真空贴合设备的制作方法

文档序号:2476262阅读:186来源:国知局
专利名称:真空贴合设备的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种贴合设备,特别是涉及一种真空贴合设备。
背景技术
在TFT-IXD行业的封装工艺中,通常采用真空贴合设备将涂布kalant的上基板和滴有LC的下基板在真空条件下进行对位贴合,从而得到贴合基板。真空贴合设备通常包括固定于基座上的下基台和与下基台配合的上基台。上基台中心部设有上腔室,上腔室内安装有上吸附基板;下基台中心部设有下腔室,下腔室内安装有下吸附基板,当真空贴合设备工作时,上基台在动力系统的带动下慢慢落下,与下基台紧密贴合,上腔室与下腔室对合形成用以提供真空环境的密封腔室。在腔室内的真空环境下,由上吸附基板、下吸附基板分别吸附工件,完成贴合工作。日常生产中,上腔室与下腔室需要经常维护。当维护下腔室时,需将上基台升起, 并用支撑柱对上基台进行支撑,防止其落下。现有技术中的支撑柱均与上下基台分离,需要使用时,由操作人员将支撑柱从操作侧的支撑柱存放位置取出,搬送到下基台指定位置,再固定安装。由于支撑柱体积较大,搬送中容易擦伤上基台的上吸附基板,损伤上吸附基板上的精细电路,降低上吸附基板的吸附能力,给生产造成不必要的损失。同时支撑柱多为金属材质,相对较重,搬送过程容易从操作人员手中脱落,对操作人员造成伤害。

实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种支撑上基台操作简单、安全的真空贴合设备。本实用新型的真空贴合设备,包括下基台和上基台,所述下基台上安装有支撑体, 所述支撑体的一端为连接部,所述支撑体的另一端为支撑部,所述连接部可旋转连接于所述下基台,所述连接部旋转至初始位置,所述支撑部低于所述下基台上表面,所述连接部旋转至工作位置,所述支撑部高于所述下基台上表面以支撑所述上基台。本实用新型的真空贴合设备,其中,所述下基台上表面设置有安装槽,所述支撑体的连接部可旋转连接于所述安装槽内。本实用新型的真空贴合设备,其中,所述支撑体上远离可旋转连接点的一端开有螺孔,所述螺孔内设置有螺栓,所述支撑部为所述螺栓,所述螺栓上套有用于固定所述螺栓与所述螺孔的紧固螺母。本实用新型的真空贴合设备,其中,所述支撑体还包括把手,所述连接部旋转至工作位置时,所述把手位于所述下基台上表面之上且与所述下基台上表面接触。本实用新型的真空贴合设备,其中,所述安装槽为四个,所述下基台的前边的上表面开有两个所述安装槽,所述前边的上表面的两个所述安装槽以所述下基台的纵向中轴线为轴左右对称,所述下基台的左边的上表面、所述下基台的右边的上表面分别开有一个所述安装槽,所述下基台的左边的上表面的所述安装槽、所述下基台的右边的上表面的所述安装槽以所述下基台的纵向中轴线为轴左右对称,所述四个安装槽内分别安装有所述支撑体。本实用新型的真空贴合设备,其中,所述连接部可旋转连接于所述下基台的外侧表面。本实用新型的真空贴合设备,其中,所述下基台的外侧表面上设置有连接部螺栓, 所述连接部上设置有连接部螺孔,所述连接部螺栓与所述连接部螺孔配合,所述支撑体可围绕所述连接部螺栓旋转。本实用新型的真空贴合设备,其中,所述下基台的外侧表面上固定有用于限制所述支撑体的限位螺栓,所述支撑体上设置有与所述限位螺栓配合的限位槽,所述连接部旋转至所述初始位置,所述限位槽与所述限位螺栓配合。本实用新型的真空贴合设备,其中,支撑体上设置有向所述下基台的外侧弯曲的曲折部,所述连接部旋转至工作位置时,所述曲折部面向所述连接部螺栓的一边位于所述下基台的上表面之上且与所述下基台的上表面接触。本实用新型的真空贴合设备,其中,所述支撑体分别通过所述连接部螺栓安装于所述下基台的前边的外侧表面上、所述下基台的左边的外侧表面上、所述下基台的右边的外侧表面上,所述下基台的前边的外侧表面上、所述下基台的左边的外侧表面上、所述下基台的右边的外侧表面上分别固定有用于限制所述支撑体的所述限位螺栓。当对本实用新型的真空贴合设备进行维护时,转动下基台上的支撑体,使连接部由初始位置旋转到工作位置,即可实现对上基台的支撑,由此避免了搬送操作中对设备可能造成的损伤,且不需要操作人员远距离搬运支撑柱,安全可靠,提高了工作效率。

图1为本实用新型的真空贴合设备的第一种实施例的结构示意图;图2为图1中下基台的结构示意图的俯视图;图3为图1中下基台的结构示意图的主视图,示出了支撑体工作时的结构;图4为本实用新型的真空贴合设备的第一种实施例中的支撑体的主视图;图5为图4的左视图;图6为本实用新型的真空贴合设备的第二种实施例中下基台的结构示意图的俯视图;图7为图6的主视图,示出了支撑体工作时的结构;图8为图6的A局部放大图;图9为图7中的支撑体的主视图。
具体实施方式
实施例一如图1所示,本实用新型的真空贴合设备包括固定于基座上的下基台1和与下基台1配合的上基台2。上基台2中心部设有上腔室9,上腔室9内安装有上吸附基板8,下基台1中心部设有下腔室3,下腔室3内安装有下吸附基板7。结合图2所示,下基台1包括下腔室3左右方的左边11、右边12及下腔室3前后方的前边18、后边19。下基台1上安装有支撑体21,支撑体21的一端为连接部,支撑体21的另一端为支撑部,支撑体21的连接部可旋转连接于下基台1,支撑体21的连接部旋转至初始位置,支撑体21的支撑部低于下基台1上表面,支撑体21的连接部旋转至工作位置,支撑体21的支撑部高于下基台上表面以支撑上基台2。下基台的前边18的上表面分别开有两个安装槽16。左边11的上表面、右边12的上表面分别开有安装槽16。前边18的上表面的两个安装槽16以下基台1的纵向中轴线为轴左右对称。下基台1的左边11的上表面的安装槽16、下基台1的右边12的上表面的安装槽16以下基台1的纵向中轴线为轴左右对称。四个安装槽16内分别安装有支撑体21。结合图4、图5所示,支撑体21的连接部开有贯穿支撑体21的小孔。通过此小孔并利用铆钉,支撑体21的连接部可旋转连接于安装槽16内部。支撑体21的远离可旋转连接点的一端开有螺孔23。螺孔23内设有用于支撑的螺栓M。螺栓M上套有用于固定螺栓M与螺孔23的紧固螺母四。螺栓M即为本实施例中的用于支撑上基台2的支撑部。 支撑体21包括弓形的把手22,支撑体21的连接部旋转至工作位置时,把手22位于下基台 1的上表面之上且与下基台1的上表面接触。为保证上下基台2、1的紧密贴合,当支撑体21放倒于安装槽16内时,也就是连接部位于初始位置时,螺栓M及把手22的高度应低于下基台1的上表面。当本实用新型真空贴合设备工作时,上基台2在动力系统的带动下慢慢落下,与下基台1紧密贴合,下基台1的下腔室3与上基台2中心的上腔室9形成用以提供真空环境的腔室。在腔室内的真空环境下,由上吸附基板8、下吸附基板7分别吸附工件,完成贴合工作。结合图3所示,当对下基台1的下腔室3维护时,将上基台2升起,用手握住把手 22,将支撑体21旋转竖起,然后旋转螺栓M,使其上升至适当高度,再利用紧固螺母四锁住螺栓对。这时,作为支撑部的螺栓M位于工作位置。利用多个螺栓M的向上平面就可以快速便捷实现对上基台2的支撑。当维护结束,分别将螺栓M收回支撑体21内,分别将支撑体21旋转放倒,使其收回各自的安装槽内,本实用新型真空贴合设备又可以正常工作。实施例二本实施例同实施例一的区别是下基台1上安装了不同的支撑体。如图6所示,本实施例的真空贴合设备的下基台1的前边18的外侧表面安装有两个支撑体30。下基台1的左边11的外侧表面、右边12的外侧表面分别可旋转连接一个支撑体30。支撑体30的一端为连接部,支撑体30的另一端为支撑部,支撑体30的连接部可旋转连接于下基台1,支撑体30的连接部旋转至初始位置,支撑体30的支撑部低于下基台 1上表面,支撑体30的连接部旋转至工作位置,支撑体30的支撑部高于下基台上表面以支撑上基台2。结合图8、图9所示,下基台1的外侧表面上设置有连接部螺栓37,支撑体30的连接部上设置有连接部螺孔,连接部螺栓37与连接部螺孔配合,支撑体30可围绕所述连接部螺栓37旋转。下基台1的外侧表面上固定有用于限制支撑体30的限位螺栓36,支撑体30 上设置有与限位螺栓37配合的限位槽51,当支撑体30的连接部旋转至初始位置,限位槽 51与限位螺栓36配合。支撑体30上设置有向下基台1的外侧弯曲的曲折部52,连接部旋转至工作位置时,曲折部52面向连接部螺栓37的一边53位于下基台1的上表面之上且与下基台1的上表面接触。支撑体30分别通过连接部螺栓37安装于下基台1的前边18的外侧表面上、下基台1的左边11的外侧表面上、下基台1的右边12的外侧表面上,下基台1的前边18的外侧表面上、下基台1的左边11的外侧表面上、下基台1的右边12的外侧表面上分别固定有限位螺栓36。结合图7所示,当对下基台1的下腔室3维护时,将上基台2升起,支撑体30旋转 90度,然后沿连接部螺栓37轻推,使曲折部52卡在下基台1的上表面上,曲折部52面向连接部螺栓37的一边53位于下基台1的上表面之上且与下基台1的上表面接触。支撑体30 的支撑部向上伸出。利用四个支撑部的向上平面就可以快速便捷实现对上基台2的支撑。当维护结束,分别将支撑体30旋转放倒,使支撑体30的支撑部低于下基台1的上表面,即连接部旋转至初始位置。本实用新型的真空贴合设备又可以正常工作。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种真空贴合设备,包括下基台(1)和上基台O),其特征在于,所述下基台(1)上安装有支撑体,所述支撑体的一端为连接部,所述支撑体的另一端为支撑部,所述连接部可旋转连接于所述下基台(1),所述连接部旋转至初始位置,所述支撑部低于所述下基台(1) 上表面,所述连接部旋转至工作位置,所述支撑部高于所述下基台上表面以支撑所述上基台⑵。
2.根据权利要求1所述的真空贴合设备,其特征在于,所述下基台(1)上表面设置有安装槽(16),所述支撑体的连接部可旋转连接于所述安装槽(16)内。
3.根据权利要求2所述的真空贴合设备,其特征在于,所述支撑体上远离可旋转连接点的一端开有螺孔(23),所述螺孔内设置有螺栓(M),所述支撑部为所述螺栓(M), 所述螺栓04)上套有用于固定所述螺栓04)与所述螺孔的紧固螺母09)。
4.根据权利要求3所述的真空贴合设备,其特征在于,所述支撑体还包括把手(22),所述连接部旋转至工作位置时,所述把手位于所述下基台上表面之上且与所述下基台上表面接触。
5.根据权利要求4所述的真空贴合设备,其特征在于,所述安装槽(16)为四个,所述下基台的前边(18)的上表面开有两个所述安装槽(16),所述前边(18)的上表面的两个所述安装槽(16)以所述下基台⑴的纵向中轴线为轴左右对称,所述下基台⑴的左边(11) 的上表面、所述下基台(1)的右边(1 的上表面分别开有一个所述安装槽(16),所述下基台⑴的左边(11)的上表面的所述安装槽(16)、所述下基台⑴的右边(12)的上表面的所述安装槽(16)以所述下基台(1)的纵向中轴线为轴左右对称,所述四个安装槽(16)内分别安装有所述支撑体。
6.根据权利要求1所述的真空贴合设备,其特征在于,所述连接部可旋转连接于所述下基台(1)的外侧表面。
7.根据权利要求6所述的真空贴合设备,其特征在于,所述下基台(1)的外侧表面上设置有连接部螺栓,所述连接部上设置有连接部螺孔,所述连接部螺栓与所述连接部螺孔配合,所述支撑体可围绕所述连接部螺栓旋转。
8.根据权利要求7所述的真空贴合设备,其特征在于,所述下基台(1)的外侧表面上固定有用于限制所述支撑体的限位螺栓(36),所述支撑体上设置有与所述限位螺栓(36)配合的限位槽,所述连接部旋转至所述初始位置,所述限位槽与所述限位螺栓(36)配合。
9.根据权利要求8所述的真空贴合设备,其特征在于,支撑体上设置有向所述下基台 (1)的外侧弯曲的曲折部,所述连接部旋转至工作位置时,所述曲折部面向所述连接部螺栓的一边位于所述下基台(1)的上表面之上且与所述下基台(1)的上表面接触。
10.根据权利要求9所述的真空贴合设备,其特征在于,所述支撑体分别通过所述连接部螺栓安装于所述下基台(1)的前边(18)的外侧表面上、所述下基台(1)的左边(11)的外侧表面上、所述下基台(1)的右边(1 的外侧表面上,所述下基台(1)的前边(18)的外侧表面上、所述下基台(1)的左边(11)的外侧表面上、所述下基台(1)的右边(1 的外侧表面上分别固定有用于限制所述支撑体的所述限位螺栓(36)。
专利摘要本实用新型提供了一种真空贴合设备,包括下基台和上基台,下基台上安装有支撑体,支撑体的一端为连接部,支撑体的另一端为支撑部,连接部可旋转连接于所述下基台,连接部旋转至初始位置,支撑部低于所述下基台上表面,连接部旋转至工作位置,支撑部高于所述下基台上表面以支撑所述上基台。当对本实用新型的真空贴合设备进行维护时,转动下基台上的支撑体,使连接部由初始位置旋转到工作位置,即可实现对上基台的支撑,由此避免了搬送操作中对设备可能造成的损伤,且不需要操作人员远距离搬运支撑柱,安全可靠,提高了工作效率。
文档编号B32B43/00GK202045971SQ20112009541
公开日2011年11月23日 申请日期2011年4月1日 优先权日2011年4月1日
发明者刘亮, 杨国波 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 成都京东方光电科技有限公司
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