感光性树脂组合物、显示面板用间隔物和显示面板的制作方法

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专利名称:感光性树脂组合物、显示面板用间隔物和显示面板的制作方法
技术领域
本发明涉及感光性树脂组合物、显示面板用间隔物和显示面板。更详细地说,涉及适合作为用于形成液晶显示面板、触摸面板等显示面板中使用的间隔物的材料的感光性树脂组合物,由该组合物形成的显示面板用间隔物和具备该间隔物的显示面板。
背景技术
以往,为了保持一定的2片基板间的间隔(液晶单元间隙),液晶显示面板中使用具有规定的粒径的玻璃珠、塑料珠等间隔物粒子,但是由于这些间隔物粒子随机地散布于玻璃基板等透明基板上,因此如果在像素形成区域上存在间隔物粒子,则具有发生间隔物粒子的摄入现象(写り込み現象)、或入射光受到散射而液晶面板的对比度下降的问题。
因此,为了解决这些问题,采用了通过光刻法形成间隔物的方法。该方法是在基板上涂布感光性树脂组合物,通过规定的掩模曝光紫外线后显影,形成点状、条状的间隔物,由于仅在像素形成领域以外的规定的场所形成间隔物,因此基本能解决上述问题。
在液晶显示面板的制造中,考虑到提高生产率、适应于大型画面,正在进行基板尺寸的大型化。基板尺寸经过300mm×400mm的第一代、370mm×470mm的第二代、620mm×750mm的第三代、960mm×1100mm的第四代,现在1,100mm×1,300mm的第五代成为主流。今后基板尺寸将进一步向1,500mm×1,850mm的第六代、1,850mm×2,100mm的第七代大型化。
基板尺寸小,例如为370mm×470mm以下时,感光性树脂组合物被滴加在基板上中央,通过旋涂法涂布。在该方法中,涂布需要大量的感光性树脂组合物溶液,具有无法适应于更大型基板的缺点。
基板尺寸为960mm×1,100mm以下时,为了节省感光性树脂组合物溶液,通过刮刀式旋转(slit&spin)法进行涂布。该方法是从缝隙喷嘴将感光性树脂组合物溶液涂布在基板上,之后旋转基板,由此形成均匀的涂膜。该方法虽然有节省溶液的效果,但是难于适应于第五代以后的基板尺寸。
在这种背景下,伴随着基板尺寸的大型化,开始进行利用缝模涂布机(slit die coater)的涂布。但是,缝模涂布机的情况下,为了获得良好的涂布膜,选择溶剂的种类是重要的。如果使用树脂溶解性差的溶剂,则保存稳定性恶化。而使用高沸点溶剂,则涂布工序后的减压干燥工序所需的时间变长。减压干燥工序时间的增大对提高生产率来说是不希望的。相反如果仅使用低沸点溶剂,则缝隙喷嘴的前端易干燥,涂布时易产生纵条。进而,有时在使用缝模涂布机涂布的涂膜表面的整个面上可观察到云上的斑点(下面称为“霭斑”)。如果发生这种霭斑,则引起液晶面板的成品率低下的问题。因此,在缝模涂布法中,强烈希望树脂的保存稳定性良好、减压干燥工序时间短且涂膜表面良好的感光性树脂组合物溶液。

发明内容
因此,本发明的目的在于提供一种感光性树脂组合物,其树脂的保存稳定性良好、减压干燥工序时间短,缝隙喷嘴难于干燥且涂膜表面良好,适合缝模涂布法。
本发明的其他目的在于提供由上述感光性树脂组合物溶液形成的显示面板用间隔物和具备其的显示面板。
由以下说明可知本发明的其他目的和优点。
根据本发明,上述目的和优点第一通过一种感光性树脂组合物实现,其特征在于,以含有2~20重量%的下式(1)所示的化合物的混合溶剂为溶剂,然后通过缝模涂布机在基板上涂布,
(式中,R1~R5各自独立地表示氢原子或碳原子数1~6的烷基,n为1~6的整数。)。
根据本发明,上述目的和优点第二通过由本发明的感光性树脂组合物形成的显示面板用间隔物实现。
根据本发明,上述目的和优点第三通过具备本发明的显示面板用间隔物的显示面板实现。
具体实施例方式
本发明中使用的感光性树脂组合物优选由碱可溶性共聚物[A]、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物[B]、感放射线性聚合引发剂[C]和含有2~20中%的上式(1)所示化合物的混合溶剂[D]构成。
-碱可溶性共聚物[A]-上述[A]成分例如由(a1)烯键式不饱和羧酸和/或烯键式不饱和羧酸酐、(a2)含环氧基烯键式不饱和化合物和(a3)其他烯键式不饱和化合物的共聚物(在下文中称为“共聚物[A]”)构成。
在构成共聚物[A]的各成分中,作为(a1)烯键式不饱和羧酸和/或烯键式不饱和羧酸酐(以下将这些统称为“不饱和羧酸类单体(a1)”),可以列举例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、琥珀酸-2-甲基丙烯酰氧基乙酯、六氢苯二甲酸-2-甲基丙烯酰氧基乙酯等一元羧酸;马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸等二元羧酸;上述二元羧酸的酸酐等。
在这些不饱和羧酸类单体(a1)中,从共聚反应性、所得到的共聚物对碱水溶液的溶解性以及容易得到的观点出发,优选丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐等。
不饱和羧酸类单体(a1)可单独使用,或者将2种或2种以上混合使用。
在共聚物[A]中,来源于不饱和羧酸类单体(a1)的重复单元的含有率优选为5~50重量%,更优选为10~40重量%,特别优选为15~30重量%。如果来源于不饱和羧酸类单体(a1)的重复单元的含有率不足5重量%,则存在对碱水溶液的溶解性降低的倾向,另一方面,如果超过50重量%,则存在对碱水溶液的溶解性变得过大的可能性。
此外,作为(a2)含环氧基烯键式不饱和化合物(在下文中称为“含环氧基单体(a2)”),可以列举例如丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸-2-甲基缩水甘油酯、丙烯酸-3,4-环氧丁酯、丙烯酸-6,7-环氧庚酯、丙烯酸-3,4-环氧环己酯等丙烯酸环氧烷基酯;甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸-2-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-3,4-环氧丁酯、甲基丙烯酸-6,7-环氧庚酯、甲基丙烯酸-3,4-环氧环己酯等甲基丙烯酸环氧烷基酯;α-乙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丁基丙烯酸缩水甘油酯、α-乙基丙烯酸-6,7-环氧庚酯等α-烷基丙烯酸环氧烷基酯;邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、对乙烯基苄基缩水甘油醚等缩水甘油醚。
在这些含环氧基单体(a2)中,从共聚反应性和间隔物强度的观点出发,优选甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸-2-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-6,7-环氧庚酯、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、对乙烯基苄基缩水甘油醚等。
含环氧基单体(a2)可单独使用,或者将2种或2种以上混合使用。
在共聚物[A]中,来源于含环氧基单体(a2)的重复单元的含有率优选为10~70重量%,更优选为20~60重量%,特别优选为30~50重量%。如果来源于含环氧基单体(a2)的重复单元的含有率不足10重量%,则存在得到的间隔物的强度降低的倾向,另一方面,如果超过70重量%,则存在得到的共聚物的保存稳定性降低的倾向。
进而,作为(a3)其他烯键式不饱和化合物(在下文中简称为“其他的单体(a3)”),可以列举例如丙烯酸甲酯、丙烯酸异丙酯等丙烯酸烷基酯;甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯等甲基丙烯酸烷基酯;丙烯酸环己酯、丙烯酸-2-甲基环己酯、丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯、丙烯酸-2-(三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基氧基)乙酯、丙烯酸异冰片酯等丙烯酸脂环式酯;甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸-2-甲基环己酯、甲基丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯、甲基丙烯酸-2-(三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基氧基)乙酯、甲基丙烯酸异冰片酯等甲基丙烯酸脂环式酯;丙烯酸苯酯、丙烯酸苄基酯等丙烯酸的芳基酯或芳烷基酯;甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苄酯等甲基丙烯酸芳酯或者芳烷基酯;马来酸二乙酯、富马酸二乙酯、衣康酸二乙酯等二元羧酸二烷基酯;甲基丙烯酸-2-羟基乙酯、甲基丙烯酸-2-羟基丙酯等甲基丙烯酸羟基烷基酯;甲基丙烯酸四氢糠基酯、甲基丙烯酸四氢呋喃酯、甲基丙烯酸四氢吡喃-2-甲酯等含有一个氧原子的不饱和五员或六员杂环甲基丙烯酸酯;苯乙烯、α-甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、对甲氧基苯乙烯等乙烯基芳香族化合物;1,3-丁二烯、异戊二烯、2,3-二甲基-1,3-丁二烯等共轭二烯类化合物,此外还有丙烯腈、甲基丙烯腈、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、氯乙烯、偏氯乙烯、醋酸乙烯酯等。
在这些其他单体(a3)中,从共聚反应性以及得到的共聚物对碱水溶液的溶解性的观点出发,优选丙烯酸-2-甲基环己酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯、苯乙烯、对甲氧基苯乙烯、甲基丙烯酸四氢糠基酯、1,3-丁二烯等。
在共聚物[A]中,其他单体(a3)可单独使用,或将2种或2种以上混合使用。
在共聚物[A]中,来源于其他单体(a3)的重复单元的含有率优选为10~70重量%,更优选为20~50重量%,特别优选为30~50重量%。此时,如果来源于其他单体(a3)的重复单元的含有率不足10重量%,则存在得到的共聚物保存稳定性降低的倾向,另一方面,如果超过70重量%,则存在得到的共聚物对碱水溶液的溶解性降低的倾向。
共聚物[A]具有羧基和/或羧酸酐基和环氧基,对碱水溶液具有适度的溶解度,同时,即使不并用特别的固化剂,通过加热也可以容易地使之固化。因此,含有该共聚物的感光性树脂组合物在显影时不产生显影残留和膜损失,并能容易地形成规定图案的间隔物。
共聚物[A]例如可以通过将不饱和羧酸类单体(a1)、含环氧基单体(a2)和其他单体(a3)在适当的溶剂中,在自由基聚合引发剂的存在下进行聚合而制备。
作为在共聚物[A]的制备中使用的溶剂,可以列举例如醇、醚、乙二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、二乙二醇、二丙二醇、丙二醇单烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸酯、丙二醇烷基醚丙酸酯、芳烃、酮、酯等。
作为这些溶剂的具体例子,可以分别列举如下作为醇,可以列举例如甲醇、乙醇、苯甲醇、2-苯基乙醇、3-苯基-1-丙醇等;作为醚类,可以列举例如四氢呋喃等;作为乙二醇醚,可以列举例如乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚等;作为乙二醇烷基醚乙酸酯,可以列举例如甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯等;作为二乙二醇,可以列举例如二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇乙基甲基醚等;作为二丙二醇,可以列举例如二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、二丙二醇乙基甲基醚等;作为丙二醇单烷基醚,可以列举例如丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单丙醚、丙二醇单丁醚等;作为丙二醇烷基醚乙酸酯,可以列举例如丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯、丙二醇丁醚乙酸酯等;作为丙二醇烷基醚丙酸酯,可以列举例如丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇丁醚丙酸酯等;作为芳烃,可以列举例如甲苯、二甲苯等;作为酮,可以列举例如甲乙酮、环己酮、4-羟基-4-甲基-2-戊酮等;作为酯,可以列举例如醋酸甲酯、醋酸乙酯、醋酸丙酯、醋酸丁酯、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、羟基乙酸甲酯、羟基乙酸乙酯、羟基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羟基丙酸甲酯、3-羟基丙酸乙酯、3-羟基丙酸丙酯、3-羟基丙酸丁酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基醋酸甲酯、甲氧基醋酸乙酯、甲氧基醋酸丙酯、甲氧基醋酸丁酯、乙氧基醋酸甲酯、乙氧基醋酸乙酯、乙氧基醋酸丙酯、乙氧基醋酸丁酯、丙氧基醋酸甲酯、丙氧基醋酸乙酯、丙氧基醋酸丙酯、丙氧基醋酸丁酯、丁氧基醋酸甲酯、丁氧基醋酸乙酯、丁氧基醋酸丙酯、丁氧基醋酸丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯等酯。
其中,优选乙二醇烷基醚乙酸酯、二乙二醇、二丙二醇、丙二醇单烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸酯,其中,特别优选二乙二醇二甲醚、二乙二醇乙基甲基醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇乙基甲基醚、丙二醇甲基醚、丙二醇甲基醚乙酸酯。
上述溶剂可以单独使用,或将2种或2种以上混合使用。
此外,作为上述聚合中使用的自由基聚合引发剂,没有特别的限定,可以列举例如2,2’-偶氮二异丁腈、2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、2,2’-偶氮二(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、4,4’-偶氮二(4-氰基戊酸)、二甲基-2,2’-偶氮二(2-甲基丙酸酯)、2,2’-偶氮二(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)等偶氮化合物;过氧化苯甲酰、过氧化月桂酰、过氧化叔丁基新戊酸酯、1,1-双(叔丁基过氧化)环己烷等有机过氧化物;过氧化氢等。此外,当用过氧化物作为自由基聚合引发剂时,还可以将其与还原剂并用作为氧化还原型引发剂。
这些自由基聚合引发剂可单独使用,也可以将2种或2种以上混合使用。
这样得到的共聚物[A]可以直接以溶液状态供感放射线性树脂组合物的制备,也可以从溶液中分离后供感放射线性树脂组合物的制备。
共聚物[A]通过凝胶渗透色谱法(GPC)测定的聚苯乙烯换算重均分子量(以下称为“Mw”)优选为2,000~100,000,更优选为5,000~50,000。这时,如果Mw不足2,000,则有所得到的被膜的显影性、残膜率等降低,或图案形状、耐热性等受到损害的可能性,另一方面,如果超过100,000,则有解像度降低,或图案形状受到损害的可能性。
-具有烯键式不饱和键的聚合性化合物[B]-
感光性树脂组合物的[B]成分为具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(以下,称为“聚合性化合物[B]”)。
作为聚合性化合物[B],并没有特别的限定,从聚合性良好、提高得到的间隔物的强度的观点出发,优选单官能、双官能或三官能或以上的(甲基)丙烯酸酯。
作为上述单官能(甲基)丙烯酸酯,可以列举例如丙烯酸-2-羟基乙酯、甲基丙烯酸-2-羟基乙酯、二乙二醇单乙醚丙烯酸酯、二乙二醇单乙醚甲基丙烯酸酯、丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸异冰片酯、丙烯酸-3-甲氧基丁酯、甲基丙烯酸-3-甲氧基丁酯、苯二甲酸-2-丙烯酰氧基乙基-2-羟基丙酯、苯二甲酸-2-甲基丙烯酰氧基乙基-2-羟基丙酯等。此外,作为市售品,还可以列举例如アロニツクスM-101、アロニツクスM-111、アロニツクスM-114(东亚合成(株)制造);KAYARAD TC-110S、KAYARAD TC-120S(日本化药(株)制造);ビスコ一ト158、ビスコ一ト2311(大阪有机化学工业(株)制造)等。
此外,作为上述双官能(甲基)丙烯酸酯,可以列举例如乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二甲基丙烯酸酯、1,9-壬二醇二丙烯酸酯、1,9-壬二醇二甲基丙烯酸酯、双苯氧基乙醇芴二丙烯酸酯、双苯氧基乙醇芴二甲基丙烯酸酯等。此外,作为市售品,可以列举例如アロニツクスM-210、アロニツクスM-240、アロニツクスM-6200(东亚合成(株)制造);KAYARAD HDDA、KAYARAD HX-220、KAYARAD R-604(日本化药(株)制造);ビスコ一ト260、ビスコ一ト312、ビスコ一ト335HP(大阪有机化学工业(株)制造)等。
进而,作为上述三官能或以上的(甲基)丙烯酸酯,可以列举例如三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、三(2-丙烯酰氧基乙基)磷酸酯、三(2-甲基丙烯酰氧基乙基)磷酸酯等。
特别是作为九官能或以上的(甲基)丙烯酸酯,可以列举使具有亚烷基直链和脂环结构且包含2个或2个以上异氰酸酯基的化合物与分子内包含1个或1个以上羟基的三官能、四官能和五官能的(甲基)丙烯酸酯化合物反应得到的聚氨酯丙烯酸酯化合物。
作为上述市售品,可以列举例如アロニツクスM-309、アロニツクスM-400、アロニツクスM-405、アロニツクスM-450、アロニツクスM-7100、アロニツクスM-8030、アロニツクスM-8060、アロニツクスTO-1450(东亚合成(株)制造);KAYARAD TMPTA、KAYARAD DPHA、KAYARADDPCA-20、KAYARAD DPCA-30、KAYARAD DPCA-60、KAYARADDPCA-120(日本化药(株)制造);ビスコ一ト295、ビスコ一ト300、ビスコ一ト360、ビスコ一トGPT、ビスコ一ト3PA、ビスコ一ト400(大阪有机化学工业(株)制造)等。九官能或以上的多官能聚氨酯丙烯酸酯的市售品,可以列举例如)ニユ一フロンテイアR-1150(以上由第一工业制药(株)制造)、KAYARAD DPHA-40H(以上由日本化药(株)制造)等。
在这些单官能、双官能、三官能或以上的(甲基)丙烯酸酯中,更优选三官能或以上的(甲基)丙烯酸酯,特别优选三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯。
上述单官能、双官能、三官能或以上的(甲基)丙烯酸酯可以单独使用,或者将2种或2种以上组合使用。
在感光性树脂组合物中,相对于100重量份的共聚物[A],聚合性化物[B]的使用量优选为50~140重量份,更优选为60~120重量份。这时,如果聚合物性化合物[B]的使用量不足50重量份,则可能在显影时产生显影残留,另一方面,如果超过140重量份,则存在得到的间隔物的硬度有降低的倾向。
-感放射线聚合引发剂[C]-感放射线聚合引发剂为感应放射线、产生能够引发具有[B]烯键式不饱和键的聚合性化合物的聚合的活性种的成分。
作为上述感放射线自由基聚合引发剂,可列举出,例如苄基、二乙酰基等的α-二酮类;苯偶姻等的偶姻类;苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻异丙醚等的偶姻醚类;噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、噻吨酮-4-磺酸、二苯甲酮、4,4’-二(二甲氨基)二苯甲酮、4,4’-二(二乙氨基)二苯甲酮等的二苯甲酮类;苯乙酮、对二甲氨基苯乙酮、4-((α,α’-二甲氧基乙酰氧基)二苯甲酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、对甲氧基苯乙酮、2-甲基-2-吗啉代-1-(4-甲基硫代苯基)-1-丙烷、2-苄基-2-二甲氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁烷-1-酮等苯乙酮类;蒽醌、1,4-萘醌等的醌类;苯酰甲基氯、三溴甲基苯基砜、三(三氯甲基)-均三嗪等的卤素化合物;2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基膦氧化物、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-2,4,4-三甲基戊基膦氧化物、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)苯基膦氧化物等的酰基膦氧化物类;二叔丁基过氧化物等过氧化物等。
作为感放射线自由基聚合引发剂的市售品,可列举出,例如IRGACURE-124、IRGACURE-149、IRGACURE-184、IRGACURE-369、IRGACURE-500、IRGACURE-651、IRGACURE-819、IRGACURE-907、IRGACURE-1000、IRGACURE-1700、IRGACURE-1800、IRGACURE-1850、IRGACURE-2959、Darocur-1116、Darocur-1173、Darocur-1664、Darocur-2959、Darocur-4043(以上由チバ·スペシヤルテイ一·ケミカルズ公司制造)、KAYACURE-DETX、KAYACURE-MBP、KAYACURE-DMBI、KAYACURE-EPA、KAYACURE-OA(以上由日本化药(株)制造)、LUCIRIN TOP(BASF公司制造)、VICURE-10、VICURE-55(以上由STAUFFER公司制造)、TRIGONALP1(AKZO公司制造)、SANDORAY 1000(SANDOZ公司制造)、DEAP(APJOHN公司制造)、QUANTACURE-PDO、QUANTACURE-ITX、QUANTACURE-EPD (以上由WARDBLEKINSOP公司制造)等。
这些感放射线自由基聚合引发剂可以单独使用,也可以将2种或2种以上混合使用。
与上述感放射线自由基聚合引发剂一起,可并用1种或1种以上的感放射线增敏剂,由此也可得到空气中的氧引起的失活少、高感度的感放射线性树脂组合物。
本发明的感光性树脂组合物种的各成分的使用量,相对于100重量份的碱可溶性共聚物[A],[B]具有烯碱式不饱和键的聚合性化合物优选为10~150重量份、进一步优选为20~120重量份,相对于100重量份的碱可溶性共聚物[A],[C]感放射线聚合引发剂优选为1~40重量份,进一步优选为3~35重量份。
聚合性化合物的使用量不足10重量份时,有难于形成膜厚均匀的涂膜的倾向,另一方面,如果超过150重量份,则有与基板的密合性降低的倾向。[C]感放射线聚合引发剂的使用量不足1重量份时,有耐热性、表面硬度或耐药品性降低的倾向,另一方面,如果超过40重量份,则有透明性降低的倾向。
-溶剂[D]-使用感光性树脂组合物时,优选将共聚物[A]、聚合性化合物[B]、感放射线聚合引发剂[C]等组成成分溶于适当的溶剂中,配制成组合物溶液。
作为配制上述组合物溶液所使用的溶剂[D],可使用均匀地溶解构成感光性树脂组合物的各成分、且不与各成分反应的物质。
作为这种溶剂,可列举与作为可用于制备上述共聚物[A]的溶剂所列举的相同的溶剂。
这种溶剂中,为了使用缝模涂布机进行感光性树脂组合物的涂布,考虑到能有效地抑制涂膜表面的霭斑,使用含有下式(1) (式中,R1~R5各自独立,为氢原子或碳原子数1~6的烷基,n为1~6的整数。)所示的化合物的混合溶剂。100重量份总混合溶剂中上式(1)所示的化合物所占的含量为2~20重量%。不足2重量%时,没有对霭斑的效果,超过20重量%,则减压干燥时间变长,面板的生产率变差。
作为上式(1)所示的化合物,可列举出,例如苄醇、2-甲基苄醇、3-苯基-1-丙醇、2-甲基苯乙醇、2,4-二甲基苄醇、4-乙基苄醇、4-苯基-1-丁醇、5-苯基-1-戊醇、4-丁基苄醇、6-苯基-1-己醇、2,3,45,6-五甲基苄醇。其中考虑到沸点和对其他组合物的溶解性,特别优选苄醇。
为了获得树脂液的保存稳定性,混合溶剂优选含有二乙二醇烷基醚类溶剂,如二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙基醚。100重量份总混合溶剂中二乙二醇烷基醚类溶剂所占的含量优选为30~75重量%。如果不足30重量%,则树脂液的保存稳定性变差,而超过75重量%,则减压干燥时间变长。
考虑到面板的生产率,优选减压干燥时间短。考虑到缩短减压干燥时间,混合溶剂优选除了上式(1)所示的化合物之外还含有沸点(1大气压下的沸点,下同)为100℃~150℃的溶剂。沸点不足100℃时,有溶剂臭味的问题,超过150℃则对缩短减压干燥时间没有效果。100重量份总混合溶剂中沸点为100℃~150℃的溶剂所占的含量为20~55重量%。不足20重量%时,没有缩短干燥时间的效果,超过55重量%时,则有时保存稳定性恶化。作为可并用的沸点为100℃~150℃的溶剂,可列举出,例如丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、乙酸丁酯、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、甲基溶纤剂乙酸酯、甲基异丁基酮、环己酮、乙酸酐、甲苯、氯苯、乙酸丙酯等。
使用缝模涂布机进行感光性树脂组合物的涂布时,有时喷嘴前端干燥,涂膜上产生竖条,成为异物的原因。通过并用高沸点溶剂作为混合溶剂的组成成分,可抑制喷嘴前端的干燥。具有抑制喷嘴前端的干燥效果的溶剂优选沸点为180℃~250℃的溶剂(上式(1)所示化合物)。沸点不足180℃时没有对喷嘴干燥的防止效果,超过250℃则影响减压干燥时间,而且有高沸点溶剂残留在涂膜中的可能性,故非优选。100重量份总混合溶剂中沸点为180℃~150℃的溶剂所占的含量优选为3~15重量%。不足3重量%时没有对喷嘴前端干燥的抑制效果,超过15重量%则影响减压干燥时间,而且有高沸点溶剂残留在涂膜中的可能性。作为可以并用的高沸点溶剂,可以列举例如乙二醇单丁醚乙酸酯、二乙二醇单乙醚乙酸酯、二乙二醇单丁醚乙酸酯、二乙二醇二乙醚、N-甲基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N-甲基甲酰苯胺、N-甲基乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲基亚砜、苄基乙基醚、二己基醚、丙酮基丙酮、异佛尔酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、醋酸苄酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、γ-丁内酯、碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯、苯基溶纤剂乙酸酯等。其中,优选乙二醇单丁醚乙酸酯、二乙二醇单乙醚乙酸酯、二乙二醇单丁醚乙酸酯、二乙二醇二乙醚、N-甲基吡咯烷酮。
-添加剂-根据需要,在不损害本发明所希望的效果的范围内,还可以在感光性树脂组合物中配合上述成分以外的添加剂。
例如,为了提高涂布性,可以配合表面活性剂。该表面活性剂,可以优选使用氟类表面活性剂和有机硅类表面活性剂。
作为氟类表面活性剂,可以优选使用在末端、主链和侧链的至少一个部位上具有氟烷基或氟亚烷基的化合物,作为其具体例,可以列举1,1,2,2-四氟辛基(1,1,2,2-四氟丙基)醚、1,1,2,2-四氟辛基己基醚、八乙二醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六乙二醇(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、八丙二醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六丙二醇二(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、全氟十二烷基磺酸钠、1,1,2,2,8,8,9,9,10,10-十氟十二烷、1,1,2,2,3,3-六氟癸烷、氟烷基苯磺酸钠、氟烷基膦酸钠、氟烷基羧酸钠、氟烷基聚氧乙烯醚、二甘油四(氟烷基聚氧乙烯醚)、氟烷基碘化铵、氟烷基甜菜碱、氟烷基聚氧乙烯醚、全氟烷基聚氧乙醇、全氟烷基烷氧化物、氟类烷基醚等。
此外,作为它们的市售品,可以列举例如BM-1000、BM-1100(以上由BM CHEMIE公司制造)、メガフアツクF142D、メガフアツクF172、メガフアツクF173、メガフアツクF183、メガフアツクF178、メガフアツクF191、メガフアツクF471、メガフアツクF476(以上由大日本インキ化学工业(株)制造)、フロラ一ドFC 170C、FC-171、FC-430、FC-431(以上由住友スリ一エム(株)制造)、サ一フロンS-112、サ一フロンS-113、サ一フロンS-131、サ一フロンS-141、サ一フロンS-145、サ一フロンS-382、サ一フロンSC-101、サ一フロンSC-102、サ一フロンSC-103、サ一フロンSC-104、サ一フロンSC-105、サ一フロンSC-106(以上由旭硝子(株)制造)、エフトツプEF 301、エフトツプEF 303、エフトツプEF 352(以上由新秋田化成(株)制造)、フタ一ジエントFT-100、フタ一ジエントFT-110、フタ一ジエントFT-140A、フタ一ジエントFT-150、フタ一ジエントFT-250、フタ一ジエントFT-251、フタ一ジエントFTX-251、フタ一ジエントFTX-218、フタ一ジエントFT-300、フタ一ジエントFT-310、フタ一ジエントFT-400S(以上由(株)ネオス制造)等。
此外,作为有机硅类表面活性剂,可以列举例如以ト一レシリコ一ンDC3PA、ト一レシリコ一ンDC7PA、ト一レシリコ一ンSH11PA、ト一レシリコ一ンSH21PA、ト一レシリコ一ンSH28PA、ト一レシリコ一ンSH29PA、ト一レシリコ一ンSH30PA、ト一レシリコ一ンSH-190、ト一レシリコ一ンSH-193、ト一レシリコ一ンSZ-6032、ト一レシリコ一ンSF-8428、ト一レシリコ一ンDC-57、ト一レシリコ一ンDC-190(以上由东レ·ダウコ一ニング·シリコ一ン(株)制造)、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460、TSF-4452(以上由GE 东芝シリコ一ン(株)制造)等商品名市售的产品。
此外,作为上述以外的表面活性剂,可以列举例如聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧乙烯烷基醚;聚氧乙烯正辛基苯基醚、聚氧乙烯正壬基苯基醚等聚氧乙烯芳基醚;聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙烯二硬脂酸酯等聚氧乙烯二烷基酯等非离子类表面活性剂,或作为市售品,可以列举KP341(信越化学工业(株)制造)、ポリフロ一No.57、95(共荣社化学(株)制造)等。
这些表面活性剂可以单独使用,也可以将2种或2种以上混合使用。
相对于100重量份的共聚物[A],表面活性剂的配合量优选为5重量份或以下,更优选为2重量份或以下。这时,如果表面活性剂的配合量超过5重量份,则在涂布时存在容易产生膜皲裂的倾向。
此外,为了进一步提高与基体的密合性,可以配合粘接助剂。
作为上述粘接助剂,优选官能性硅烷偶联剂,作为其实例,可以列举具有羧基、甲基丙烯酰基、异氰酸酯基、环氧基等反应性官能团的硅烷偶联剂,更具体地,可以列举三甲氧基甲硅烷基苯甲酸、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、γ-异氰酸根合丙基三乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧基环己基)乙基三甲氧基硅烷等。
这些粘接助剂,可以单独使用或将2种或2种以上混合使用。
相对于100重量份共聚物[A],粘接助剂的配合量优选为20重量份或以下,更优选为10重量份或以下。这时,如果粘接助剂的配合量超过20重量份,则存在容易产生显影残留的倾向。
可以添加其他的添加剂。可以出于提高保存稳定性等目的添加。具体地,可以列举硫、醌类、氢醌类、聚醚化合物(ポリオキシ化合物)、胺、硝基亚硝基化合物。作为其具体例,可以列举4-甲氧基苯酚、N-亚硝基-N-苯基羟基胺铝等。相对于100重量份共聚物[A],这些添加剂优选使用3.0重量份或以下,更优选使用0.001~0.5重量份。当超过3.0重量份时,不能得到充分的敏感度,图案形状恶化。
此外,为了提高耐热性,可以添加N-(烷氧基甲基)甘脲化合物、N-(烷氧基甲基)三聚氰胺化合物和在1个分子内具有2官能或以上的环氧基的化合物。作为上述N-(烷氧基甲基)甘脲化合物的具体例,可以列举N,N,N’,N’-四(甲氧基甲基)甘脲、N,N,N’,N’-四(乙氧基甲基)甘脲、N,N,N’,N’-四(正丙氧基甲基)甘脲、N,N,N’,N’-四(异丙氧基甲基)甘脲、N,N,N’,N’-四(正丁氧基甲基)甘脲、N,N,N’,N’-四(叔丁氧基甲基)甘脲等。在这些物质中,特别优选N,N,N’,N’-四(甲氧基甲基)甘脲。作为上述N-(烷氧基甲基)三聚氰胺化合物的具体例,可以列举例如N,N,N’,N’,N”,N”-六(甲氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N’,N’,N”,N”-六(乙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N’,N’,N”,N”-六(正丙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N’,N’,N”,N”-六(异丙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N’,N’,N”,N”-六(正丁氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N’,N’,N”,N”-六(叔丁氧基甲基)三聚氰胺等。在这些物质中,特别优选N,N,N’,N’,N”,N”-六(甲氧基甲基)三聚氰胺。作为它们的市售品,可以列举例如ニカラツクN-2702、MW-30M(以上由三和ケミカル(株)制造)等。作为在1个分子中具有2官能或以上的环氧基的化合物,可以列举例如乙二醇二缩水甘油醚、二乙二醇二缩水甘油醚、聚乙二醇二缩水甘油醚、丙二醇二缩水甘油醚、三丙二醇二缩水甘油醚、聚丙二醇二缩水甘油醚、新戊二醇二缩水甘油醚、1,6-己二醇二缩水甘油醚、丙三醇二缩水甘油醚、三羟甲基丙烷三缩水甘油醚、氢化双酚A二缩水甘油醚、双酚A二缩水甘油醚等。作为它们的市售品的具体例,可以列举例如エポライト40E、エポライト100E、エポライト200E、エポライト70P、エポライト200P、エポライト400P、エポライト40E、エポライト1500NP、エポライト1600、エポライト80MF、エポライト100MF、エポライト4000、エポライト3002(以上由共荣社化学(株)制造)等。这些化合物可单独使用,或者将两种或两种以上组合使用。
可以根据需要使用孔径为例如0.2~0.5μm左右的微孔过滤器等对这样制备得到的组合物溶液进行过滤,然后再供使用。
感光性树脂组合物特别适合作为形成液晶面板或触摸面板等显示面板用间隔物的材料。
显示面板用间隔物使用感光性树脂组合物形成显示面板用间隔物时,在将组合物溶液涂布在基板表面后,通过预烘焙除去溶剂,形成涂膜。
组合物溶液的涂布方法为缝模涂布法。
此外,预烘焙的条件根据各组成成分的种类、配合比例等而有所不同,通常为在70~90℃下进行1~15分钟左右。
接着,通过规定图案的掩膜对经过预烘焙的涂膜进行曝光使其聚合,然后用显影液进行显影,除去不需要的部分,从而形成图案。
作为曝光中使用的放射线,可以适当地选择可见光、紫外线、远紫外线、带电粒子束、X射线等,但优选波长在190~450nm范围的放射线。
作为显影方法,可以是例如液流法(液盛り法)、浸渍法、喷淋法等的任一种,显影时间通常为30~180秒。
作为上述显影液,可以使用例如氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、硅酸钠、原硅酸钠、氨水等无机碱;乙胺、正丙胺等伯胺;二乙胺、二正丙胺等仲胺;三甲胺、甲基二乙基胺、乙基二甲基胺、三乙胺等叔胺;二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺等叔烷醇胺;吡咯、哌啶、N-甲基哌啶、N-甲基吡咯烷、1,8-二氮杂二环[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮杂二环[4.3.0]-5-壬烯等脂环族叔胺;吡啶、三甲基吡啶、二甲基吡啶、喹啉等芳香族叔胺;氢氧化四甲基铵、氢氧化四乙基铵等季铵盐等碱性化合物的水溶液。
此外,在上述碱性化合物的水溶液中,还可以添加适量的甲醇、乙醇等水溶性有机溶剂和/或表面活性剂。
显影后,通过例如流水洗涤进行例如30~90秒的洗涤,除去不需要的部分,然后吹压缩空气或压缩氮气进行干燥,从而形成规定的图案。
然后,可以通过加热板、烘箱等加热装置在规定温度,例如在150~250℃下将该图案加热处理规定的时间,在加热板上加热处理例如5~30分钟,在烘箱中加热处理例如30~90分钟,即可获得目的间隔物。
如上所述,本发明的感光性树脂组合物可高灵敏度且忠实地再现掩膜图案的设计尺寸,且与基板的密合性良好,可以以1,500J/m2或以下的曝光量得到充分的间隔物形状和膜厚,而且强度、耐热性等也优良,低曝光量区域中的间隔物的形状、膜厚的控制性优良,保存期间中、使用中难以产生异物。
实施例下面,通过实施例和比较例对本发明进行更具体的说明,但是本发明并不限于这些实施例。
合成例1在装有冷凝管、搅拌器的烧瓶中,加入5重量份2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、200重量份二乙二醇乙基甲基醚,接着加入18重量份甲基丙烯酸、40重量份甲基丙烯酸缩水甘油酯、5重量份苯乙烯、32重量份甲基丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯,用氮气置换后,加入5重量份1,3-丁二烯,一边缓慢搅拌,一边使溶液的温度上升至70℃,保持该温度5小时进行聚合,得到共聚物[A-1]的溶液。
该溶液的固体成分浓度为33.1重量%,共聚物[A-1]的Mw为11,000。
合成例2在装有冷凝管、搅拌器的烧瓶中加入5重量份2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、200重量份二乙二醇二甲醚,接着加入18重量份甲基丙烯酸、40重量份甲基丙烯酸缩水甘油酯、5重量份苯乙烯、32重量份甲基丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯,用氮气置换后,加入5重量份1,3-丁二烯,一边缓慢搅拌,一边使溶液的温度上升至70℃,保持该温度5小时进行聚合,得到共聚物[A-2]的溶液。
该溶液的固体成分浓度为33.0重量%,共聚物[A-2]的Mw为11,000。
合成例3在装有冷凝管、搅拌器的烧瓶中加入5重量份2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、100重量份二乙二醇乙基甲基醚和100重量份丙二醇单甲醚乙酸酯,接着加入10重量份甲基丙烯酸、40重量份甲基丙烯酸缩水甘油酯、5量份苯乙烯、40重量份甲基丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯,用氮气置换后,进一步加入5重量份1,3-丁二烯,一边缓慢搅拌,一边使溶液的温度上升至70℃,保持该温度5小时进行聚合,得到共聚物[A-3]的溶液。
该溶液的固体成分浓度为33.2重量%,共聚物[A-3]的Mw为10,000。
合成例4在装有冷凝管、搅拌器的烧瓶中加入5重量份2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、100重量份二乙二醇二甲醚和100重量份丙二醇单甲醚,接着加入10重量份甲基丙烯酸、40重量份甲基丙烯酸缩水甘油酯、5重量份苯乙烯、40重量份甲基丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯,用氮气置换后,进一步加入5重量份1,3-丁二烯,一边缓慢搅拌,一边使溶液的温度上升至70℃,保持该温度5小时进行聚合,得到共聚物[A-4]的溶液。
该溶液的固体成分浓度为33.1重量%,共聚物[A-4]的Mw为10,000。
实施例1组合物溶液的制备将100重量份(作为固体成分)合成例1得到的共聚物[A-1]的溶液作为共聚物[A]、100重量份KAYARAD DPHA(日本化药(株)制造)作为聚合性化合物[B]、15重量份2-苄基-2-N,N-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮(商品名“IRGACURE 369”,チバ·スペシヤリテイ一·ケミカルズ公司制造)作为光聚引发剂[C]混合,使得固体成分浓度为25.5重量%,且混合使溶剂二乙二醇乙基甲基醚、丙二醇单甲醚、苄醇和乙二醇单丁醚乙酸酯的重量比达到55∶30∶10∶5,溶解后,使用孔径为0.2μm的PTFE(聚四氟乙烯)过滤器进行过滤,制备组合物溶液(S-1)。
(I)树脂液保存能稳定性的评价使用东京计器(株)制造的ELD型粘度计测定实施例1中制备的树脂组合物溶液的粘度。之后,在25℃下静置该组合物,同时每天测定25℃下溶液粘度。以制备后当时的粘度为基准求出增粘5%所需的天数,将该天数示于表1。该天数为20天或以上时,可认为保存稳定性良好。
(II)减压干燥(VCD)时间的评价在550×650mm的铬成膜玻璃上,使用缝模涂布机(TR632105-CL,东京应化工业(株)制造)涂布配制的组合物溶液,使固化后的膜厚达到4μm。然后测定减压度从常压达到0.5Torr的时间(以下称为VCD时间)。VCD时间短是有利的。
(III)涂布性(涂膜表面的霭斑)的评价在550×650mm的铬成膜玻璃上,使用缝模涂布机涂布配制的组合物溶液。减压干燥至0.5Torr,然后在烤炉中,在100℃下预烘焙2分钟,形成涂膜,进一步在2000J/m2的曝光量下进行曝光,在铬成膜玻璃的上表面形成4μm的膜。
使用钠灯照射膜表面,通过目测确认涂布膜表面。能够清楚确认霭斑的情形为×、稍微能够确认的情形为△、几乎不能确认的情形为○。
(IV)缝隙喷嘴的干燥性评价在550×650mm的铬成膜玻璃上,使用缝模涂布机涂布配制的组合物溶液。涂布后布不进行喷嘴前端的洗涤,直接放置。10分钟后,不进行喷嘴前端的洗涤,进行同样的涂布,制备与(III)涂布性(涂膜表面的霭斑)的评价相同的涂膜。
使用钠灯照射膜表面,通过目测确认涂布膜表面。能够清楚确认纵条斑的情形为×、稍微能够确认的情形为△、几乎不能确认的情形为○。
实施例2~16,比较例1~3在实施例1中,除了使用如表1所述的种类、量作为[A]成分~[D]成分之外,其它和实施例1同样配制组合物溶液。在组合物溶液的固体成分浓度的调整中,[D]成分的混合比如表1的记载。对于得到的组合物[S-2]~[S-16]和[S-1]~[S-3],与实施例1同样地进行树脂液保存稳定性的评价和涂布评价,结果示于表1。
在表1中,成分的简称表示如下化合物。
(B-1)(KAYARAD DPHA(日本化药(株)制造)(B-2)KAYARAD DPHA-40H(日本化药(株)制造)(C-1)2-(4-甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮(チバ·スペシヤルテイ一·ケミカルズ公司制造,IRGACURE 369)(C-2)2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基1-2-吗啉代丙烷-1-酮(チバ·スペシヤルテイ一·ケミカルズ公司制造,IRGACURE 907)(C-3)2,2’-二(邻氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑(C-4)4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮(C-5)2-巯基苯并噻唑(D-1)二乙二醇乙基甲基醚(D-2)二乙二醇二甲醚(D-3)丙二醇单甲醚乙酸酯(D-4)丙二醇单甲醚(D-5)苄醇(D-6)乙二醇单丁醚乙酸酯(D-7)二乙二醇单乙醚乙酸酯表1中,“-”标记表示未添加该成分。
表1

权利要求
1.感光性树脂组合物,其特征在于,以含有2~20重量%的下式(1)所示的化合物的混合溶剂为溶剂,然后通过缝模涂布机在基板上涂布, 式中,R1~R5各自独立地表示氢原子或碳原子数1~6的烷基,n为1~6的整数。
2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中混合溶剂含有30~75重量%的二乙二醇二甲醚和二乙二醇甲基乙基醚的至少任一方。
3.如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中混合溶剂含有20~55重量%的沸点为100℃~150℃的溶剂。
4.如权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,其中混合溶剂含有3~15重量%的沸点为180℃~250℃的溶剂、即上式(1)所示的化合物。
5.显示面板用间隔物,其由权利要求1~4中任一项所述的感光性树脂组合物形成。
6.显示面板,其具备权利要求5所述的显示面板用间隔物。
7.以2~20重量%含有上式(1)所示的化合物的混合溶剂作为通过缝模涂布机在基板上涂布的感光性树脂组合物的溶剂的应用。
全文摘要
感光性树脂组合物,其特征在于,以含有2~20重量%的右式(1)所示的化合物的混合溶剂为溶剂,然后通过缝模涂布机在基板上涂布,式中,R
文档编号G02F1/1339GK1881080SQ20061009369
公开日2006年12月20日 申请日期2006年6月15日 优先权日2005年6月15日
发明者真野裕之, 一户大吾, 西尾寿浩, 梶田彻 申请人:Jsr株式会社
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