技术总结
本发明的目的为提供一种抗蚀剂图案的形成方法，其能够形成抗蚀剂形状良好、能够减少抗蚀剂卷边的产生且密合性和纵横比得以提高的抗蚀剂图案，本发明提供一种抗蚀剂图案的形成方法，其包含：使用投影曝光用感光性树脂组合物在基板上形成感光性树脂层的工序、使用投影出光掩模图像的活性光线隔着透镜对上述感光性树脂层进行曝光的工序、以及通过显影从基板上去除上述感光性树脂层的未曝光部的工序，上述投影曝光用感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、以及(C)光聚合引发剂，上述感光性树脂层在波长365nm下的透光率大于或等于58.0％且小于或等于95.0％。
技术研发人员：粂壮和;宗像桃子
受保护的技术使用者：日立化成株式会社
文档号码：201480079150
技术研发日：2014.12.17
技术公布日：2017.02.22