图案的形成方法及其所使用的感光性树脂组合物的制作方法

专利名称：图案的形成方法及其所使用的感光性树脂组合物的制作方法
技术领域：
本发明涉及光致抗蚀剂组合物。本发明特别涉及适用于通过 缝模涂敷进行涂敷的光致抗蚀剂组合物。
背景技术：
形成以前的液晶显示器用驱动电路图案的光致抗蚀剂，通常 是通过在玻璃中央部位喷出感光性树脂组合物并进行自旋旋转涂 敷后，再进行预烘焙干燥而制造。然而，由于基板的大型化、抗 蚀剂量的减少，涂敷方法也不同，还要使用在进行狭缝涂敷后， 使其自旋旋转并预烘焙干燥的方法。并且，如果由于基板的进一 步大型化要求而使自旋旋转变得困难，则要采用在进行狭缝涂敷 后，进行减压干燥并进行预烘焙干燥的制造方法。
狭缝涂敷后进行自旋旋转的目的是使涂膜中所含的溶剂部分 蒸发以及使涂膜均一化。因此，采用在狭缝涂敷后进行自旋旋转 的方法，可以通过自旋旋转确保涂敷的均一性。而采用在狭缝涂 敷后进行减压干燥的方法，由于不能通过自旋旋转使涂膜均 一化， 因此狭缝涂敷后的涂膜必须是均一的。但是，根据本发明者们的 研究，将以往所用的感光性树脂组合物直接使用，刚进行狭缝涂 敷后的涂膜也难以达到足够的均一性。并且，在之后进行的减压 干燥过程中，还容易出现固定涂敷后的基板的卡盘和定位销等的 痕迹残留在涂膜面的问题。
另外，在狭缝涂敷后进行的减压干燥的条件有多种，而大多数基本上是采用在室温条件下，经约30秒左右自约101 kPa的大 气压急速减压至约20 Pa的方法。由于采用这种较严格的减压干燥 条件，因而必须调节涂膜的干燥程度。如果涂膜的干燥程度不合 适，则在图案形状和涂敷性方面会产生大问题，将成为引起各种 麻烦的主要原因。
作为这种感光性树脂组合物中使用的溶剂，由于通常使用的 丙二醇单曱醚乙酸酯(以下也称为PGMEA)的蒸气压在20°C/1个大 气压下约为500 Pa，在减压干燥时非常容易蒸发。结果，PGMEA 从涂敷后的涂膜表面迅速蒸发，在表面邻近区域形成干燥覆膜， 阻碍了涂膜内部的PGMEA的蒸发。如果用这种抗蚀剂膜形成图 案，则由于抗蚀剂膜表面邻近区域难以进行显影，而内部容易显 影，故而图案形状成为倒锥形形状(也称为T-top),在后烘焙时 有图案角部残留，其将成为剥离缺陷的主要原因，并且，由于抗 蚀剂图案的内部干燥不充分，因而耐刻蚀性也不够好，其将成为 导致用这种抗蚀剂图案形成的金属布线等不均一的主要原因。
另外，在用正性光致抗蚀剂形成图案的过程中，通常来说已 知在曝光结束后对抗蚀剂膜进行显影时，未曝光部分与显影液接 触时感光剂与树脂进行偶氮键合，降低其对于碱显影液的溶解性， 由此可以使啄光部分与未曝光部分产生差异。在使用以前的感光 性组合物进行狭缝涂敷后再进行减压干燥的方法中，由于涂膜表 面的干燥，使未曝光部分的表面比内部相对较难溶解于碱显影液， 故而存在使表观对比度变得过大的倾向。为了解决这种问题，可 以列举例如不添加被称作为对比度增强剂的与感光剂反应性高的 低分子树脂成分，或者减少感光剂的量。但是，采用这种方法， 虽然对于图案的形状来说可以确认有 一定的改善效果，但是会产 生感光剂的量不足而导致图案宽度不均，以及由于没有对比度增
5强剂而使实际对比度降低等问题。
另一方面，在涂敷感光性树脂组合物形成抗蚀膜时，为了抑 制涂敷斑，研究了将多种溶剂进行混合。例如，在专利文献l中，
公开了采用二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸烷基酯以
及乳酸烷基酯作为溶剂的感光性树脂组合物。该专利文献1中记 载的感光性树脂组合物的目的牟改善狭缝涂敷中的横条紋斑、纵 条紋斑和基板整面上无固定形状的斑等。并且，这种溶剂的组合 考虑了蒸发速度，但是该蒸发速度是涂敷时的蒸发速度，并没有 考虑减压干燥等过程中的蒸发速度。因此，据本发明者们所知， 在解决上述减压干燥时的问题方面，还有改进的空间。
另外，在专利文献2中，记载了含有节醇的感光性树脂组合 物。这里使用的爷醇，是为了改善涂敷斑而混合在丙二醇单曱醚 乙酸酯等主溶剂中进行使用的。然而，作为该专利文献中的涂敷 方法，是专门针对采用旋涂法的方法进行描述的，对于上述包括 减压干燥的狭缝涂敷中的问题没有任何说明。
专利文献1:日本特开2006 - 171670号公报 专利文献2:国际专利公开2004/095142号小册子

发明内容
如上所述，根据本发明者们的研究，如果采用含有通常使用 的丙二醇单曱醚乙酸酯作为溶剂的感光性树脂组合物，在涂敷时
的涂敷斑和涂敷均一性方面还有改进的空间，并且由于涂膜表面 比内部容易干燥，使图案形状成为倒锥形，并存在剥离缺陷和过 度的对比度。因此，需要寻求解决这些问题的方法。 本发明的图案形成方法特征在于包括
将感光性树脂组合物通过缝模涂敷法涂敷于基板上使其形成涂膜，上述感光性树脂组合物含有碱可溶性树脂、感光剂和混合 溶剂，上述混合溶剂含有丙二醇单曱醚乙酸酯和在1个大气压、
20。C下蒸气压为150Pa以下的共溶剂； 将所形成的涂膜进行减压干燥； 继续进行加热干燥，以蒸发除去至少一部分溶剂； 按所需图案进行图像曝光； 进行显影使其形成图案； 将显影后的图案进行加热使其固化。
另外，本发明的缝模涂敷用感光性树脂组合物特征在于含有碱 可溶性树脂、感光剂和混合溶剂，上述混合溶剂含有丙二醇单曱醚 乙酸酯和在1个大气压、20。C下蒸气压为150 Pa以下的共溶剂。
根据本发明，可以改善涂敷时的涂敷斑和涂敷的不均一性， 并且可以使所形成的图案形状成为优选的锥形，而且可以改善剥 离缺陷和线宽的不均一性。图案形状改进了，而且还没有带来以 前进行的减少感光剂的量和对比度增强剂等的方法所产生的图案 宽度不均等问题。


图1为显影后的抗蚀剂图案的截面示意图。
标记i兌明
1:基板
2:显影后的抗蚀剂图案
具体实施例方式
本发明的图案形成方法中使用的感光性树脂组合物含有碱可 溶性树脂、感光剂和混合溶剂作为必需成分。本发明的图案形成方法中使用的感光性树脂组合物，可以根据所形成的图案的用途 等而调整感光性树脂组合物的成分，正性或负性任一者均可。
这里，混合溶剂包括丙二醇单曱醚乙酸酯和共溶剂。这里，
作为共溶剂，采用在l个大气压、20。C下测定的蒸气压为150 Pa 以下，优选为100 Pa以下的共溶剂。另外，对于共溶剂蒸气压的 下限，没有特别的限制，在1个大气压、20。C下测定的蒸气压， 一般为5 Pa以上，优选为10 Pa以上，更优选为15 Pa以上。当 共溶剂的蒸气压比这种范围还要低时，则在减压干燥时难以调节 干燥条件，使得通过减压干燥和相继进行的预烘焙不能充分干燥， 从而使抗蚀剂膜中残留了溶剂，因此需要留意。共溶剂因为满足 这种条件，因而可以根据感光性树脂组合物中所含的其他固体成 分的种类、感光性树脂组合物的用途、涂敷或干燥条件等而适当 地选择。
作为这种共溶剂的优选溶剂，可以列举醇类、酯类、醚类、 乙二醇醚类等。作为优选的共溶剂的具体例子，可以列举选自千 醇、乙二醇丁基醚乙酸酯，更具体地说，乙二醇正-/异-/仲-/叔-丁 基醚乙酸酯、丙二醇、丙二醇二乙酸酯、丙二醇单烷基醚(烷基的 碳原子数为4~5)、 二丙二醇二烷基醚(烷基的碳原子数为1~5)、 二 丙二醇单烷基醚(烷基的碳原子数为1~5)、 二甘醇二烷基醚(烷基 的碳原子数为2 5)、 二甘醇单烷基醚(烷基的碳原子数为1~5)、 3-乙氧基丙酸乙酯、3-曱氧基-3-曱基丁基乙酸酯、3-曱氧基-3-曱基 丁醇、乳酸丁酯以及它们的混合物构成的群组中的共溶剂。
另外，虽说千醇作为共溶剂是优选的之一，但是还可以通过 进一步与其他共溶剂组合成三组分的混合溶剂而构成涂敷性更加
优良的溶剂。作为这种优选的三组分的混合溶剂，可以列举例如 PGMEA、卡醇和乙二醇正丁基醚乙酸酯的混合溶剂。PGMEA与
8卡醇的双组分混合溶剂与上述三组分混合溶剂相比，存在涂敷性 要差一点的倾向。
在本发明中，将这种共溶剂与PGMEA混合成混合溶剂。对 混合溶剂的混合比率没有特别的限制，而优选共溶剂的含量基于 全部混合溶剂的重量为5~70重量％，优选为5 60重量％。此时， 在使用挥发性高，即蒸气压高的共溶剂的情况下，优选共溶剂的 含量相对更多。其余部分，优选仅为PGMEA,但在不损害本发明 效果的范围内，还可以含有其他溶剂，例如在1个大气压、20°C 下测定的蒸气压超过150 Pa的溶剂。另外，在本发明中，混合溶 剂并不一定要以PGMEA与共溶剂混合的状态使用，还可以在感 光性树脂组合物的配制时，分别加入PGMEA和共溶剂而在组合 物中混合
另外，当使用在1个大气压、20。C下测定的蒸气压超过150 Pa 的共溶剂与PGMEA组合而成的混合溶剂时，虽然会发现感光性 树脂组合物的涂敷性能有所提高的情况，但是存在难以充分抑制 减压干燥时膜表面干燥的情况。并且由于膜表面干燥，故而显影 时难以产生膜减少，残膜率接近100%,使图案形状容易成为倒锥 形。相比之下，以蒸气压为150 Pa以下的溶剂作为共溶剂，在预 烘焙时难以干燥。因此，在以前的旋涂法添加中发现残膜率的降 低，即使是在此情况下，即使在与减压干燥组合时急速减压的情 况下，也能抑制膜表面的干燥，并且可以确保残膜率。
作为本发明的图案形成方法中可以使用的碱可溶性树脂，可 以使用以前已知的任何树脂。具体地，可以列举酚醛清漆树脂、 具有硅氮烷结构的聚合物、丙烯酸类聚合物、硅烷醇聚硅氧烷、 聚酰亚胺等。其中，优选酚类树脂，特别是曱酚酚醛树脂、二曱 基苯酚酚醛树脂等酚性酚醛树脂。这里所谓酚性酚醛树脂，是指酚类的至少一种与曱醛等醛类 缩聚而得到的酚醛型酚树脂。
作为制备这种酚性酚醛树脂所使用的酚类，可以列举例如邻
曱酚、对曱酚和间曱酚等曱酚类、3,5-二甲基苯酚、2,5-二曱基苯 酚、2,3-二曱基苯酚、3,4-二曱基苯酚等二曱基苯酚类、2,3,4-三曱 基苯酚、2,3,5-三曱基苯酚、2,4,5-三曱基苯酚、3,4,5-三曱基苯酚 等三曱基苯酚类、2-叔丁基苯酚、3-叔丁基苯酚、4-叔丁基苯酚等 叔丁基苯酚类、2-甲氧基苯酚、3-曱氧基苯酚、4-曱氧基苯酚、2,3-二曱氧基苯酚、2,5-二曱氧基苯酚、3,5-二曱氧基苯酚等曱氧基苯 酚类、2-乙基苯酚、3-乙基苯酚、4-乙基苯酚、2，3-二乙基苯酚、 3,5-二乙基苯酚、2，3,5-三乙基苯酚、3,4,5-三乙基苯酚等乙基苯酚 类、邻氯苯酚、间氯苯酚、对氯苯酚、2,3-二氯苯酚等氯代苯酚类、 间苯二酚、2-曱基间苯二酚、4-曱基间苯二酚、5-曱基间苯二酚等 间苯二酚类、5-曱基邻苯二酚等邻苯二酚类、5-曱基邻苯三酚等邻 苯三酚类、双酚A、 B、 C、 D、 E、 F等双酚类、2,6-二羟曱基对 曱基苯酚等羟甲基化曱酚类、a-萘酚、p-萘酚等萘酚类等。它们可 以单独或以多种的混合物进行使用。
另外，作为醛类，除了曱眵以外，可以列举水杨醛、多聚甲 醛、乙醛、苯甲醛、羟基苯曱醛、氯乙醛等，它们可以单独或者 以多种的混合物进行使用。
对碱可溶性树脂的含量没有特别的限制，通常基于感光性树 脂组合物的总重量为5~25重量％，优选为7~20重量％。如果比该 范围还小，则为了使最终的抗蚀剂膜达到一定的厚度，必须涂敷 很厚的组合物，故而容易引起涂膜内部的流动，会出现产生涂敷 斑的情况。另一方面，如果树脂的含量比该范围还要高，则必须涂敷很薄的组合物，会出现膜厚度的均一性不够好的情况。因此， 当树脂的含量落在上述范围以外时，是需要注意的。
另外，作为本发明的图案形成方法中使用的感光剂，可以从 通常使用的感光剂中任意地选择，作为优选的，可以列举含醌二 叠氮基的感光剂。作为这种感光剂，可以列举将萘醌二叠氮磺酰 氯或苯醌二叠氮磺酰氯等与具有能够与这些酰氯化物进行缩合反
应的官能团的低分子化合物或高分子化合物反应而得到的化合 物。这里，作为能够与酰氯化物縮合的官能团，可以列举羟基、 氨基等，而羟基特别适用。作为含羟基的能够与酰氯化物缩合的
化合物，可以列举例如对苯二酚、间苯二酚、2,4-羟基二苯酮、2,3,4-三羟基二苯酮、2，4,6-三羟基二苯酮、2,4,4，-三羟基二苯酮、2,3,4,4，-四羟基二苯酮、2,2，,4,4，-四轻基二苯酮、2,2，，3，4,6，-五羟基二苯酮 等羟基二苯酮类、二(2，4-二羟基苯基)曱烷、二(2，3,4-三经基苯基) 甲烷、二(2,4-二羟基苯基)丙烷等轻基苯基烷类、4,4，,3"，4"-四羟 基-3,5,3，,5，-四曱基三苯基曱烷、4,4，,2，，,3，，,4，，-五羟基-3,5，3，，5，-四曱基三苯基曱烷等羟基三苯基曱烷类等。它们可以单独使用， 并且也可以两种以上组合〗吏用。
另外，作为萘醌二叠氮磺酰氯或苯醌二叠氮磺酰氯等磺酰氯， 优选的可以列举例如1,2-萘醌二叠氮-5-磺酰氯、1,2-萘醌二叠氮-4-磺酰氯等。含醌二叠氮基的感光剂的混合量，每100重量份碱可 溶性树脂通常为5-50重量份，优选为10~40重量份。如果比该量 还要少，则会出现作为感光性树脂组合物不能获得足够的敏感度 的情况，另一方面，若比该量还要多，则会产生析出成分的问题， 因此需要注意。
本发明的图案形成方法中使用的感光性树脂组合物，含有上述混合溶剂、碱可溶性树脂、感光剂作为必需成分，并且还可以 进一步含有表面活性剂。表面活性剂的目的是保持感光性树脂组 合物的均一性、改善涂敷性等。特别是在将感光性树脂组合物涂 敷于基材上时，表面上会产生鳞片状紋理(以下称为"鳞片斑")， 而通过在本发明的感光性树脂组合物中使用表面活性剂，可以抑 制这种鳞片斑。本发明感光性树脂组合物中特别优选使用非离子 类表面活性剂。作为非离子类表面活性剂，包括氟类表面活性剂、 硅氧烷类表面活性剂、烃类表面活性剂等，特别优选使用氟类表 面活性剂。这些表面活性剂的混合量，相对于1重量份碱可溶性
树脂与感光剂的合计量，通常添力。200 10000ppm。若表面活性剂 的含量过多，则会引起显影不良等问题，因此需要注意。
本发明的图案形成方法中使用的感光性树脂组合物，根据需 要，还可以进一步含有添加剂，例如对比度增强剂、环氧基化合 物或含硅化合物等粘合助剂。这些添加剂，可以在不损害本发明 效果范围内，从以前已知的任意添加剂中选择。
本发明的图案形成方法中使用的感光性树脂组合物，用于通 过狭缝涂敷法(也称为缝模涂敷法或无旋涂敷法)进行的涂敷，但是 也可以用于旋涂法、浸渍涂敷法。并且，当用于狭缝涂敷法与减 压干燥组合的图案形成方法中时，本发明的效果将得到更强的表 现。当通过这种狭缝涂敷法将光致抗蚀剂组合物涂敷于基板时， 通常将光致抗蚀剂组合物储存于供给容器中，由此处经管道和涂 敷装置的喷嘴等涂敷于基板上。本发明的感光性树脂组合物，通 过这种狭缝涂敷法，可以高速地涂敷出没有膜脱落和涂敷斑的优 良涂膜。
采用本发明的感光性树脂组合物通过狭缝涂敷法形成光致抗蚀剂膜的基板，之后可以按照与以前相同的方法进行处理。通常， 在减压或真空条件下除去至少一部分溶剂，再根据需要通过烘焙 除去溶剂，按所需的图案进行图像曝光，并显影，再通过加热使 光致抗蚀剂膜固化。另外，在除去溶剂的工序中，不一定要将溶 剂全部从涂膜中除去，只要除去在后续的工序中不会产生妨碍的 程度即可。这些处理可根据制造的抗蚀剂图案的用途、感光性树 脂组合物的种类等任意地选择。
通过这种方法制造的光致抗蚀剂图案可以用于各种电子产品 的制造。在光致抗蚀剂膜中，由于膜面的均一性特别重要，本发 明的图案形成方法用于性能优良的电子产品如半导体元件的制造 是很有利的。并且，可以特别优选在需要通过狭缝涂敷等在较大 基板上形成光致抗蚀剂膜的领域如液晶显示器的制造中采用。
对本发明进行举例说明如下。
实施例1
相对于100重量份重均分子量以聚苯乙烯换算为8000的酚醛 树脂，加入25重量份2,3，4,4，-四羟基二苯酮与1，2-萘醌二叠氮-5-石黄酰氯的酯化物作为感光剂，相对于全部固体成分加入1000ppm 氟类表面活性剂少力'7 7 、乂夕R- 08(大日本油墨化学工业4朱式会 社生产的非离子性表面活性剂)，再加入丙二醇单曱醚乙酸酯与乙 二醇正丁基醚乙酸酯(在1个大气压、20。C条件下的蒸气压为20 Pa)的混合溶剂(混合重量比为70:30)，搅拌后用0.2pm的滤器进行 过滤，配制出本发明的感光性组合物。
实施例2
除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单甲醚乙酸酯与丙二醇二乙 酸酯(在1个大气压、20。C条件下的蒸气压为60 Pa)的混合溶剂(混合重量比为60:40)以外，与实施例1同样地进行，得到实施例2 的感光性组合物。 实施例3
除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单曱醚乙酸酯与3-乙氧基丙 酸乙酯(在1个大气压、20。C条件下的蒸气压为93 Pa)的混合溶剂 (混合重量比为40:60)以外，与实施例1同样地进行，得到实施例 3的感光性组合物。
实施例4
除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单甲醚乙酸酯与千醇(在1个大 气压、20。C条件下的蒸气压为13 Pa)的混合溶剂(混合重量比为90:10) 以外，与实施例l同样地进行，得到实施例4的感光性组合物。
实施例5
除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单曱醚乙酸酯与节醇(在l个 大气压、20。C条件下的蒸气压为13 Pa)的混合溶剂(混合重量比为 95:5)以外，与实施例1同样地进行，得到实施例5的感光性组合 物。
实施例6
除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单曱醚乙酸酯与乙二醇正丁 基醚乙酸酯(在1个大气压、20。C条件下的蒸气压为20 Pa)以及千 醇(在1个大气压、20。C条件下的蒸气压为13 Pa)的混合溶剂(混合 重量比为80:15:5)以外，与实施例1同样地进行，得到实施例6的 感光性组合物。
比專交例1
除了将溶解的溶剂替换成仅为丙二醇单曱醚乙酸酯以外，与 实施例1同样地进行，得到比较例1的感光性组合物。
14比丰交例2
除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单曱醚乙酸酯与乙酸正丁基
酯(在1个大气压、20。C条件下的蒸气压为1000 Pa)的混合溶剂(混 合重量比为40:60)以外，与实施例1同样地进行，得到比较例2 的感光性组合物。 比專交例3
除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单曱醚乙酸酯与乳酸乙酯 (在1个大气压、20。C条件下的蒸气压为279 Pa)的混合溶剂(混合 重量比为40:60)以外，与实施例1同样地进行，得到比较例2的 感光性组合物。
比4交例4
除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单曱醚乙酸酯与乙二醇乙醚 乙酸酯(在1个大气压、20。C条件下的蒸气压为160Pa)的混合溶剂 (混合重量比为60:40)以外，与实施例1同样地进行，得到比较例 4的感光性组合物。
比4交例5
除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单曱醚乙酸酯与乙二醇乙醚 乙酸酯(在1个大气压、20。C条件下的蒸气压为160Pa)的混合溶剂 (混合重量比为40:60)以外，与实施例1同样地进行，得到比较例 5的感光性组合物。
涂敷斑和涂敷均一性的鉴定
采用120mm x 200mm的带Cr的玻璃基板，在小型狭缝喷嘴 (宽100mm)离带Cr玻璃基板的距离为0.05mm的状态下进行狭缝 涂敷。涂敷速度设定为每秒100mm,涂敷后置入真空烘箱中进行 40秒真空干燥。40秒后的真空压力在室温下调节至约80 Pa。之 后在100 。C下于加热板上烘焙90秒钟后，得到2.Opm的抗蚀剂膜。
15将所得抗蚀剂膜在Na灯下观察有无鳞片斑和条紋斑，对涂敷斑进 行评价。涂敷均一性釆用于/ 7X、乂夕M6500型光干涉膜厚测定 器(于/ >卜]i夕7'"^亇^y抹式会社生产)测定膜厚进行评价。 其采用三等级进行评价，劣等品表示为1，微劣品表示为2,优良 品表示为3。
真空干燥时斑的鉴定
与上述涂敷斑和涂敷均一性的鉴定同样地采用狭缝喷嘴涂敷 后，在真空干燥烘箱中安装定位销，在其上设置带Cr玻璃基板进 行干燥。真空干燥后，在IOO'C下于加热板上干燥90秒钟，在Na 灯下评价真空干燥烘箱中的定位销痕迹强弱。采用三等级进行评 价，定位销痕迹明显的表示为1,定位销痕迹确认为很细微的表示 为2，没有鉴定到定位销痕迹的表示为3。
图案形状的测定
在4英寸的硅片上滴加少量后，以800转旋转2秒钟，得到 伪狭缝膜。然后，置入真空烘箱中进行40秒钟真空干燥。40秒钟 后的真空压力在室温下调节至约80 Pa。然后在100 。C下于加热板 上烘焙90秒钟后，得到2.0nm的抗蚀剂膜。将该抗蚀剂膜在二〕 y制造的g+h线步进器(FX- 604F)中进行曝光，在2.38重量％的 氢氧化四曱基铵水溶液中于23°C下显影60秒钟。将4.0pm掩模尺 寸的曝光部、未曝光部的比率为1:1的曝光部位在SEM下进行观 察。图1为其截面示意图。根据其形状采用三等级进行评价，近 似于倒锥形的图l(a)的情况，表示为1，形状稍好，近似于图l(b) 的情况，表示为2,形状为锥形的优良形状，近似于图l(c)的情况， 表示为3。
所得结果如表1中所示。表1
表1A:涂敷性和图案形状的评价结果
PGMEA的共溶剂涂敷斑涂敷真空干燥图案
含量比率(％)种类*含量比率(％)均一性时的斑形状
实施例170EBA303333
实施例260PGDA403222
实施例340EEP60332
实施例490BnA102333
实施例595BnA2322
实施例680EBA/BnA15/53333
比4交例1100—一1111
比4交例240n-BA601131
比4交例340EL602221
比4交例460ECA402121
比4交例540ECA603221
表1B:溶剂的蒸气压
l个大气压、20。C下的蒸气压(Pa)
EBA乙二醇正丁基醚乙酸酯20
PGDA丙二醇二乙酸酯60
EEP3-乙氧基丙酸乙酯93
BnA苄醇13
n-BA乙酸正丁酯1000
EL乳酸乙酯279
ECA乙二醇乙醚乙酸酯160
1权利要求
1、一种图案形成方法，其特征在于包括将感光性树脂组合物通过狭缝涂敷法涂敷于基板上使其形成涂膜，上述感光性树脂组合物含有碱可溶性树脂、感光剂和混合溶剂，上述混合溶剂含有丙二醇单甲醚乙酸酯和在1个大气压、20℃下蒸气压为150Pa以下的共溶剂；将所形成的涂膜进行减压干燥；继续进行加热干燥，以蒸发除去至少一部分溶剂；按所需图案进行图像曝光；进行显影使其形成图案；将显影后的图案进行加热使其固化。
2、 权利要求1所述的图案形成方法，其中上述共溶剂为选自 千醇、乙二醇丁基醚乙酸酯、丙二醇、丙二醇二乙酸酯、丙二醇 单烷基醚(烷基的碳原子数为4~5)、 二丙二醇二烷基醚(烷基的碳 原子数为1~5)、 二丙二醇单烷基醚(烷基的碳原子数为1 5)、 二甘 醇二烷基醚(烷基的碳原子数为2~5)、 二甘醇单烷基醚(烷基的碳 原子数为1~5)、 3-乙氧基丙酸乙酯、3-曱氧基-3-曱基丁基乙酸酯、 3-甲氧基-3-甲基丁醇、乳酸丁酯以及它们的混合物构成的群组中 的共溶剂。
3、 权利要求1或2所述的图案形成方法，其中上述共溶剂的 含量，基于全部混合溶剂的重量为5~70重量％。
4、 权利要求1~3任一项所述的图案形成方法，其进一步含有 表面活性剂。
5、 权利要求l-4任一项所述的图案形成方法，其所制造的图 案用于液晶显示器的制造。
6、 一种狭缝涂敷用感光性树脂组合物，其特征在于含有碱可 溶性树脂、感光剂和混合溶剂，上述混合溶剂含有丙二醇单曱醚 乙酸酯和在1个大气压、20。C下蒸气压为150 Pa以下的共溶剂。
7、 权利要求6所述的感光性树脂组合物，其在涂敷后进行减 压干燥。
全文摘要
本发明涉及一种图案的形成方法及其所使用的感光性树脂组合物。本发明提供可改善涂敷性和形成的图案形状的感光性树脂组合物及采用其的图案形成方法。该感光性树脂组合物含有碱可溶性树脂、感光剂和混合溶剂，上述混和溶剂含有丙二醇单甲醚乙酸酯和在20℃下蒸气压为150Pa以下的共溶剂。该组合物适合用于通过狭缝涂敷法进行涂敷的情况。
文档编号G03F7/004GK101553758SQ20078003942
公开日2009年10月7日 申请日期2007年12月21日 优先权日2006年12月25日
发明者河户俊二, 谷口克人, 远山宜亮 申请人:Az电子材料(日本)株式会社