制备的溶剂和酸或碱催化剂的种类和其量不受特定限制。水解聚合可W在 20°C或更低的低溫下进行，但反应也可W通过加热或回流促进。反应所需要的时间可W取 决于硅烷单体的种类和浓度、反应溫度等而变化。常规地，获得重量平均分子量是5, 000到 50, 000的缩合物所需要的反应时间在15分钟到30天范围中；然而，本发明中的反应时间 不限于此。
[0036] 硅氧烷聚合物（A)可W包含衍生自由式（I)表示的硅烷化合物的结构单元，其中 η是0 (即Q型结构单元）。优选地，按Si原子的总摩尔数计，硅氧烷聚合物（A)包含10摩 尔％到60摩尔％的量的衍生自由式（I)表示的硅烷化合物的结构单元，其中η是0。如本 文所用，术语"按Si原子的总摩尔数计的摩尔％"是指W构成硅氧烷聚合物（Α)的所有结 构单元中所含有的Si原子的总摩尔数计，特定结构单元中所含有的Si原子的摩尔数的百 分比。当所述量在优选范围内时，感光性树脂组合物可W将图案形成期间其于碱性水溶液 中的溶解度维持在适当范围，由此防止由组合物的溶解度减小或溶解度急剧增加所导致的 任何缺陷。
[0037] 此外，硅氧烷聚合物（A)可包含衍生自由式（I)表示的硅烷化合物的结构单元，其 中η是1 (即T型结构单元）。优选地，按Si原子的总摩尔数计，硅氧烷聚合物（A)包含30 摩尔％到90摩尔％的量，更优选50摩尔％到80摩尔％的量的衍生自由式（I)表示的硅烷 化合物的结构单元，其中η是1。在此优选范围内，感光性树脂组合物可W形成具有更精确 图案的固化膜。
[0038] 具体来说，出于固化膜的硬度、灵敏度和滞留率的观点，硅氧烷聚合物优选可包含 衍生自由式（I)表示的硅烷化合物的结构单元，其中η是1且Ri是芳基，优选苯基（即Τ-苯 基型结构单元）。优选地，按Si原子的总摩尔数计，硅氧烷聚合物（A)包含30摩尔％到70 摩尔％的量，更优选35摩尔％到60摩尔％的量的衍生自所述化合物的T-苯基型结构单 元。在此优选范围内，硅氧烷聚合物和1,2-二叠氮糞酿化合物可W具有合意的相容性，由 此改良固化膜的透明度并且防止灵敏度降低。
[0039] 硅氧烷聚合物（A)可W包含衍生自由式（I)表示的硅烷化合物的结构单元，其中η 是2 (即D型结构单元）。优选地，按Si原子的总摩尔数计，硅氧烷聚合物（A)包含0. 1摩 尔％到60摩尔％的量，更优选1摩尔％到50摩尔％的量的衍生自由式（I)表示的硅烷化 合物的结构单元，其中η是2。
[0040] 在此范围内，固化膜将维持适当硬度并且具有一定柔初性，由此耐外部应力所导 致的破裂。
[0041] W不含溶剂的组合物的固体内容物的总重量计，本发明的感光性树脂组合物可W 包括50重量％到95重量％、优选65重量％到90重量％的量的硅氧烷聚合物（Α)。在此优 选量范围内，树脂组合物可W将其显影性维持在适合水平下，由此产生具有改良的膜保持 率和图案分辨率的固化膜。
[004引 度）环氧化合物
[0043] 在本发明的感光性树脂组合物中，采用环氧化合物W及硅氧烷聚合物从而提高娃 氧烧粘合剂的内部密度，进而提高由此制备的固化膜的耐化学性。
[0044] 环氧化合物可为例如含有由式（II)表示的结构单元的化合物：
[0045]
[004引其中
[0047] R堪Η或C 1-C2烷基，优选Η ;
[0048] R4是Η，或直链或分支链C i-Ce烷基，优选直链或分支链C i-Ce烷基；W及
[004引 m是整数1到10，优选整数1到5。
[0050] 环氧化合物可为例如具有上述式（II)的结构单元的高寡聚物。
[0051] 具有式（II)的结构单元的化合物可W通过所属领域中熟知的任何常规方法合 成。
[0052] 可商购的具有式（II)的结构单元的化合物的实例可包括GHP03 (甲基丙締酸缩水 甘油醋均聚物，美源商事株式会社（Miwon Commercial Co.，Ltd.))，其具有式（III)的重 复单元：
[0053]
[0054] 环氧化合物度）可进一步包含衍生自单体的结构单元，所述结构单元与式（II)的 结构单元不同。
[0055] 与式（II)的结构单元不同的衍生自单体的结构单元的代表性实例可包括衍生 自W下的任何结构单元：苯乙締；具有烷基取代基的苯乙締，例如甲基苯乙締、二甲基苯乙 締、Ξ甲基苯乙締、乙基苯乙締、二乙基苯乙締、Ξ乙基苯乙締、丙基苯乙締、下基苯乙締、己 基苯乙締、庚基苯乙締、辛基苯乙締等；具有面素的苯乙締，例如氣苯乙締、氯苯乙締、漠苯 乙締、舰苯乙締等；具有烷氧基取代基的苯乙締，例如甲氧基苯乙締、乙氧基苯乙締、丙氧基 苯乙締等；对径基-α -甲基苯乙締、乙酷基苯乙締；具有芳香族环的締系不饱和化合物，例 如二乙締基苯、乙締基苯酪、邻乙締基苯甲基甲基酸、间乙締基苯甲基甲基酸、对乙締基苯 甲基甲基酸；不饱和簇酸醋，例如（甲基）丙締酸甲醋、（甲基）丙締酸乙醋、（甲基）丙締 酸下醋、（甲基）丙締酸二甲基氨基乙醋、（甲基）丙締酸异下醋、（甲基）丙締酸叔下醋、 (甲基）丙締酸环己醋、（甲基）丙締酸乙基己醋、（甲基）丙締酸四氨巧喃甲醋、（甲基） 丙締酸径基乙醋、（甲基）丙締酸2-径丙醋、（甲基）丙締酸2-径基-3-氯丙醋、（甲基） 丙締酸4-径下醋、（甲基）丙締酸甘油醋、α -径基甲基丙締酸甲醋、α -径基甲基丙締酸 乙醋、α -径基甲基丙締酸丙醋、α -径基甲基丙締酸下醋、（甲基）丙締酸2-甲氧基乙醋、 (甲基）丙締酸3-甲氧基下醋、乙氧基二乙二醇（甲基）丙締酸醋、甲氧基Ξ乙二醇（甲 基）丙締酸醋、甲氧基Ξ丙二醇（甲基）丙締酸醋、聚（乙二醇）甲基酸（甲基）丙締酸醋、 (甲基）丙締酸苯醋、（甲基）丙締酸苯甲醋、（甲基）丙締酸2-苯氧基乙醋、苯氧基二乙 二醇（甲基）丙締酸醋、对壬基苯氧基聚乙二醇（甲基）丙締酸醋、对壬基苯氧基聚丙二醇 (甲基）丙締酸醋、（甲基）丙締酸四氣丙醋、（甲基）丙締酸1，1，1，3, 3, 3-六氣异丙醋、 (甲基）丙締酸八氣戊醋、（甲基）丙締酸十屯氣癸醋、（甲基）丙締酸Ξ漠苯醋、（甲基） 丙締酸异冰片醋、（甲基）丙締酸二环戊醋、（甲基）丙締酸二环戊締醋、（甲基）丙締酸二 环戊氧基乙醋、（甲基）丙締酸环戊締氧基乙醋等；具有Ν-乙締基的叔胺，例如Ν-乙締基 化咯烧酬、Ν-乙締基巧挫、Ν-乙締基吗嘟等；不饱和酸，例如乙締基甲基酸、乙締基乙基酸 等；具有环氧基的不饱和酸，例如締丙基缩水甘油酸、2-甲基締丙基缩水甘油酸等；不饱和 酷亚胺，例如Ν-苯基顺下締二酷亚胺、Ν- (4-氯苯基）顺下締二酷亚胺、Ν- (4-径苯基）顺 下締二酷亚胺、Ν-环己基顺下締二酷亚胺等。衍生自上述示范性化合物的结构单元可W单 独化合物形式或W其两个或更多个的组合含于环氧化合物度）中。
[0056] 对于组合物的聚合性，此等实例中优选基于苯乙締的化合物。具体来说，对于耐化 学性，优选不含簇基的环氧化合物度），其可W通过在运些化合物中不使用衍生自含有簇基 的单体的结构单元获得。
[0057] 按构成环氧化合物度）的结构单元的总摩尔数计，与式（II)的结构单元不同的衍 生自单体的结构单元可W 0到70摩尔％，优选10摩尔％到60摩尔％的量使用。在此优选 量范围内，固化膜可具有所要硬度。
[0058] 环氧化合物度）的Mw可W在100到30, 000,优选1，000到15, 000范围内。如果 环氧化合物的Mw是至少100,那么固化膜可具有提高的硬度。另外，如果环氧化合物的Mw 是30, 000或更低，那么固化膜可具有均匀厚度，运适于调平任何步骤差异。重量平均分子 量通过使用聚苯乙締标准物进行凝胶渗透色谱法（GPC，洗脱剂：四氨巧喃）来测定。
[0059] 在本发明的感光性树脂组合物中，按固体内容物的总重量计，硅氧烷聚合物（A) 比环氧化合物度）的重量比，即A : B可为99. 5 : 0.5到50 : 50,优选98 : 2到60 : 40， 更优选97 : 3到70 : 30。在上述范围内，感光性树脂组合物可具有提高的灵敏度。
[0060] (C) 1，2-二叠氮酿化合物
[0061] 本发明的感光性树脂组合物包含1,2-二叠氮酿化合物（C)。
[0062] 1，2-二叠氮酿化合物可W是在光刻胶领域中用作感光剂的任何化合物。代表性实 例包括酪化合物与1，2-二叠氮苯酿-4-横酸或1，2-二叠氮苯酿-5-横酸的醋；酪化合物 与1,2-二叠氮糞酿-4-横酸或1,2-二叠氮糞酿-5-横酸的醋；其径基经氨基置换的酪化 合物与1，2-二叠氮苯酿-4-横酸或1，2-二叠氮苯酿-5-横酸的横酷胺；W及其径基经氨 基置换的酪化合物与1，2-二叠氮糞酿-4-横酸或1，2-二叠氮糞酿-5-横酸的横酷胺。上 述化合物可W按单一化合物形式或W两个或更多个化合物的组合形式使用。
[0063] 酪化合物的实例包括2,3,4-Ξ径基二苯甲酬、2,4,6-Ξ径基二苯甲酬、2,2'，4， 4'-四径基二苯甲酬、2,3,3' ,4-四径基二苯甲酬、2,3,4,4'-四径基二苯甲酬、双（2， 4-二径基苯基）甲烧、双（对径基苯基）甲烧、Ξ (对径基苯基）甲烧、1，1,1-Ξ (对径基 苯基）乙烧、双化3,4-基苯基）甲烧、2, 2-双化3,4-基苯基）丙烷、1，1,3-S (2, 5-二甲基-4-径基苯基）-3-苯基丙烷、4,4' -[1-[4-[1-[4-径基苯基]-1-甲基乙基] 苯基]亚乙基]双酪、双（2,5-二甲基-4-径基苯基）-2-径基苯基甲烧、3,3,3' ,3'-四 甲基-1,1'-螺双巧-5,6,7,5' ,6' ,7'-己醇 W 及 2,2,4-Ξ 甲基-7,2' ,4' 径基 黄烧。上述化合物可W按单一化合物形式或W两个或更多个化合物的组合形式使用。
[0064] 1,2-二叠氮酿化合物的更具体实例包括2, 3,4-Ξ径基二苯甲酬与1,2-二 叠氮糞酿-4-横酸的醋、2,3,4-Ξ径基二苯甲酬与1,2-二叠氮糞酿-5-横酸的醋、4， 4' -[1-[4-[1-[4-径基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酪与1,2-二叠氮糞 酿-4-横酸的醋化及4,4' -[1-[4-[1-[4-径基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酪 与1,2-二叠氮糞酿-5-横酸的醋。上述化合物可W按单一化合物形式或W两个或更多个 化合物的组合形式使用。
[0065] 上述1,2-二叠氮酿化合物可W提高正型感光性树脂组合物的透明度。
[0066] 按硅氧烷聚合物（Α)的固体内容物的100重量份计，1，2-二叠氮酿化合物（C)可 W按2到50重量份、优选5到20重量份范围内的量使用。当1，2-二叠氮酿化合物W上述 量范围使用时，树脂组合物可W容易形成不具有缺陷（如固化膜的粗糖表面和在显影后在 图案底部的浮渣）的图案。
[0067] 做溶剂
[0068] 本发明的感光性树脂组合物可W通过将上述组分混合于溶剂中W液体