，基体薄膜26从粘贴基板24a连续地巻取。并且，在因故障停止的切断分离或不合格件分离时的切断后，重新开始积层处理的粘贴基板
24a的基体薄膜26的前端与巻取到巻取轴148的基体薄膜26的后端， 经由自动粘贴机150自动粘贴。.
基体薄膜26被剥离的粘贴基板24a配置于与测定器158对应的检 测位置。在该检测位置，在玻璃基板24被定位且固定的状态下，利用 四台CCD照相机160获取玻璃基板24和感光性树脂层28的图像。接 着，通过进行图像处理，从而运算粘贴位置。
感光性树脂层28的粘贴位置被确认的粘贴基板24a被机械手134 取出，并作为感光性层叠体106收容于感光性层叠体存储部132。
另外，在上述实施例中，通过如图4及图5所示构成在橡胶辊80a、 80b的前后配置的基板输送辊群86a 86d、 93a 93n，来抑制层叠前后 的玻璃基板24的温度不均，但根据温度不均的容许范围，也可仅基板 输送辊群86a 86d或93a 93n中的任一方如图4及图5所示地构成。
另外，虽然使用两根感光性薄板辊23a、 23b，但并不限于此，也 可以采用一根感光性薄板辊或三根以上的感光性薄板辊。
并且，也可以代替由基体自动剥离机构142a、 142b连续地剥离可 挠性基体薄膜26而制造感光性层叠体106，而如下制造感光性层叠体 106，即，利用冷却机构122冷却粘贴基板24a后，切断分离粘贴基板 24a之间，从分离了的各粘贴基板24a剥离可挠性基体薄膜26而制造 感光性层叠体106。
权利要求
1. 一种感光性层叠体的制造装置，其将在支承体(26)上层叠感光材料层(28)而构成的感光性薄板(22a、22b)送出到被加热了的一对压接辊(80a、80b)之间，并且，将被基板加热部(74)加热了的基板(24)以规定间隔送出到所述一对压接辊(80a、80b)之间，通过将所述感光材料层(28)粘贴于所述基板(24)而制造感光性层叠体(106)，所述感光性层叠体的制造装置(20)的特征在于，具有多个基板输送辊(89)，其配置于所述一对压接辊(80a、80b)的前段，将所述基板(24)从所述基板加热部(74)向所述一对压接辊(80a、80b)之间送出；多个粘贴基板输送辊(89)，其配置于所述一对压接辊(80a、80b)的后段，输送在所述基板(24)上粘贴了所述感光材料层(28)的粘贴基板(24a)，其中，多个所述基板输送辊(89)及/或多个所述粘贴基板输送辊(89)排列于所述基板(24)的输送方向，并且，在所述输送方向上至少相邻排列的所述基板输送辊(89)及/或所述粘贴基板输送辊(89)在与所述输送方向正交的方向上错开位置地配置。
2. 根据权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于， 所述基板输送辊(89)及/或所述粘贴基板输送辊(89)构成圆盘形状。
3. 根据权利要求2所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于， 所述基板输送辊(89)及/或所述粘贴基板输送辊(89)的与所述基板(24)抵接的外周部构成为在与所述输送方向正交的方向上弯曲成 大致圆弧状的形状。
4. 根据权利要求l所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于， 在所述粘贴基板输送辊(89)的后段配置有冷却所述粘贴基板(24a)的冷却机构(122)。
5. 根据权利要求l所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于， 所述基板(24)由玻璃构成。
6. 根据权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，所述基板输送辊(89)及/或所述粘贴基板输送辊(89)由聚醚醚酮材料构成。
7. 根据权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于， 所述基板输送辊(89)及/或所述粘贴基板输送辊(89)由聚砜材料构成。
全文摘要
本发明涉及一种感光性层叠体的制造装置，该制造装置具有配置于一对压接辊(80a、80b)的前段且将基板(24)从基板加热部(74)向所述一对压接辊(80a、80b)之间送出的多个基板输送辊(89)；配置于所述一对压接辊(80a、80b)的后段且将在所述基板(24)上粘贴有感光材料层(28)的基板(24a)输送的多个粘贴基板输送辊(89)，其中，多个所述基板输送辊(89)及/或多个所述粘贴基板输送辊(89)排列于所述基板(24)的输送方向，并且在所述输送方向至少相邻排列的所述基板输送辊(89)及/或所述粘贴基板输送辊(89)，在与所述输送方向正交的方向上错开位置地配置。
文档编号B32B37/06GK101544092SQ200910127
公开日2009年9月30日 申请日期2009年3月25日 优先权日2008年3月25日
发明者关口健, 山田笃利, 森元秀幸, 泽原真吾, 玉置昭裕, 秋好宽和, 高梨宏 申请人:富士胶片株式会社