感光性树脂组成物、保护膜及具有保护膜的元件的制作方法
【专利摘要】本发明涉及感光性树脂组成物、保护膜及具有保护膜的元件。一种感光性树脂组成物，包含：碱可溶性树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)、含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)，及溶剂(D)。其中，该含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)是硅烷材料的水解缩合产物，该硅烷材料包括具有式(I)结构的含硫醇基的硅烷：RaSi(ORb)3--?(I)式(I)中，Ra表示含硫醇基且不具有芳香环的C1至C8的有机基团，或含硫醇基且具有芳香环的有机基团；Rb表示氢、C1至C6的烷基、C1至C6的酰基，或C6至C15的芳香基，多个Rb各自为相同或不同。本发明还提供由上述感光性树脂组成物形成的保护膜，及具有该保护膜的元件。
【专利说明】感光性树脂组成物、保护膜及具有保护膜的元件
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种感光性树脂组成物，特别是涉及一种感光性树脂组成物、由此感光性树脂组成物所形成的断面形状佳且线膨胀系数低的保护膜，及具有该保护膜的元件。
【背景技术】
[0002]在液晶显示元件或固态成像装置等光学元件的制造过程中，必须通过在严苛条件下进行的处理编程，例如在基板表面形成配线电极层时，除需通过酸性溶剂或碱性溶液浸泡，或溅镀(Sputtering)等处理编程外，更会有局部高温伴随产生。为防止制造时受到损害，必须在元件表面上铺设保护膜。
[0003]保护膜除了能抵御上述处理编程的严苛条件，还需要与基板间保持优异的附着力，并具有高透明度、高表面硬度且平滑的表面，以及高耐热性与耐光性，使保护膜于长期使用下不会有变色、黄化或白化等变质情况发生。此外，该保护膜还需要具有良好的耐水性、耐化性、耐溶剂性、耐酸性，及耐碱性等特性。
[0004]JP2001-354822公开一种适用于形成保护膜的感放射线性树脂组成物，包含[A]由不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐、含有环氧基的不饱和化合物、顺丁烯二酰亚胺系单体，及其他烯烃系不饱和化合物形成的共聚物，与[B] 1，2-二叠氮化合物；其中，基于[A]为100重量份，[B]的使用量为5至100重量份。该树脂组成物具有较高的感度，所形成的保护膜具备良好耐热性及耐溶剂性，但却有断面形状不佳、线膨胀系数高的问题，导致配线电极层难以精准铺设，且造成元件受损。
[0005]由上述可知，为防止光学元件于制造时受到损伤，并考量后续配线电极层的铺设，有必要发展一种适用于形成具有断面形状佳及`线膨胀系数低等优点的保护膜的感光性树脂组成物。
【发明内容】
[0006]本发明的第一目的，在于提供一种感光性树脂组成物，其所形成的保护膜具备适于后续制程的断面形状及低线膨胀系数。本发明感光性树脂组成物，包含碱可溶性树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)、含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)，及溶剂(D)。其中，该含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)是硅烷材料的水解缩合产物，该硅烷材料包括具有式
(I)结构的含硫醇基的硅烷;
[0007]RaSi(ORb)3 (I)
[0008]式(I)中，Ra表示含硫醇基且不具有芳香环的(^至(:8的有机基团，或含硫醇基且具有芳香环的有机基团；Rb表不氧、C1至C6的烷基、C1至C6的酸基，或C6至C15的芳香基，多个Rb各自为相同或不同。
[0009]本发明感光性树脂组成物，所述碱可溶性树脂(A)由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(al)、含环氧基的不饱和化合物(a2)，及其他不饱和化合物(a3)共聚合而得。
[0010]本发明感光性树脂组成物，基于碱可溶性树脂㈧的总量为100重量份，邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)的使用量为10至50重量份；含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)的使用量为0.5至20重量份；溶剂⑶的使用量为100至800重量份。
[0011]本发明感光性树脂组成物，所述硅烷材料还包括交联性化合物，所述交联性化合物是至少一种选自由下列所构成的组的化合物:单烷氧基硅烷、二烷氧基硅烷、三烷氧基硅烧、四烷氧基硅烷、四烷氧基钦，及四烷氧基错。
[0012]本发明的第二目的，在于提供一种断面形状佳且线膨胀系数低的保护膜。
[0013]于是，本发明保护膜，是将如前所述的感光性树脂组成物涂布于基材上，再经预烤、曝光、显影及后烤处理后所形成的。
[0014]本发明的第三目的，在于提供一种具有保护膜的元件。
[0015]本发明具有保护膜的元件，包含基材以及形成于所述基材上的如上所述的保护膜。
[0016]本发明的有益效果在于:本发明感光性树脂组成物通过添加所述含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)，形成断面形状佳且线膨胀系数低的保护膜。
【专利附图】
【附图说明】
图1是一示意图，说明应用例及应用比较例具有图样的保护膜的断面形状； 图2是一示意图，说明应用例及应用比较例具有图样的保护膜的断面形状；
图3是一示意图，说明应用例及应用比较例具有图样的保护膜的断面形状 '及 图4是一示意图，说明应用例及应用比较例具有图样的保护膜的断面形状。
【具体实施方式】
[0017]首先要说明的是，在本文中，该(甲基)丙烯酸表示丙烯酸和/或甲基丙烯酸；(甲基)丙烯酰[(meth)acryloyl]表示丙烯酰(acryloyl)和/或甲基丙烯酰[methacryloyl]；(甲基)丙烯酸酯[(meth)acrylate]表示丙烯酸酯(acrylate)和/或甲基丙烯酸酯(methacrylate)。
[0018]本发明感光性树脂组成物，包含碱可溶性树脂㈧、邻萘醌二叠氮磺酸酯⑶、含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)，及溶剂(D);其中，该倍半硅氧烷(C)是硅烷材料的水解缩合广物，该硅烷材料包括具有式(I)结构的含硫醇基的硅烷；
[0019]RaSi(ORb)3 (I)
[0020]式(I)中，Ra表示含硫醇基且不具有芳香环的(^至(:8的有机基团，或含硫醇基且具有芳香环的有机基团；Rb表不氧、C1至C6的烷基、C1至C6的酸基，或C6至C15的芳香基，多个Rb各自为相同或不同。
[0021]以下将逐一对碱可溶性树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)、含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)，以及溶剂(D)进行详细说明:
[0022][碱可溶性树脂(A)]
[0023]该碱可溶性树脂(A)是指可溶于碱性水溶液中的树脂，其结构并没有特别限制。
[0024]较佳地，该碱可溶性树脂㈧是指含羧酸基的树脂或苯酚-酚醛清漆(phenol-novolac)树脂；又较佳地,该碱可溶性树脂(A)由混合物在聚合起始剂存在下进行共聚合反应所制得，该混合物可包含:(i)不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(al)及含环氧基的不饱和化合物(a2) ；(ii)不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(al)、含环氧基的不饱和化合物(a2)，及其他不饱和化合物(a3) ；(iii)不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(al)及其他不饱和化合物(a3)。
[0025]<不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(al) >
[0026]基于碱可溶性树脂(A)聚合时化合物的使用量为100重量份，该不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(al)的用量范围为5至50重量份。较佳地，该不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(al)的用量范围为8至45重量份。更佳地，该不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(al)的用量范围为10至40重量份。
[0027]该不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(al)是指包含羧酸基或羧酸酐结构及聚合结合用的不饱和键的化合物，其结构并没有特别限制，例如但不限于:不饱和单羧酸化合物、不饱和二羧酸化合物、不饱和羧酸酐化合物、多环型不饱和羧酸化合物、多环型不饱和二羧酸化合物、多环型不饱和酸酐化合物。
[0028]该不饱和单羧酸化合物包含但不限于:(甲基)丙烯酸、丁烯酸、α -氯丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2_(甲基)丙烯酰乙氧基丁二酸酯[2_(meth)acryloyloxyethylsuccinate monoester]、2_ (甲基)丙烯酰乙氧基六氢化苯二甲酸酯、2_ (甲基)丙烯酰乙氧基苯二甲酸酯、ω-羧基聚己内酯多元醇单丙烯酸酯(商品名为ARONIX Μ-5300，东亚合成制)等。
[0029]该不饱和二羧酸化合物包含但不限于:马来酸、富马酸、甲基富马酸、衣康酸、柠康酸等。
[0030]该不饱和羧酸酐化合物包含但不限于前述不饱和二羧酸化合物的酸酐化合物。
[0031]该多环型不饱和羧酸化合物包含但不限于:5_羧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5_羧基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基双环[2.2.1]庚_2_烯、5-羧基-6-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯等。
[0032]该多环型不饱和二羧酸化合物包含但不限于:5，6-二羧酸二环[2.2.1]庚-2-烯。
[0033]该多环型不饱和二羧酸酐化合物包含但不限于前述多环型不饱和二羧酸化合物的酸酐化合物。
[0034]较佳地，该不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(al)选自丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐、2-甲基丙烯酰乙氧基丁二酸酯，或2-甲基丙烯酰基乙氧基六氢化苯二甲酸。上述化合物可单独或混合多种使用。
[0035]〈含环氧基的不饱和化合物(a2)>
[0036]基于碱可溶性树脂(A)聚合时化合物的使用量为100重量份，该含环氧基的不饱和化合物(a2)的用量范围为10至70重量份，较佳地，该含环氧基的不饱和化合物(a2)的用量范围为20至70重量份。更佳地，该含环氧基的不饱和化合物(a2)的用量范围为25至65重量份。
[0037]该含环氧基的不饱和化合物(a2)例如但不限于:含环氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物、含环氧基的α -烷基丙烯酸酯化合物、环氧丙醚化合物。
[0038]该含环氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物例如但不限于:(甲基)丙烯酸环氧丙酯[glycidyl (meth) acrylate]、(甲基)丙烯酸2_甲基环氧丙酯、(甲基)丙烯酸3，4_环氧丁酯、(甲基)丙烯酸6，7-环氧庚酯、(甲基)丙烯酸3，4-环氧环己酯、(甲基)丙烯酸3，4_ 环氧环己基甲酯[3，4-Epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate]等。
[0039]该含环氧基的α -烷基丙烯酸酯化合物例如但不限于:α _乙基丙烯酸环氧丙酯、 正丙基丙烯酸环氧丙酯、α-正丁基丙烯酸环氧丙酯、α-乙基丙烯酸6，7-环氧庚酯
坐寸ο
[0040]该环氧丙醚化合物例如但不限于:邻-乙烯基苯甲基环氧丙醚(o-vinylbenzylglycidylether)、间-乙烯基苯甲基环氧丙醚(m-vinylbenzylglycidylether)、对-乙烯基苯甲基环氧丙醚(p-viny lbenzy lglyc idyl ether)等。
[0041]较佳地，该含环氧基的不饱和化合物(a2)选自甲基丙烯酸环氧丙酯、(甲基)丙烯酸3，4-环氧环己基甲酯、甲基丙烯酸6，7-环氧庚酯、邻-乙烯基苯甲基环氧丙醚、间-乙烯基苯甲基环氧丙醚，及对-乙烯基苯甲基环氧丙醚。
[0042]<其他不饱和化合物(a3) >
[0043]基于碱可溶性树脂(A)聚合时化合物的使用量为100重量份，该其他不饱和化合物(a3)的用量范围为O至70重量份。较佳地，该其他不饱和化合物(a3)的用量范围为O至60重量份。更佳地，该其他不饱和化合物(a3)的用量范围为O至55重量份。
[0044]该其他不饱和化合物(a3)例如但不限于:(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸脂环族酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、不饱和二羧酸二酯、(甲基)丙烯酸羟烷酯、(甲基)丙烯酸酯的聚醚、芳香族乙烯基化合物及其他不饱和化合物。
[0045]该(甲基)丙烯酸烷基酯包含但不限于:(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯等。
[0046]该(甲基)丙烯酸脂环族酯包含但不限于:(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基环己酯、三环[5.2.1.02，6]癸-8-基(甲基)丙烯酸酯(或称为(甲基)丙烯酸双环戍酯[dicyclopentanyl (meth) acrylate])、(甲基)丙烯酸二环戍氧基乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯等。
[0047]该(甲基)丙烯酸芳基酯包含但不限于:(甲基)丙烯酸苯基酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯[benzyl (meth) acrylate]等。
[0048]该不饱和二羧酸二酯包含但不限于:马来酸二乙酯、富马酸二乙酯、衣康酸二乙酯
坐寸ο
[0049]该(甲基)丙烯酸羟烷酯包含但不限于:(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯[2-hydroxyethyl (meth) acrylate] > (甲基)丙烯酸-2-轻基丙酯等。
[0050]该(甲基)丙烯酸酯的聚醚包含但不限于:聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯等。
[0051]该芳香族乙烯基化合物包含但不限于:苯乙烯、α -甲基苯乙烯、间-甲基苯乙烯，对-甲基苯乙烯、对-甲氧基苯乙烯等。
[0052]该其他不饱和化合物包含但不限于:丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙烯乙酯、1，3- 丁二烯、异戊二烯、2，3- 二甲基1，3- 丁二烯、氮-环己基马来酰亚胺、氮-苯基马来酰亚胺、氮-苄基马来酰亚胺，氮-丁二酰亚胺基-3-马来酰亚胺苯甲酸酯、氮-丁二酰亚胺基-4-马来酰亚胺丁酸酯、氮-丁二酰亚胺基-6-马来酰亚胺己酸酯、氮-丁二酰亚胺基-3-马来酰亚胺丙酸酯、氮-(9-吖啶基)马来酰亚胺等。
[0053]较佳地，该其他不饱和化合物(a3)选自(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸双环戊酯、(甲基)丙烯酸二环戊氧基乙酯、苯乙烯，或对-甲氧基苯乙烯。上述化合物可单独或混合多种使用
[0054]制备该碱可溶性树脂(A)时所用的溶剂包含但不限于(I)醇类化合物:甲醇、乙醇、苯甲醇、2-苯乙醇，或3-苯基-1-丙醇等；(2)醚类化合物:四氢呋喃等；(3) 二醇醚类化合物:乙二醇单丙醚、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚等；(4)乙二醇烷基醚醋酸酯:乙二醇丁醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、乙二醇甲醚醋酸酯等；(5) 二乙二醇类化合物:二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、二乙二醇二甲醚(diethylene glycoldimethyl ether)、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲乙醚等；(6) 二丙二醇类化合物:二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、二丙二醇甲乙醚等；(7)丙二醇单烷基醚类化合物:丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单丙醚、丙二醇单丁醚等；(8)丙二醇烧基醚醋酸酯类化合物:丙二醇甲醚醋酸酯(Propylene glycol monomethyl etheracetate)、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯、丙二醇丁醚醋酸酯等；(9)丙二醇烷基醚丙酸酯类化合物:丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇丁醚丙酸酯等；(10)芳香烃类化合物:甲苯、二甲苯等；(11)酮类化合物:甲乙酮、环己酮、二丙酮醇等；(12)酯类化合物:乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羟基丙酸乙酯、
2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、羟乙酸甲酯、羟乙酸乙酯、羟乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羟基丙酸甲酯、3-羟基丙酸乙酯、3-羟基丙酸丙酯、
3-羟基丙酸丁酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2- 丁氧基丙酸甲酯、2- 丁氧基丙酸乙酯、2- 丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯
坐寸ο
[0055]较佳地，制备该碱可溶性树脂(A)时所用的溶剂选自二乙二醇二甲醚或丙二醇甲醚醋酸酯。该溶剂可单独或混合使用。
[0056]制备该碱可溶性树脂(A)时所使用的聚合起始剂包含但不限于偶氮化合物或过氧化物，可单独或混合使用。
[0057]该偶氮化合物例如但不限于:2，2’-偶氮双异丁腈、2，2’-偶氮双(2，4_ 二甲基戊臆)[2，2’ -Azobis (2, 4-dimethylvaleronitriIe) ]、2，2，-偶氮双(4-甲氧基-2, 4- 二甲基戍腈)、2，2’-偶氮双-2-甲基丁腈[2, 2’ -azobis-2-methyl butyronitrile]、4，4’-偶氮双(4-氰基戊酸)、二甲基2，2’-偶氮双(2-甲基丙酸酯)、2，2’-偶氮双(4-甲氧基-2，4- 二甲基戍臆)等。
[0058]该过氧化物例如但不限于:过氧化二苯甲酰、过氧化十二酰、叔丁基过氧化叔戊酸酯、1，1-双(叔丁基过氧化)环己烷、过氧化氢等。
[0059]该碱可溶性树脂(A)的分子量的调整，可通过使用单一种树脂，或可使用两种或两种以上不同分子量的树脂。较佳地，该碱可溶性树脂(A)的重量平均分子量为3，000至100，000 ;又较佳地为4，000至80，000 ;更佳地为5，000至60，000。
[0060][邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)]
[0061]该感光性树脂组成物中的邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)没有特别的限制，可选用一般所使用的。该邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)是可为完全酯化或部分酯化的酯化物。较佳地，该邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)是由邻萘醌二叠氮磺酸或其盐类与羟基化合物反应所制得。更佳地，该邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)是由邻萘醌二叠氮磺酸或其盐类与多元羟基化合物反应所制得。 [0062]该邻萘醌二叠氮磺酸包含但不限于邻萘醌二叠氮-4-磺酸、邻萘醌二叠氮-5-磺酸、邻萘醌二叠氮-6-磺酸等。该邻萘醌二叠氮磺酸的盐类可例如但不限于邻萘醌二叠氮磺酸卤盐。
[0063]该羟基化合物可单独或混合使用，且该羟基化合物包含但不限于:
[0064](I)羟基二苯甲酮类化合物，例如但不限于2，3，4-三羟基二苯甲酮、2，4，4’ -三羟基二苯甲酮、2，4，6-三羟基二苯甲酮、2，3，4，4’ -四羟基二苯甲酮、2，4，2’，4’ -四羟基二苯甲酮、2，4，6，3，，4，-五羟基二苯甲酮、2，3，4，2，，4，-五羟基二苯甲酮、2，3，4，2，，5，-五羟基二苯甲酮、2，4，5，3，，5，-五羟基二苯甲酮、2，3，4，3，，4，，5，-六羟基二苯甲酮等。
[0065](2)羟基芳基类化合物，例如但不限于由式(a)所示的羟基芳基类化合物:
[0066]...............1 ~~~ βIIIiWiWi?^/
(OHl IR0k
'λ RwRuRq
R
(OH)y(a)
[0067]式(a)中，Rm至R°表不氢原子或C1至C6的烷基；RP至Ru表不氢原子、卤素原子、C1至C6的烷基、C1至C6的烷氧基(alkoxy)、C1至C6的链烯基(alkenyl)，或环烷基(cycloalkyl) ；RV及Rw表示氢原子、卤素原子及C1至C6的烷基；x、y及z表示I至3的整数；k表示O或I。上式(a)所示的羟基芳基类化合物例如但不限于三(4-羟基苯基)甲烷、双(4-羟基-3，5-二甲基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-3，5-二甲基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-3，5- 二甲基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2，5- 二甲基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2，5-二甲基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2，5- 二甲基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-3，5- 二甲基苯基)-3，4- 二羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2，5-二甲基苯基)-3,4-二羟基苯基甲烷、双(4-羟基-3，5-二甲基苯基)-2，4- 二羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2，5- 二甲基苯基)-2，4- 二羟基苯基甲烷、双(4-羟基苯基)-3-甲氧基-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)-3_羟基苯基甲烧、双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)-4_羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)-3，4-二羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基-4-甲基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基-4-甲基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基-4-甲基苯基)-3，4_ 二羟基苯基甲烷、1-[1-(4_羟基苯基)异丙基]_4-[1，1-双(4-羟基苯基)乙基]苯、1-[1-(3-甲基-4-羟基苯基)异丙基]-4-[1，1-双(3-甲基-4-羟基苯基)乙基]苯等°
[0068](3)(羟基苯基)烃类化合物，例如但不限于由式(b)所示的(羟基苯基)烃类化
合物:
[0069]
【权利要求】
1.一种感光性树脂组成物，其特征在于包含: 碱可溶性树脂(A)； 邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)； 含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C);及 溶剂⑶； 其中，所述含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)是硅烷材料的水解缩合产物，所述硅烷材料包括具有式(I)结构的含硫醇基的硅烷；
RaSi(ORb)3 (I) 式(I)中，Ra表示含硫醇基且不具有芳香环的C1至C8的有机基团，或含硫醇基且具有芳香环的有机基团；Rb表示氢、C1至C6的烷基、C1至C6的酰基，或C6至C15的芳香基，多个Rb各自为相同或不同。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物，其特征在于，所述碱可溶性树脂(A)由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(al)、含环氧基的不饱和化合物(a2)，及其他不饱和化合物(a3)共聚合而得。
3.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物，其特征在于，基于碱可溶性树脂(A)的总量为100重量份，邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)的使用量为10至50重量份；含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)的使用量为0.5至20重量份；溶剂(D)的使用量为100至800重量份。
4.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物，其特征在于，所述硅烷材料还包括交联性化合物，所述交联性化合物是至少一种选自由下列所构成的组的化合物:单烷氧基硅烷、二烷氧基硅烷、二烷氧基硅烷、四烷氧基硅烷、四烷氧基钦，及四烷氧基错。
5.一种保护膜，其特征在于，是将根据权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组成物涂布于基材上，再经预烤、曝光、显影及后烤处理后所形成的。
6.一种具有保护膜的元件，其特征在于，其包含基材以及根据权利要求5所述的保护膜。
【文档编号】G03F7/004GK103728833SQ201310432700
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2013年9月22日 优先权日:2012年9月27日
【发明者】陈凯民, 施俊安 申请人:奇美实业股份有限公司