正型感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机el显示装置及液晶显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物（以下，有时简称为"感光性树脂组合 物"、"本发明的组合物")。另外，本发明涉及一种使用上述正型感光性树脂组合物的硬化膜 的制造方法、使正型感光性组合物硬化而成的硬化膜、及使用上述硬化膜的各种图像显示 装置。
[0002] 更详细而言，本发明涉及一种正型感光性树脂组合物及使用其的硬化膜 的制造方法，上述正型感光性树脂组合物适于形成液晶显示装置、有机电致发光 (Electroluminescence，EL)显示装置、集成电路元件、固体摄像元件等电子零件的平坦化 膜、保护膜或层间绝缘膜。
【背景技术】
[0003] 在有机EL显示装置或液晶显示装置等中，设有经图案形成的层间绝缘膜。在形成 该层间绝缘膜时，就用以获得必要的图案形状的步骤数少、而且可获得充分的平坦性等方 面而言，广泛使用感光性树脂组合物（专利文献1、专利文献2)。
[0004] [现有技术文献]
[0005] [专利文献]
[0006] [专利文献1]国际公开2007/122929号手册 [0007][专利文献2]日本专利特开2011-48064号公报
【发明内容】
[0008] 发明要解决的课题
[0009] 本申请发明人对上述专利文献1进行了研宄，结果得知，当使用专利文献1中记载 的二硫醚化合物时，感度、透明性、与基板的密接性等用以形成层间绝缘膜的感光性树脂组 合物所需求的性能不充分。
[0010] 本发明解决该现有技术的课题，且其目的在于提供一种感度高、与基板的密接性 优异、透明性优异的正型感光性树脂组合物。
[0011] 解决问题的技术手段
[0012] 根据上述状况，本申请发明人进行了努力研宄，结果发现，通过在正型感光性树脂 组合物中使用含有硅原子的硫醚化合物，可提供一种感度高、与基板的密接性优异、透明性 优异的正型感光性树脂组合物，从而完成了本发明。
[0013] 具体而言，通过下述〈1>的手段、优选为〈2>?〈15>的手段而解决了上述课题。
[0014] 〈1> 一种正型感光性树脂组合物，其含有：
[0015] (成分A)碱可溶性树脂；
[0016] (成分B) 1，2-醌二叠氮化合物；以及
[0017](成分X)下述通式⑴所表示的化合物；
[0018] [化 1]
[0019]
【主权项】
1. 一种正型感光性树脂组合物，其含有： (成分A)碱可溶性树脂； (成分B) 1，2-醌二叠氮化合物；以及 (成分X)下述通式（I)所表示的化合物； [化1]
(通式（I)中，R1?R6分别独立地表示烃基或烷氧基，L1及L2分别独立地表示亚烷基、 亚芳基或包含所述基的组合的基团，n表示2?4的整数）。
2. 根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中碱可溶性树脂为含有（al)具有 酸基的重复单元、及（a2)具有交联性基的重复单元的共聚物。
3. 根据权利要求2所述的正型感光性树脂组合物，其中所述结构单元（al)为具有羧基 和/或酚性羟基的重复单元。
4. 根据权利要求2或3所述的正型感光性树脂组合物，其中所述结构单元（a2)为具有 环氧基和/或氧杂环丁基的重复单元。
5. 根据权利要求1至4中任一项所述的正型感光性树脂组合物，其中所述（成分X)的 调配量为组合物的总固体成分中的1质量％?25质量％。
6. 根据权利要求1至5中任一项所述的正型感光性树脂组合物，其中R1?R6分别独 立地为碳数1?6的烧基或碳数1?6的烧氧基。
7. 根据权利要求1至6中任一项所述的正型感光性树脂组合物，其中L1及L2分别独 立地为碳数1?8的亚烷基、亚苯基或包含所述基的组合的基团。
8. 根据权利要求1至7中任一项所述的正型感光性树脂组合物，其中n为3或4。
9. 一种硬化膜的形成方法，其包括： (1) 将根据权利要求1至8中任一项所述的正型感光性树脂组合物应用于基板上的步 骤； (2) 对所应用的正型感光性树脂组合物进行烘烤的预烘烤步骤； (3) 利用光化射线或放射线对经烘烤的正型感光性树脂组合物进行曝光的步骤； (4) 利用水性显影液对经曝光的正型感光性树脂组合物进行显影的步骤；及 (5) 对经显影的正型感光性树脂组合物进行热硬化的后烘烤步骤。
10. 根据权利要求9所述的硬化膜的形成方法，其中在所述显影步骤后、所述后烘烤步 骤前，包括（6)对经显影的正型感光性树脂组合物进行全面曝光的步骤。
11. 根据权利要求9或10所述的硬化膜的形成方法，其还包括对具有进行热硬化所得 的硬化膜的基板进行干式蚀刻的步骤。
12. 根据权利要求9至11中任一项所述的硬化膜的形成方法，其中在200°C以上进行 所述热硬化。
13. -种硬化膜，其是由根据权利要求9至12中任一项所述的硬化膜的形成方法而形 成。
14. 根据权利要求13所述的硬化膜，其为层间绝缘膜。
15. -种有机EL显示装置或液晶显示装置，其具有根据权利要求13或14所述的硬化 膜。
【专利摘要】本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其感度高，且密接性、透明性及绝缘性优异。本发明的正型感光性树脂组合物含有(成分A)碱可溶性树脂、(成分B)1，2-醌二叠氮化合物、及(成分X)下述通式(I)所表示的化合物。n表示2～4的整数。
【IPC分类】C08F220-06, H05B33-12, G02F1-1333, H01L51-50, H05B33-22, G03F7-023, G03F7-075
【公开号】CN104583870
【申请号】CN201380043962
【发明人】山田悟
【申请人】富士胶片株式会社
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2013年7月5日
【公告号】WO2014030441A1