专利名称：感光性树脂组合物的制作方法
技术领域：
本发明涉及感光性树脂组合物。
背景技术：
在近年来的液晶显示面板等中，为了形成光阻间隙、外覆层而使用感光性树脂组合物。作为这种感光性树脂组合物，已知有例如，含有不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐与脂肪族多环式环氧化合物的共聚物、聚合性化合物、光聚合引发剂和溶剂的感光性树脂组合物(专利文献1)。专利文献1 日本特开2008-181087号公报
发明内容
在使用感光性树脂组合物在同一基板上形成多个图案时，随着曝光量的变动，所得图案的宽度也大幅变化，此时基板上形成的图案的宽度也会参差不齐。在过去提出的感光性树脂组合物中，伴随着曝光量的变动而得到的图案的宽度变动量(曝光余白，exposure margin)有时未必能充分满足。本发明提供以下的方案[1] [8]。[1], 一种感光性树脂组合物，其含有下述(A)、(Bi)、(B2)、(C)和(D)，(Bi)的含量相对于(Bi)和(B2)的总量为5质量％ 80质量％的量，(A)包含具有脂环式烃结构的结构单元的树脂，(Bi):具有碳-碳不饱和键和脂环式烃结构的聚合性化合物，(B2)与(Bi)不同的聚合性化合物，(C)光聚合引发剂，(D)溶剂。[2],如上述[1]所述的感光性树脂组合物，其中，(C)是含有苯乙酮化合物的光聚合引发剂。[3],如上述[1]或[2]所述的感光性树脂组合物，其中，上述脂环式烃结构是桥环式烃结构。[4],如上述[1] [3]的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，(Bi)是具有脂环式烃结构和两个以上的碳-碳不饱和键的聚合性化合物。[5],如上述[1] [4]的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，(A)所具有的脂环式烃结构与(Bi)所具有的脂环式烃结构相同。[6],如上述[1] [5]的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，(A)是包含来自选自式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物组成的组中的至少一种的结构单元的加成聚合物，[化学式1]
权利要求
1.一种感光性树脂组合物，其含有下述A、Bi、B2、C和D，Bl的含量相对于Bl和B2的总量为5质量％ 80质量％的量，A 包含具有脂环式烃结构的结构单元的树脂，Bl 具有碳-碳不饱和键和脂环式烃结构的聚合性化合物，B2 与Bl不同的聚合性化合物，C:光聚合引发剂，D 溶剂。
2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，C是含有苯乙酮化合物的光聚合引发剂。
3.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述脂环式烃结构是桥环式烃结构。
4.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，Bl是具有脂环式烃结构和2个以上的碳-碳不饱和键的聚合性化合物。
5.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，A所具有的脂环式烃结构与Bl所具有的脂环式烃结构相同。
6.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，A是包含来自选自式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物组成的组中的至少一种的结构单元的加成聚合物，
7.一种图案，其使用权利要求1所述的感光性树脂组合物形成。
8.—种显示装置，其包含权利要求7所述图案。
全文摘要
一种感光性树脂组合物，其含有下述(A)、(B1)、(B2)、(C)和(D)，(B1)的含量相对于(B1)和(B2)的总量为5质量％～80质量％的量，(A)包含具有脂环式烃结构的结构单元的树脂，(B1)具有碳-碳不饱和键和脂环式烃结构的聚合性化合物，(B2)与(B1)不同的聚合性化合物，(C)光聚合引发剂，(D)溶剂。
文档编号G03F7/00GK102279527SQ20111015784
公开日2011年12月14日 申请日期2011年6月2日 优先权日2010年6月8日
发明者井上胜治, 松浦龙一 申请人:住友化学株式会社