液晶显示器玻璃基板蚀刻承载治具及顶喷式蚀刻机的制作方法_2

文档序号:9274069阅读:来源:国知局
在导流孔152周壁范围内形成的最大圆孔以外的部分。更进一步的,所述导流孔152的长轴延伸方向与所述沟槽151延伸方向相同。
[0029]请一并参阅图4,具体的,以所述导流孔152的轴线为中心画圆,该圆为所述椭圆形导流孔152范围内最大的圆,除去该圆所在的部分的其它部分为本实施例中的辅助导流区153,所述辅助导流区153截面即为椭圆的一部分,本实施例中,所述辅助导流区153为沿着导流孔152位于底面1510的孔口向底面1510内凹陷并远离导流孔152延伸形成,所述辅助导流区153截面为椭圆长轴两端延伸方向的月牙型部分,如图2所示的A部分。
[0030]请参阅图2,所述玻璃基板20包括两个相对的外表面21,所述辅助导流区153位于所述两个外表面21外侧。将玻璃基板20放置于所述承载板15的沟槽151内位于导流孔152的正上方,所述玻璃基板20的两个外表面21的边缘与沟槽151的底面1510抵持,玻璃基板20的侧面与所述导流孔152的正对且具有间隙,所述辅助导流区153位于外表面21外侧的位置远大于所述玻璃基板的宽度。对玻璃基板20使用蚀刻液进行喷淋时,蚀刻液顺着外表面21流淌到沟槽151内,经导流孔152流出沟槽151,由于辅助导流区153的存在,为蚀刻液提供了足够的空间,避免在玻璃基板20的外表面21与沟槽151接触位置产生蚀刻液堆积在沟槽内而使外表面产生过度腐蚀形成水波纹表面,保证了玻璃面板的蚀刻质量。
[0031]请参阅图5与图6,本发明的另一实施例中,与上述实施方式不同之处在于:所述辅助导流区155为向导流孔152轴心方向切割所述沟槽151底面形成,所述辅助导流区155的轴截面为漏斗状且包括位于沟槽151底面1510的顶口 1551及底口 1552,所述顶口 1551的直径大于所述底口 1552直径,且底口 1552直径与所述导流孔152直径相同。具体的,所述辅助导流区155为一漏斗状且套于导流孔152 —端周缘与导流孔152连通,所述辅助导流区155的内壁为倾斜的表面,即形成如图5所示的具有长孔径的漏斗形状。所述辅助导流区155位于外表面21外侧的位置远大于所述玻璃基板的宽度。对玻璃基板20使用蚀刻液进行喷淋时,蚀刻液顺着外表面21流淌到沟槽151内,蚀刻液经辅助导流区153流至导流孔152后流出,由于辅助导流区155的存在,为蚀刻液提供了足够的空间,避免在玻璃基板20的外表面21与沟槽151接触位置产生蚀刻液堆积而使外表面产生过度腐蚀形成水波纹表面,保证了玻璃面板的蚀刻质量。另外,本实施例中的所述辅助导流区155没有完全贯通所述承载板15,在不改变承载板15的厚度情况下保证了承载板15的强度。
[0032]本发明的承载治具的导流孔外围具有辅助导流区,可以有效防止蚀刻液在沟槽内堆积在导流孔周围而在玻璃基板边缘形成水波纹现象,保证了玻璃基板表面的质量。
[0033]以上所述是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种液晶显示器玻璃基板蚀刻承载治具,其特征在于,所述承载治具包括边框及位于边框内的至少一个承载板,所述至少一个承载板相对两端与边框固定,所述至少一个承载板的表面设有沟槽,所述沟槽沿着至少一个承载板的的延伸方向延伸,所述沟槽的底面上设有数个贯通至少一个承载板的导流孔,所述导流孔位于所述沟槽底面的端部边缘设有辅助导流区,所述辅助导流区与导流孔联通。2.如权利要求1所述的液晶显示器玻璃基板蚀刻承载治具,其特征在于,所述导流孔横截面为椭圆形,所述辅助导流区贯通所述承载板,并且辅助导流区为以导流孔轴线为中心在导流孔周壁范围内形成的最大圆孔以外的部分。3.如权利要求1所述的液晶显示器玻璃基板蚀刻承载治具,其特征在于,所述辅助导流区为向导流孔轴心方向切割所述沟槽底面形成,所述辅助导流区的轴截面为漏斗状且包括位于沟槽底面的顶口及底口,所述顶口的直径大于所述底口直径,且底口直径与所述导流孔直径相同。4.如权利要求2所述的液晶显示器玻璃基板蚀刻承载治具,其特征在于,所述导流孔的长轴延伸方向与所述沟槽延伸方向相同。5.如权利要求3或4任一项所述的液晶显示器玻璃基板蚀刻承载治具,其特征在于,所述玻璃基板包括两个相对的外表面,所述辅助导流区位于所述两个外表面外侧。6.如权利要求5任一项所述的承载治具,其特征在于,所述承载板为数个间隔排列于所述边框内的条形板体。7.一种顶喷式蚀刻机,用于液晶显示器玻璃基板进行蚀刻,其包括承载治具,其特征在于,所述承载治具包括边框及位于边框内的至少一个承载板,所述至少一个承载板相对两端与边框固定,所述至少一个承载板的表面设有沟槽,所述沟槽沿着至少一个承载板的的延伸方向延伸,所述沟槽的底面上设有数个贯通承载板的导流孔,所述导流孔位于所述沟槽底面的端部边缘设有辅助导流区,所述辅助导流区与导流孔联通。8.如权利要求7所述的顶喷式蚀刻机,其特征在于,所述导流孔横截面为椭圆形,所述辅助导流区贯通所述承载板,并且辅助导流区为以导流孔轴线为中心在导流孔周壁范围内形成的最大圆孔以外的部分。9.如权利要求7所述的顶喷式蚀刻机,其特征在于,所述辅助导流区为向导流孔轴心方向切割所述沟槽底面形成,所述辅助导流区的轴截面为漏斗状且包括位于沟槽底面的顶口及底口,所述顶口的直径大于所述底口直径,且底口直径与所述导流孔直径相同。10.如权利要求8所述的顶喷式蚀刻机,其特征在于,所述导流孔的长轴延伸方向与所述沟槽延伸方向相同。
【专利摘要】本发明提供一种液晶显示器玻璃基板蚀刻承载治具,所述承载治具包括边框及位于边框内的至少一个承载板,所述至少一个承载板相对两端与边框固定,所述至少一个承载板的表面设有沟槽,所述沟槽沿着至少一个承载板的延伸方向延伸,所述沟槽的底面上设有数个贯通承载板的导流孔,所述导流孔位于所述沟槽底面的端部边缘设有辅助导流区,所述辅助导流区与导流孔联通。
【IPC分类】G02F1/13
【公开号】CN104991357
【申请号】CN201510366230
【发明人】刘亮, 尹德胜
【申请人】武汉华星光电技术有限公司
【公开日】2015年10月21日
【申请日】2015年6月26日
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