专利名称：等离子体显示面板的制作方法
技术领域：
本发明涉及具有将画面划分成每个单元的网格图案的隔离壁的等离子体显示面板(Plasma Diplay PannelPDP)。
背景技术：
近年来，代替批量生产性卓越的带状图案，在分离放电和配置荧光体的面积方面有利的网格图案正在引起人们的注意。当采用网格图案时，希望为了不在等离子体显示面板制造中的排气处理上花费很多时间而多下工夫。
在等离子体显示面板制造中，在粘合一对基板后，进行使内部空间清净化并封入放电气体的排气处理。通过设置在背面基板上通气孔对基板间隙内的残留气体进行真空排气，此后封入放电气体。
在日本2002年公布的2002-83545号专利公报中，关于网格图案的隔离壁中的排气处理的迅速化，揭示了设置使隔离壁部分地降低通过画面内的全部单元的网格状的通气路径的方法。网格状的通气路径在通气性方面比只有垂直或水平一个方向的通气路径优越。
通过利用形成隔离壁的隔离壁材料的热收缩特性，能够用形成一定高度的隔离壁相同的工序数形成部分降低的隔离壁。即，在通过烧结低熔点玻璃糊剂形成隔离壁中，使网格图案中要降低的部分的图案宽度变粗。在粗的部分抑制宽度方向的收缩，使只与其相当的高度方向的收缩量比细的部分多。所以，使隔离壁中的图案宽度变粗的部分变得比其它部分低。
日本2002年公布的2002-83545号专利公报在上述日本2002年公布的2002-83545号专利公报中记载的等离子体显示面板中，因为隔离壁中的与矩阵显示中的行间对应的部分一样低，所以存在着容易使构成矩阵显示的列的单元间的放电分离不充分的问题。特别是，在行间配置显示电极的高精细型的等离子体显示面板中，因为沿跨越相邻的2行的显示电极传输，放电容易在列方向(垂直方向)上扩展，所以需要确实地进行行间的放电分离。
发明内容
本发明的目的是不增加形成工序的工序数，并不损害用于排气的通气性，使难以产生垂直方向的放电分离。
在本发明中，网格图案的隔离壁中的交叉图案部分的高度比其它部分的高度小。因此，例如将隔离壁的平面看的图案作为在与划定画面的列的垂直图案不同各列内的行间位置上也具有垂直图案的网格图案。这时的隔离壁由沿列的带状图案的多个第1垂直壁、沿列的带状图案的多个第2垂直壁和沿行的带状图案的多个水平壁构成。将第1垂直壁配置在列的边界上，将第2垂直壁配置在按每个行的边界、离开列的边界的位置上，将水平壁配置在行的边界上。在这种隔离壁中使第1垂直壁与水平壁相交部分的高度和第2垂直壁与水平壁相交部分的高度比该隔离壁中的其它部分的高度小。
图1是表示等离子体显示面板的单元构造的图。
图2是表示显示电极的配置的图。
图3是表示隔离壁图案的图。
图4是表示隔离壁图案的其它例子的图。
图5是表示显示电极形状的其它例子的图。
图6是表示隔离壁图案的其它例子的图。
标号说明51画面
29、29B 隔离壁1等离子体显示面板291 第1垂直壁295 第2垂直壁293 水平壁292、292B 行间部分297 第3垂直壁28R、28G、28B 荧光体X、Y显示电极具体实施方式
图1表示等离子体显示面板的单元构造。图示的等离子体显示面板1是具有构成矩阵显示的行(row)和列(column)的多个单元的面放电形式的AC型等离子体显示面板。在图1中，在等离子体显示面板1中，为了清楚地看到内部构造使一对基板构体10、20分离地描绘出与1个象素的显示有关的3个单元对应的部分。
等离子体显示面板1由一对基板构体10、20构成。基板构体指的是在由大于等于画面尺寸的大小的玻璃基板和其它的至少1种面板构成要素构成的构造体。前面一侧的基板构体10由玻璃基板11、显示电极X、Y、电介质层17和保护层18构成。显示电极X、Y被电介质层17和保护层18覆盖。背面一侧的基板构体20由玻璃基板21、地址电极A、绝缘层24、网格图案的隔离壁(放电壁障)29和荧光体层28R、28G、28B构成。隔离壁29是使将画面划分成每一列的多个部分(垂直壁291)和划分成每一行的多个部分(行间部分292)成为一体的构造体。隔离壁29的高度不是一样的，在隔离壁29的上面存在起伏。荧光体层28R、28G、28B被放电气体发出的紫外线激励而发光。图中的斜体字母(R、G、B)表示荧光体的发光色。色配列是重复将各列的单元作为同色的R、G、B的图案。
图2表示显示电极的配置。在图2中，用一点虚线的椭圆表示各个单元60的位置。
在画面51中的每个行边界上等间隔地配列1列显示电极X和显示电极Y。行是沿水平方向并排的多个单元60的集合。各个显示电极X、Y由形成面放电间隙G1的粗带状的透明导电膜41和作为减少电阻的总线导体的细带状的金属膜42构成。相邻的显示电极X和显示电极Y的组构成用于面放电的电极对(阳极和阴极)。配列两端的显示电极X进行1行显示，其它的显示电极X、Y进行相邻2行的显示。显示电极X、Y的总数是在画面51的行数上加1的数。在这种显示电极的配列形式中，需要确实地进行行间的放电分离。此外，在显示电极X、Y中，使显示电极Y作为在寻址中用于选择行的扫描电极。
图3表示隔离壁图案。隔离壁29是低熔点玻璃的烧结体，由沿列的带状图案的多个第1垂直壁291、沿列的带状图案的多个第2垂直壁295和沿行的带状图案的多个水平壁293构成。将第1垂直壁291作为行方向的放电壁障配置在列的边界上，第2垂直壁295是本发明特有的要素，配置在每个行的边界离开列的边界的位置上，将上述水平壁293配置在行的边界上。在隔离壁29中，作为列方向的放电壁障的行间部分292的平面看的图案是由跨越邻1行的全长的2列水平壁293和每列的第2垂直壁295构成的梯子状图案。
图中画上斜线的交叉部分，即，第1垂直壁291与水平壁293相交的部分和第2垂直壁295与水平壁293相交的部分形成凹洼。即，这些交叉部分的高度比其它部分的高度小。高度差约为5～10μm。因此。在隔离壁29与前面一侧的基板构体10之间产生间隙，在等离子体显示面板1的基板间隔内，形成如图中箭头所示地通过可以进行垂直方向和水平方向通气的全部单元的通气路径(排气通路)91。
这里，当注意沿垂直方向并排的2个单元60A、60B时，由存在于这些单元60A、60B之间的第2垂直壁295抑制垂直方向的放电扩展。通气路径91是为了绕过第2垂直壁295连接单元60A、60B而形成的。
为了利用在日本2002年公布的2002-83545号专利公报中记载的隔离壁形成方法形成这种交叉部分凹洼的隔离壁29，需要满足相互交叉的带状图案的宽度不同的条件。在本说明书中将关于隔离壁的图案宽度定义为“离开顶上面的距离为高度的10％的位置的尺寸”。与隔离壁29有关的具体尺寸如下所示。
第1垂直壁291的长度Lv560μm第1垂直壁291的间隔Lh240μm第1垂直壁291的宽度Wa60μm水平壁293的宽度Wb80μm第2垂直壁291的长度Lc180μm第2垂直壁291的宽度Wc60μm例示的值满足Wa≠Wb和Wb≠Wc的条件。
隔离壁材料的典型例的热膨胀系数为73×10-7/℃～77×10-7/℃。隔离壁材料的典型例的组成如表1所示。
形成隔离壁29的顺序如下所示。
(1)在电介质层24上形成由均等地混合表1组成的低熔点玻璃粉末和载色剂的糊剂构成的厚度约200μm的隔离壁材料层。形成方法也可以是网印法、复印原料片的分层法，和其它方法中的任何一个。
(2)在使隔离壁材料层干燥后，贴附感光性干膜(或涂敷抗蚀剂材料)，通过包含曝光、显影的光刻形成与隔离壁29对应的网格图案的切削掩模。关于掩模图案尺寸，估计到热收缩量选定比所要的隔离壁尺寸大的值。
(3)用喷砂法切削隔离壁材料层的非掩蔽部分直到露出电介质层24为止(形成隔离壁材料层的图案)。
(4)进行预定温度分布的加热处理，烧结隔离壁材料层形成高度约为100～150μm(例如130μm)的隔离壁29。
图4表示隔离壁图案的其它例子。隔离壁29B的基本构造与上述隔离壁29相同。在隔离壁29B中，行间部分292B具有第3垂直壁297。第3垂直壁297具有与第1垂直壁291相同的宽度，配置在列的边界上。即，隔离壁29B的平面看的图案是包含具有在由第1垂直壁291和第3垂直壁297构成的列的全长上伸展的长度的垂直带图案的网格图案。第3垂直壁297防止当形成荧光体层时要配置在各列上的荧光体材料在行间位置越出到相邻列。因此，能够避免无用的混色。图5是表示显示电极形状的其它例子的图。图中一点虚线的椭圆表示各个单元的位置。
图5的各个显示电极Xb、Yb由粗带状的透明导电膜41b和细带状的金属膜42构成。配列形式与图2相同。本例的透明导电膜41b形成在1行的全长上伸展的宽度恒定，并且在与金属膜42重叠的部分的两侧沿金属膜42打出以一定间隔并排的多个四角形的孔的线对称的带状。各个孔45具有与水平壁292部分重叠的大小。沿垂直方向2分割各个显示电极Xb、Yb的2个部分，即与1行显示有关的部分具有由2列水平带图案和在各列中央连接水平带图案的多个垂直带图案构成的梯子状。
通过在显示电极Xb、Yb中打出孔45，即通过成为切去一定宽度的带的形状的电极，实现降低与地址电极间的电极间电容量和减少放电电流。此外，通过与网格图案的隔离壁29进行组合和重叠梯子状电极的垂直带图案与隔离壁29的第2垂直壁295(请参照图3、图4)，与图2的带状图案的显示电极比较难以发生垂直方向的放电耦合。
在以上的实施例中，也可以将等于大于2个的对垂直方向的放电分离有贡献的第2垂直壁295如图6(A)、(B)的隔离壁29C、29D那样配置在各列的各行间部分。又，在隔离壁29、29B中的行间部分292、292B也可以如图6(B)、(C)的隔离壁29D、29E那样由等于大于3列的水平壁和与它们连接的第2垂直壁构成。第2垂直壁295越多，就越能确实地实施放电分离。但是，即便用省略第2垂直壁295的单纯的网格图案的隔离壁，也能够通过降低交叉图案部分确保通气性，并且能够用列内的行方向的中央部分比端部高的水平壁确保列方向的放电分离性。在如材料的热收缩率小的情形那样，难以产生大的高低差的情形中，为了提高通气性，希望增多隔离壁图案中的交叉图案。
如果根据方案1到方案8的发明，则能够不增加形成工序的工序数，并不损害用于排气处理的通气性，使垂直方向难以产生放电分离。
权利要求
1.一种具有将画面按矩阵显示的每一行和列划分的网格图案的隔离壁的等离子体显示面板，其特征在于上述隔离壁由沿列的带状图案的多个第1垂直壁、沿列的带状图案的多个第2垂直壁和沿行的带状图案的多个水平壁构成，将上述第1垂直壁配置在列彼此之间的边界上，将上述第2垂直壁配置在按每个行彼此之间的边界、离开列彼此之间的边界的位置上，将上述水平壁配置在行彼此之间的边界上，上述隔离壁中的上述第1垂直壁与上述水平壁相交部分的高度和上述第2垂直壁与上述水平壁相交部分的高度比该隔离壁中的其它部分的高度小。
2.根据权利要求1所述的等离子体显示面板，其特征在于与上述隔离壁中的上述画面的行间对应的部分的图案是梯子状图案。
3.根据权利要求1所述的等离子体显示面板，其特征在于与上述隔离壁中的上述画面的行间对应的部分具有配置在列彼此之间的边界上的沿列的带状图案的多个第3垂直壁，在上述画面中，为了使相邻的列的发光色不同而配置发光色不同多种荧光体。
4.根据权利要求1所述的等离子体显示面板，其特征在于在每个各列中的行彼此之间的边界上配置多个上述第2垂直壁。
5.根据权利要求1所述的等离子体显示面板，其特征在于在上述画面中，在行彼此之间的每个边界上配置1条构成用于面放电的电极对的多个显示电极。
6.根据权利要求1所述的等离子体显示面板，其特征在于在上述画面中，在行彼此之间的每个边界上配置1条构成用于面放电的电极对的多个显示电极，与上述显示电极中的1行显示有关的部分的形状是由2条水平带图案和多个垂直带图案构成的梯子状。
7.根据权利要求6所述的等离子体显示面板，其特征在于将上述显示电极中的上述垂直带图案部分配置在与上述隔离壁中的第2垂直壁重叠的位置上。
8.一种具有将画面按矩阵显示的每一行和列划分的网格图案的隔离壁的等离子体显示面板，其特征在于上述隔离壁由沿列的带状图案的多个第1垂直壁和沿行的带状图案的多个水平壁构成，将上述垂直壁配置在列彼此之间的边界上，将上述水平壁配置在行彼此之间的边界上，上述隔离壁中的上述垂直壁与水平壁相交部分的高度比该隔离壁中的其它部分的高度小。
全文摘要
本发明提供一种等离子体显示面板。隔离壁由沿列的带状图案的多个第1垂直壁(291)、沿列的带状图案的多个第2垂直壁(295)和沿行的带状图案的多个水平壁(293)构成。将第1垂直壁(291)配置在列彼此间的边界上，将第2垂直壁(295)配置在按每个行彼此间的边界离开列彼此间的边界的位置上，将水平壁(292)配置在行的边界上。使隔离壁(29)中的第1垂直壁(291)与水平壁(292)相交部分的高度和第2垂直壁(295)与水平壁(292)相交部分的高度比该隔离壁(29)中的其它部分的高度小。从而能够不增加形成工序的工序数，并不损害用于排气处理的通气性，使列方向难以产生放电分离。
文档编号H01J11/32GK1577695SQ20041003681
公开日2005年2月9日 申请日期2004年4月19日 优先权日2003年7月1日
发明者泽将裕, 川浪义实, 大平浩史, 高桥信之 申请人:富士通日立等离子显示器股份有限公司