真空贴合设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种真空贴合设备。
【背景技术】
[0002]在TFT-1XD行业的封装工艺中，通常采用真空贴合设备(Vacuum Aligner System，简称VAS)将涂布Sealant (密封剂)的上基板玻璃和涂布LC (液晶)的下基板玻璃在真空条件下进行对位贴合，从而得到贴合基板。
[0003]如图1所示，真空贴合设备通常包括固定于基座上的下基台20和与下基台20配合的上基台10。上基台10中心部设有上腔室11，上腔室11内安装有上吸附基板12 (Table)，上吸附基板12上设置有可上下移动的多个吸附杆13 (Support Pad);下基台20中心部设有下腔室21，下腔室21内安装有下吸附基板22，下吸附基板22上设置有可上下移动的支撑杆23。
[0004]如图1和图2所示，当真空贴合设备工作时，首先，机械手40的牙叉伸入真空贴合设备内，真空贴合设备的上基台10上的吸附杆13从机械手40 (Robot Hand)上受取涂布Sealant的上基板玻璃50，吸附杆再上移将上基板玻璃50移至上吸附基板12的表面，然后，通过上吸附基板12的真空吸附将上基板玻璃50固定在上吸附基板12的表面；然后，通过机械手40将涂布LC的下基板玻璃置于支撑杆上，支撑杆再下移将下基板玻璃移至下吸附基板22的表面，然后通过下吸附基板22的真空吸附将下基板玻璃固定在下吸附基板22的表面；上基台10在动力系统的带动下慢慢落下，与下基台20紧密贴合，完成贴合工作。
[0005]目前现有的真空贴合设备存在着以下问题:
[0006]如图2所示，在机械手40 (Robot Fork)的牙叉伸进设备内时，因牙叉以及上基板玻璃重力原因，机械手40的牙叉前端会有向下弯曲的现象，导致上基台10的吸附杆在真空吸取上基板玻璃50时会发生偏移，从而影响真空贴合设备的贴合精度；另外，由于自身重量原因，机械手40的牙叉在伸进设备内时，会有一定时间颤动，待其稳定需要几秒时间，增加了额外单件工时(Tact Time)。
【发明内容】
[0007]本发明的目的在于提供一种真空贴合设备，其能够保证吸附杆吸取基板时的平整度，提高贴合精度，并减少单件工时。
[0008]本发明所提供的技术方案如下:
[0009]一种真空贴合设备，用于从机械手受取待贴合基板后，将待贴合基板进行贴合；所述真空贴合设备包括:
[0010]相对设置的两基台；
[0011]以及用于从机械手受取待贴合基板时，对机械手的伸入至两基台之间的部分进行支撑，以使机械手上吸附的待贴合基板保持水平的支撑部件，所述支撑部件设置于至少一基台上。
[0012]进一步的，所述支撑部件可移动地设置于至少一基台上，具有第一状态和第二状态，
[0013]在所述第一状态，所述支撑部件移动至两基台的相对的两表面之间，以对机械手的伸入至两基台之间的部分进行支撑，使机械手上吸附的待贴合基板保持水平；
[0014]在所述第二状态，所述支撑部件移动至两基台的相对的两表面之间的区域之外，以使两基台能够相对靠近而将待贴合基板贴合。
[0015]进一步的，所述基台包括第一端和与所述第一端相对的第二端，其中机械手自所述基台第一端伸入两基台之间，所述支撑部件设置在所述基台的第二端。
[0016]进一步的，所述支撑部件包括:
[0017]用于支撑机械手的伸入至两基台之间的部分的支撑部；
[0018]以及活动连接于基台上，用于移动所述支撑部的移动部。
[0019]进一步的，所述支撑部为一框架结构，具有用于供机械手的伸入至两基台之间的部分插入的中空区。
[0020]进一步的，所述移动部包括:一端与所述支撑部固定，另一端可移动地设置于基台上的至少一个连接杆，所述连接杆能够在垂直于基台的表面的方向上进行往复运动，并在所述第一状态时，带动所述支撑部移动至两基台的相对的两表面之间，在所述第二状态时，带动所述支撑部移动至两基台的相对的两表面之间的区域之外。
[0021]进一步的，所述两基台包括第一基台和位于所述第一基台下方的第二基台，其中，
[0022]所述第一基台的表面上可移动地设置有用于吸附从机械手受取的待贴合基板，并在垂直于基台的表面的方向上进行往复运动的多个吸附杆；
[0023]所述第二基台的表面上设置有用于支撑从机械手受取的待贴合基板，并在垂直于基台的表面的方向上进行往复运动的多个支撑杆。
[0024]进一步的，所述连接杆设置于所述第一基台上，并与所述吸附杆通过同一驱动机构驱动进行往复运动。
[0025]进一步的，所述连接杆设置于所述第二基台上。
[0026]本发明的有益效果如下:
[0027]本发明所提供的真空贴合设备，通过设置一支撑部件，可以在从机械手受取待贴合基板时，对机械手的伸入至两基台之间的部分(如牙叉)进行支撑，一方面，使得机械手上吸附的待贴合基板保持水平，从而保证基台上的吸附杆吸取待贴合基板时的待贴合基板的平整度，减少基台从机械手受取待贴合基板时待贴合基板的偏移量，提高贴合精度，另一方面，还可以使得伸入至基台之间的机械手能够快速达到稳定状态，减少机械手伸入设备后的稳定时间，从而减少单件工时(Tact Time)。
【附图说明】
[0028]图1表示现有技术中的真空贴合设备的结构示意图；
[0029]图2表示机械手的牙齿由于重力原因发生弯曲的示意图；
[0030]图3表示本发明所提供的一种实施例中的真空贴合设备的结构示意图。
[0031]图4表示图3的侧视图。
【具体实施方式】
[0032]以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
[0033]针对现有技术中真空贴合设备在从机械手受取待贴合基板时机械手的伸入至基台之间的部分由于重力原因而发生弯曲和颤动，从而影响贴合精度以及增加额外单件工时的技术问题，本发明提供了一种真空贴合设备，其能够提高贴合精度，并减少单件工时。
[0034]本发明所提供的真空贴合设备，用于从机械手受取待贴合基板后，将待贴合基板进行贴合。如图3和图4所示，所述真空贴合设备包括:
[0035]相对设置的两基台100，每一基台100包括用于吸附固定待贴合基板的表面，且两基台100的表面相对；
[0036]以及支撑部件200，所述支撑部件200设置于至少一基台100上，用于从机械手400受取待贴合基板500时，对机械手400的伸入至两基台100之间的部分进行支撑，以使机械手400上吸附的待贴合基板500保持水平。
[0037]本发明所提供的真空贴合设备，通过设置一支撑部件200，可以在从机械手400受取待贴合基板500时，对机械手400的伸入至两基台100之间的部分(如:机械手400的牙叉)进行支撑，一方面，使得机械手400上吸附的待贴合基板500保持水平，从而能够保证基台100在吸取待贴合基板500时，待贴合基板500处于水平状态，从而减少基台100从机械手400受取待贴合基板500时待贴合基板500的偏移量，提高贴合精度，另一方面，还可以使得机械手400的伸入至基台100之间的部分能够快速达到稳定状态，从而减少机械手400伸入设备后的稳定时间，减少单件工时(Tact Time)。
[0038]在本发明中，当机械手400的伸入至两基台100之间的部分(如:机械手400的牙叉)长度足够(能够自基台100的一端伸入两基台100之间，并从基台100的另一端伸出两基台100的相对的两表面之间的区域之外)时，所述支撑部件200可以直接设置在两基台100的相对的两表面之间的区域以外的位置，而不会妨碍从机械手400受取待贴合基板500之后两基台100相对靠近。然而，机械手400的伸入至两基台100之间的部分长度越大，越容易由于重力原因而发生弯曲，因此，通常机械手400的伸入至两基台100之间的部分的长度与待贴合基板500的长度相匹配，这样，在从机械手400受取待贴合基板500时，支撑部件200需位于两基台100的相对的两表面之间，以支撑机械手400的伸入至两基台100之间的部分，但是这样支撑部件200在两基台100相对靠近时会对基台100产生干涉，而妨碍基台100的运动。
[0039]因此，为了避免支撑部件200妨碍基台100的运动，在本发明所提供的实施例中，优选的，所述支撑部件200可移动地设置于至少一基台100上，具有第一状态和第二状态，其中，
[0040]在所述第一状态，所述支撑部件200移动至两基台100的相对的两表面之间，以对机械手400的伸入至两基台100之间的部分进行支撑，使机械手400上吸附的待贴合基板500保持水平；
[0041]在所述第二状态，所述支撑部件200移动至两基台100的相对的两表面之间的区域之外，以使两基台100能够相对靠近而将待贴合基板500贴合。
[0042]采用上述方案，支撑部件200能够移动，在从机械手400受取待贴合基板500时(即第一状态时)，支撑部件200可以移动至两基台100的相对的两表面之间，以对机械手400的伸入至两基台100之间的部分进行支撑，而当从机械手400受取待贴合基板500完成之后(即第二状态时)，支撑部件200可以移动至两基台100的相对的两表面之间的区域以外的位置，以使得两基台100相对靠近而将两基台100表面上的待贴合基板500进行贴合时，该支撑部件200不会与基台100产生干涉。
[0043]此外，通常，机械手400的伸入至两基台100之间的部分(牙叉)的前端更容易因重力作用会发生弯曲以及颤动现象，因此，在本发明的实施例中，优选的，如图所示，所述基台100包括第一端和与所述第一端相对的第二端，其中机械手400自所述基台100第一端伸入两基台100之间，且所述支撑部件200设置在所述基台100的第二端。
[0044]采用上述方案，将支撑部件200至少设置在基台100的第二端，即，支撑部件200设置在机械手400的伸入至两基台100之间的部分的前端所对应的位置，用于对机械手400的伸入至两基台100之间的部分的前端进行支撑。应当理解的是，在实际应用中，所述支撑部件200也可以设置在其他位置，在此仅是提供了一种支撑部件200的优选设置位置，但并不对支撑部件200的具体设置位置进行局限。
[0045]在本发明所提供的实施例中，优选的，如图3和图4所示，所述支撑部件200包括:
[0046]用于支