等离子体显示面板等的面板制造系统的制作方法

专利名称：等离子体显示面板等的面板制造系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及几乎能全自动制造等离子体显示面板等面板的等离子体 显示面板等的面板制造系统。
背景技术：
本发明申请人至今涉及等离子体显示面板等的面板制造系统，提出了各种例如专利文献1~5中描述的自动化技术。 [专利文献l]特开2002"75758号公报 [专利文献2]特开2002-324486号公报 [专利文献3]特开2003-123648号公报 [专利文献4]特开2003-141994号公报 [专利文献5]特幵2003-146409号公报在以往的等离子体显示面板等的面板制造系统中，根据所述专利文献 1 5等，虽然实现了部分的自动化，但是希望研究出能在连续的自动控制 下一连串地进行从组装材料即衬底或排气管的搬入，到向工作车的搭载和 伴随着搭载的排气管向衬底的配置、此后的热处理炉内的加热处理和排气 处理之后的排气管的密封和切断处理、制品化的面板的搬出等各种作业的 制造系统。艮P，以往不存在从衬底等向工作车的搭载到制品化的面板的搬出都能 在连续的自动控制下连续地制造的系统，通常是通过手动来进行设置的分 批系统，而且，尤其在制造工艺中，衬底在工作车上常常产生相对的变位， 难以固定维持排气管和衬底的相对位置，因此，无法实现全自动化，结果， 在成品率的改善或省力化、批量生产化的方面存在限度。发明内容本发明是鉴于所述以往的课题而提出的，其目的在于，提供几乎能全 自动化制造等离子体显示面板等面板的等离子体显示面板等的面板制造 系统。
本发明提供一种等离子体显示面板等的面板制造系统，其特征在于， 包括循环路径，其形成闭环状；多个工作车，其在该循环路径上反复行 驶、停止，同时依次移动；衬底搭载部，其设置在这些工作车上，搭载重 合的至少一组一对衬底；排气管安装部，其设置在这些工作车上，将排气 管拆装自如地安装为与所述一对衬底的一方面对；排气装置，其设置在这 些工作车上，与所述排气管安装部连接，通过所述排气管进行排气处理； 热处理炉，其设置在所述循环路径上，为了行驶的所述工作车上的至少一 组所述一对衬底相互的接合和所述排气管向该衬底的接合而进行热处理， 并且通过该工作车的所述排气装置，进行从该衬底间的排气处理；装卸部， 其在所述循环路径上沿着所述工作车的行驶方向与所述热处理炉邻接设 置；搬入系统，其将重合的所述一对衬底或所述排气管搬入该装卸部；作 业机器人，其设置在所述装卸部，根据控制信息进行动作，对装入所述热 处理炉中的所述工作车，进行所述排气管和所述一对衬底向所述排气管安 装部和所述衬底搭载部的供给，并且对从该热处理炉抽出的该工作车，进 行与该衬底接合的该排气管的密封、切断和切断后残留的该排气管的撤 去、切断该排气管而完成的面板的卸货；搬出系统，其从所述装卸部搬出 所述面板；控制部件，其控制这些工作车、排气装置、热处理炉、搬入系 统、作业机器人、搬出系统。
尤其在制造等离子体显示面板时，其特征在于，所述工作车具有放电 气体供给装置，所述放电气体供给装置用于在所述排气处理后且所述排气 管的密封、切断之前，通过所述排气管安装部的该排气管，向所述一对衬 底间注入放电气体。
其特征在于，所述排气装置具有排气泵；为了排气而开闭自如地开 放的排气阀；检测到所述一对衬底间压力达到了设定压力而关闭所述排气 阀的排气阀控制器。
其特征在于，所述放电气体供给装置具有放电气体供给源；为了从 该放电气体供给源向所述排气管供给放电气体而开闭自如地开放的供给阀；检测到所述一对衬底间压力达到了设定压力而关闭所述供给阀的供给 阀控制器。
其特征在于，具有能对所述各工作车进行行驶、停止操作的驱动机构， 并且具有为了使停止的所述工作车相对于所述循环路径成为固定状态而 与该工作车卡脱自如地卡合的锁定装置。
其特征在于，所述控制部件为了完成与至少一组所述一对衬底向所述 衬底搭载部的搭载操作同时使所述排气管与一方的该衬底面对的组装，而 对所述作业机器人进行控制，使得将该排气管安装到所述排气管安装部 后，将所述一对衬底搭载在所述衬底搭载部。
其特征在于，所述控制部件具有供给动作设定部件，所述供给动作设 定部件为了以自动控制将所述排气管从所述搬入系统向所述工作车的所 述排气管安装部供给，而将该工作车的实际停止位置信息和该排气管安装 部的该排气管的实际安装位置信息作为图像信息取得，根据这些实际停止 位置信息和实际安装位置信息，输出基于所述作业机器人的排气管供给动 作的控制信息。
其特征在于，所述供给动作设定部件基于预先设定的所述工作车的基 准停止位置信息，将实际停止位置信息作为图像信息取得，根据实际停止 位置相对于基准停止位置的偏差修正所述工作车的停止位置，基于所述排 气管安装部根据预先设定的工作车停止位置的基准设置位置信息，将实际 设置位置信息作为图像信息取得，根据实际设置位置相对于基准设置位置 的偏差修正所述排气管安装部的设置位置，将所述排气管的实际安装位置 信息作为图像信息取得，根据实际安装位置相对于预先设定的所述排气管 的基准安装位置的偏差修正该排气管的安装位置，将修正的修正供给动作 作为基于所述作业机器人的排气管供给动作的控制信息输出。
其特征在于，所述控制部件具有排气管取出动作修正部件，所述排气 管取出动作修正部件为了以自动控制通过所述作业机器人从所述搬入系 统取出所述排气管，而将取出待机位置的该排气管的实际待机状态信息作 为图像信息取得，根据实际待机状态信息相对于预先设定的所述排气管的 基准待机状态信息的偏差修正取出动作，将修正的修正取出动作作为控制 信息输出。其特征在于，所述控制部件具有排气管安装动作修正部件，所述排气 管安装动作修正部件为了以自动控制通过所述作业机器人将所述排气管 安装到所述排气管安装部，而将基于该作业机器人的该排气管的实际把持 状态信息作为图像信息取得，根据实际把持状态信息相对于预先设定的所 述排气管的基准把持状态信息的偏差修正安装动作，将修正的修正安装动 作作为控制信息输出。
其特征在于，所述排气管安装部具有与所述排气装置连通形成，用 于将所述排气管向上安装的安装孔；设置在该安装孔，且与所述排气管可 接离地压接而气密地密封该排气管周围的环状密封件。
其特征在于，具有上下滑动机构，其为了无论所述环状密封件的状 态变化如何都始终将所述排气管与从上方搭载的所述一对衬底的一方压 接，而使所述排气管安装部在上下方向移动自如；施力部件，其将所述排 气管安装部向上方施力。
其特征在于，在所述衬底搭载部通过多个分隔部形成将至少一组所述 一对衬底独立装入的衬底装入用空间，并且所述控制部件具有装入操作判 定部件，所述装入操作判定部件为了以自动控制通过所述作业机器人将所 述各一对衬底向所述衬底搭载部搭载，而将所述衬底装入用空间的尺寸作 为图像信息取得，根据取得的尺寸信息，输出所述一对衬底向所述衬底装 入用空间的装入的可否的控制信息。
其特征在于，所述控制部件具有搭载动作修正部件，所述搭载动作修 正部件为了使以自动控制通过所述作业机器人从所述搬入系统供给的至 少一组所述一对衬底的通气孔与所述工作车的所述排气管安装部的所述 排气管一致，而将安装在该排气管安装部上的该排气管的中心位置信息和 该一对衬底的搭载待机位置的该通气孔的中心位置信息作为图像信息取 得，使用这些中心位置信息，计算基于将预先设定在所述作业机器人中的 所述一对衬底从搭载待机位置向所述衬底搭载部供给的基准搭载动作的 所述排气管和所述通气孔的中心位置的误差，将根据误差修正的修正搭载 动作作为控制信息输出。
其特征在于，所述衬底搭载部具有在多个部位一个个支承至少一组所 述一对衬底的多个支承部，该多个支承部中除接近所述排气管的至少一个接近位置支承部外的其他远离位置支承部与该接近位置支承部相比，相对 容易移动地支承所述一对衬底。
其特征在于，所述远离位置支承部能摆动。
其特征在于，所述远离位置支承部由辊机构构成，所述辊机构配置为 滚动轴心与所述排气管的中心位置方向正交，并在其上支承所述一对衬 底。
其特征在于，具有加热器，所述加热器在基于所述控制部件的自动控 制下对开式开闭自如地进行工作，且为了进行所述排气管的密封、切断而 关闭，包围该排气管周围。
其特征在于，具有燃烧装置，其在基于所述控制部件的自动控制下 进行工作，为了进行所述排气管的密封、切断，而使该排气管熔融；下降 部件，其为了使该排气管延伸，而使所述排气管安装部下降。
其特征在于，所述控制部件具有卸货动作设定部件，所述卸货动作设 定部件为了以自动控制将所述面板从所述工作车的所述衬底搭载部向所 述搬出系统卸货，而将该工作车的实际停止位置信息和该面板的实际搭载 位置信息作为图像信息取得，根据这些实际停止位置信息和实际搭载位置 信息，输出基于所述作业机器人的所述面板的卸货动作的控制信息。
本发明的等离子体显示面板等的面板制造系统中，几乎能全自动化制 造等离子体显示面板等面板。


图1是表示本发明的等离子体显示面板等的面板制造系统的优选一实
施例的整体结构的概略俯视图。
图2是说明在图1的面板制造系统中应用的工作车的图。
图3是表示在图1的面板制造系统中应用的热处理炉的温度曲线的曲线图。
图4是表示设置在图2的工作车中的排气装置等的概略结构图。
图5是表示图2的工作车的行驶机构的概略结构的说明图。
图6是表示在图1的面板制造系统中应用的排气管安装部的侧剖视图。图7是图6中D-D线向视概略剖视图。
图8是表示排气管向图6的排气管安装部的安装操作的第一阶段的侧
剖视图。
图9是表示排气管向图6的排气管安装部的安装操作的第二阶段的侧
剖视图。
图10是表示向图6的排气管安装部的排气管上搭载衬底的第一阶段 的侧剖视图。
图11是表示向图6的排气管安装部的排气管上搭载衬底的第二阶段 的侧剖视图。
图12是表示在图1的面板制造系统中应用的排气管安装部等的其他
例子的概略侧视图。
图13是表示排气管向盘架的排列状态的概略侧视图。 图14是表示排气管向盘架的排列状态的其他例子的概略侧视图。 图15是表示图6的排气管安装部等向工作车的安装状态的侧视图。 图16是图15所示的排气管安装部等向工作车的安装状态的俯视图。 图17是表示取得图6的排气管安装部的图像信息的状态的侧视图。 图18是表示取得在图1的面板制造系统中应用的排气管的图像信息
的状态的侧视图。
图19是表示取得在图1的面板制造系统中应用的其他排气管的图像
信息的状态的侧视图。
图20是说明衬底和衬底搭载部的变形状态的关系的说明图。
图21是说明衬底向衬底搭载部的步骤的程序流程图。
图22是表示取得在图1的面板制造系统中应用的衬底的通气孔的图
像信息的状态的侧视图。
图23是取得图22所示的衬底的通气孔的图像信息的状态的俯视图。 图24是表示图1的面板制造系统中应用的衬底搭载部的侧视图。 图25是图24所示的衬底搭载部的俯视图。
图26是表示在图24所示的衬底搭载部中应用的远离位置支承部的放 大侧视图。
图27是表示在图1的面板制造系统中应用的衬底搭载部的其他例子图28是图27所示的衬底搭载部的俯视图。
图29是图27所示的衬底搭载部中应用的远离位置支承部的放大侧视图。
图30是图29所示的远离位置支承部的放大俯视图。 图31是表示图1的面板制造系统中应用的排气管密封切断装置的侧 视图。
图32是说明图31所示的排气管密封切断装置的工作的俯视图。 符号的说明。
l一循环路径；2—工作车；3—衬底；4一衬底搭载部；5—排气管；6 一排气管安装部；7—排气装置；8—热处理炉；9一装卸部；IO—衬底搬 入用传送带；ll一排气管搬入用传送带；12—排气管处理机器人；13—衬 底搭载机器人；14一排气管密封切断机器人；15—面板卸货机器人；16— 面板搬出用传送带；17—工作车控制盘；18—炉控制盘；19一机器人控制 盘；20—主控制盘；26—锁定装置；27—驱动杆；28—卡合部；29—突起； 33—支承梁；34—支承部；34a—接近位置支承部；34b—远离位置支承部；
36—衬底的通气孔；39—排气泵；40—排气阀；42—放电气体供给装置； 43—放电气体供给源；44一供给阀；50—阀控制器；53—安装孔；54—环 状密封件；55—弹簧；56—滑动引导件；65—杠杆；72—辊；73—支承面； S—衬底装入用空间；T一滚动轴心。
具体实施例方式
以下，参照附图详细说明本发明的等离子体显示面板等的面板制造系 统的优选一实施例。本实施例的等离子体显示面板等的面板制造系统概略 地如图1 图4所示，具有形成闭环状的循环路径l;在循环路径l上反 复行驶、停止，同时依次移动的多个工作车2;设置在这些工作车2上， 搭载重合的至少一组一对衬底3、 3的衬底搭载部4;设置在这些工作车2
上，将排气管5拆装自如地安装为与一对衬底3的一方面对的排气管安装 部6;设置在这些工作车2上，与排气管安装部6连接，通过排气管5进
行排气处理的排气装置7;设置在循环路径l中，为了行驶的工作车2上的至少一组一对衬底3相互的接合和排气管5向该衬底3的接合而进行热
处理，并且通过工作车2的排气装置7经由排气管5进行从一对衬底3之
间的排气处理的热处理炉8;在循环路径1上沿着工作车2的移动方向与
热处理炉8邻接设置的装卸部9;作为将重合的一对衬底3或排气管5搬 入该装卸部9的搬入系统的衬底搬入用传送带10和排气管搬入用传送带 11;设置在装卸部9，根据控制信息进行动作，对装入热处理炉8中的工 作车2，进行排气管5和一对衬底3向排气管安装部6和衬底搭载部4的 供给，并且对从该热处理炉8抽出的该工作车2，进行与该衬底3接合的 排气管5的密封、切断和切断后残留的该排气管5的撤去、切断该排气管 5而完成的面板的卸货的作业机器人12~15;作为从装卸部9搬出面板的 搬出系统的面板搬出用传送带16;控制这些工作车2、排气装置7、热处 理炉8、作为搬入系统的衬底搬入用传送带10、排气管搬入用传送带ll、 作业机器人12 15、作为搬出系统的面板搬出用传送带16的控制部件 17 20。
装卸部9如果在于循环路径1中移动的工作车2的移动方向观察，处 于与热处理炉8邻接的关系，作为进行衬底3或排气管5向工作车2的供 给作业、制品化的面板从工作车2的卸货作业的场所而设置。在装卸部9， 作为搬入系统，设置搬入通过熔合密封部重合的状态的一对衬底3的衬底 搬入用传送带10、搬入在上端设置熔合密封部21的排气管5的排气管搬 入传送带ll,作为搬出系统，设置将完成的面板搬出的面板搬出用传送带 16。工作车2在搬出从热处理炉8抽出的面板后，重新供给衬底3和排气 管5，再向热处理炉8装入。
此外，在装卸部9适宜配置进行各种作业的作业机器人12 15。具体 而言，在热处理炉8的装入口 8a侧，沿着工作车2向该热处理炉8的行 驶方向，按照排气管5或衬底3向工作车2的安装顺序，依次设置排气管 处理机器人12和衬底搭载机器人13。排气管处理机器人12将排气管5 从排气管搬入用传送带11提供给工作车2的排气管安装部6，衬底搭载机 器人13将彼此重合的一对衬底3从衬底搬入用传送带10提供给工作车2 的衬底搭载部4。此外，在热处理炉8的抽出口 8b侧，沿着从该热处理炉 8抽出的工作车2的行驶方向，依次设置排气管密封切断机器人14、面板卸货机器人15。
排气管密封切断机器人14将与衬底3接合而在排气处理中使用的排
气管5密封并且切断，且将切断的排气管5从排气管安装部6撤去。此外， 面板卸货机器人15将通过切断排气管5而完成的面板从工作车2卸货， 移动装载到面板搬出用传送带16。在装卸部9，在适宜部位设置控制工作 车2的行驶、排气装置7等工作车2上的各种仪器的工作车控制盘17、控 制热处理炉8的运行的炉控制盘18、分别控制各种机器人的机器人控制盘 19、控制包含衬底3或排气管5的衬底搬入用传送带10、 11或面板搬出 用传送带16的设备整体的主控制盘20。
循环路径1设置在工厂设备内。该循环路径1由彼此平行设置一对并 且具有例如8个车轮22的工作车2在其上行驶的轨道23、分别设置在这 些轨道23的两端并且将工作车2在轨道23相互间换乘的一对移车台24、 25，作为整体形成矩形的闭环状。在一对轨道23的一方，沿着它设置热 处理炉8。另一方的轨道23沿着以与热处理炉8并列的配置设定的装卸部 9设置。
在循环路径1中设置依次移动的多个工作车2，这些工作车2沿着装 卸部9在另一方的轨道23上行驶移动，图中，如果到达移车台24在轨道 23的左端，就通过用于将工作车2装入热处理炉8的装入用移车台24， 向另一方的轨道23换乘，然后，经过热处理炉8内行驶移动，在图中， 如果到达轨道23的右端，就通过用于将工作车2向装卸部9抽出的抽出 用移车台25，换乘到另一方的轨道23，在循环路径1中循环移动。这些 工作车2通过反复行驶和停止，即所谓节拍运行，依次在装卸部9和热处 理炉8之间沿着循环路径1行驶。
为了制造步骤的自动控制化，在本实施例的面板制造系统中，具有能 对各工作车2进行行驶、停止操作的驱动机构，并且为了使停止的工作车 2相对于循环路径1成为固定状态，如图5所示，设置与该工作车2卡脱 自如地卡合的锁定装置26。首先，如果就驱动机构加以说明，则在各轨道 23设置在多个工作车2下一连串地配置，在轨道方向以一定的行程反复地 前后驱动，并且围绕其轴以一定的旋转角度反复地正反转驱动的驱动杆 27。在该驱动杆27设置与设置在各工作车2下的卡合部28分别卡脱自如地卡合的多个突起29。
驱动杆27在各突起29与各工作车2的卡合部28分别卡合的状态下 向前进方向驱动，然后停止，从而使多个工作车2同时以一定行程前进， 然后向正转方向旋转驱动，由此突起29从卡合部28脱离，接着在工作车 2停止的状态下，向后退方向驱动而停止，再次向反转方向旋转驱动，由 此突起29分别与工作车2的卡合部28卡合，在该状态下，再次重复向前 进方向的动作，多个工作车2重复行驶、停止，同时都以一定行程移动。 此外，工作车2的移动如图2所示，其左右方向由侧轨30引导。
而且，在该工作车2的停止时，为了维持工作车2的静止状态，设置 在这些工作车2的停止位置配置，与工作车2的卡合部28卡脱自如地卡 合的锁定装置26。该锁定装置26由例如在轨道23侧固定的未图示的工作 缸机构、通过该工作缸机构向卡合部28进退驱动的锁定片31构成。锁定 片31通过工作缸机构，与工作车2停止、驱动杆27的突起29脱离这一 情况对应，而与卡合部28卡合，此外，与突起29卡合这一情况对应，而 从卡合部28脱离，由此，能便于自动控制地保持停止时的工作车2的静 止状态。工作车2的行驶机构即使是使用了齿条-齿轮的自行式，也能几乎 同样地构成。
工作车2如图2所示，设置衬底搭载部4。在该衬底搭载部4，预先 彼此重合的状态的一对衬底3作为一组，在横向平放或者纵向竖立的状态 下搭载多组。在图示的例子中表示在横放的状态下多级搭载多个衬底3这 一形式的衬底搭载部4，该衬底搭载部4由在工作车2上竖立设置的4根 支柱32、由这些支柱32支承的多个支承梁33、在这些支承梁33突出设 置并且在多个部位支承各衬底3的支承部34构成。
衬底3由玻璃或合成树脂、金属等形成。 一对衬底3在任意一方衬底 3的外周缘部涂敷了熔合密封部的状态下与另一方的衬底3重合，如图6 所示，用压板35等夹具夹入这些衬底3，在一体化的状态下进行处理。此 外，为了热处理炉8内的从这些衬底3之间的排气处理，为了在制造等离 子体显示面板时，排气处理后的放电气体的注入等，在任意一方衬底3形 成位于角部附近且接合排气管5的通气孔36。
在工作车2，与多个搭载的衬底3的组数对应，设置多个排气管安装部6。在工作车2上，如图15等所示，在衬底搭载部4的外侧，接近衬底
3的通气孔36位置设置一个安装柱37，并且在该安装柱37的高度方向多 级地设置伸出部38,多个排气管安装部6分别安装在这些伸出部38上。 而且，在各排气管安装部6分别可拆装自如地安装排气管5。排气管5从 下侧与在各支承部34上支承的一对衬底3中具有通气孔36的衬底3面对， 其下方部分插入安装于排气管安装部6。在该排气管5，在与该衬底3面 对的上端涂敷、设置瑢合密封部21。
尤其，将排气管5或一对衬底3向工作车2供给的排气管处理机器人 12或衬底搭载机器人13为了作为适合于自动控制化的供给动作，完成在 至少一组一对衬底3向衬底搭载部4的搭载操作的同时，使排气管5与一 方的衬底3面对的组装，而由机器人控制盘19进行工作控制，使得在将 排气管5安装在排气管安装部6后，将一对衬底3搭载在衬底搭载部4上。
在这些排气管安装部6，为了利用在其上安装的排气管5从一对衬底 3之间进行排气处理，连接在工作车2上搭载的排气装置7。 一边在在热 处理炉8内使工作车2移动， 一边进行排气处理。排气装置7如图4所示， 具有排气泵39、为了排气而开闭自如地开放的排气阀40、检测到一对衬 底3间压力达到了规定压力则关闭排气阀40的控制器41，实现排气处理 的自动控制。
此外，工作车2为了根据需要将在制造等离子体显示面板时所需要的 放电气体注入衬底3之间，而具有在排气处理后排气管5的密封、切断之 前通过排气管安装部6的排气管5向一对衬底3之间注入放电气体的放电 气体供给装置42。放电气体供给装置42具有放电气体供给源43、为了将 放电气体从放电气体供给源43向排气管5供给而开闭自如地开放的供给 阀44、检测到一对衬底3间压力达到了设定压力而关闭供给阀44的控制 器41，实现放电气体注入作业的自动化。在不进行放电气体的注入时，通 过排气处理，形成中空的面板。
在各排气管安装部6分别通过具有电磁式开闭阀45的独立的配管46 连接端板47，在该端板47，通过具有排气阀40的排气配管48连接排气 泵39，此外，通过具有供给阀44的供气配管49连接高压储气瓶等放电气 体供给源43。端板47是为了用排气泵39或放电气体供给源43统一连续地进行对多组衬底3的排气处理或放电气体封入处理而设置的。控制器41由压力计50和控制部51构成。在端板47，为了检测各组的衬底3之间的 压力，设置压力计50。将压力计50的检测输出对控制部51输出，控制部 51控制各阀40、 44的开闭、排气泵39的动作等。在排气处理中，排气阀40和独立配管46的电磁式开闭阀45都开放， 各衬底3之间与排气泵39连通，各衬底3之间排气到1(T4 10—7Torr。在放 电气体的注入处理中，停止排气泵39，关闭排气阀40，并且开放供给阀 44，从放电气体供给源43向衬底3之间注入例如Ne、 Ar、 Xe等放电气 体，达到400 700Torr。关于排气处理，也可以设置清洗工序，g卩，在端板47，相对于排气配 管48和供气配管49，可切换地通过未图示的电磁式幵闭阀连接清洗气体 供给管，在排气处理的初期，从衬底3之间排气，接着对衬底3之间供给 清洗气体，然后再次从衬底3之间排气。热处理炉8如图3所示，从沿着工作车2的移动方向的装入口 8a侧 向抽出口 8b侧，依次划分为分别由多个区构成的密封处理块A、排气处 理块B、冷却处理块C，各块A C为了必要的热处理操作，设定为不同的 炉内温度，在热处理炉8内行驶的工作车2在各块A C暴露在该炉内温 度的炉内气氛中。在热处理炉8的炉底，为了用炉底下的轨道23使工作 车2行驶，在全长上形成开口部，而在工作车2设置封锁该开口部的绝热 构件，多个工作车2在彼此邻接的状态下在轨道23上连续地行驶，由此 该炉底的开口部成为由这些工作车2的绝热构件封锁的状态。在炉内气氛依次上升到密封温度的密封处理块A、在比密封温度低一 些的排气温度保持一定的排气处理块B,在由炉体内设置的循环挡板形成 的循环通路中配置辐射管燃烧装置或电热加热器等热源，炉内气氛由热源 加热，由循环风扇循环，加热衬底3等。冷却处理块C除了密封处理块A 和排气处理块B的热源之外还设置外气导入开口或冷却管等冷却源。在密 封处理块A，通过熔合密封部的熔融， 一对衬底3彼此接合，此外，实现 向衬底3接合排气管5的密封处理，在排气处理块，进行基于排气装置7 的通过排气管5的排气处理。此外，在热处理炉8的抽出口 8b和抽出用 移车台25之间设置用于对衬底3之间注入放电气体的放电气体注入区52。以下，按照面板的制造步骤，依次说明自动控制化中优选结构。首先， 考虑对在自动控制下安装排气管5优选的排气管安装部6、热处理炉8的热处理的影响，说明能优选地安装保持排气管5的排气管安装部6的构造。如图6~图11所示，排气管安装部6在其中心部具有通过独立配管46与排气装置7连通形成，用于将排气管5向上安装的安装孔53;设置 在安装孔53中，与排气管5可接离地压接而保持排气管5，气密地密封其 周围的弹性构件构成的中空的环状密封件54。此外，为了无论环状密封件 54的状态变化如何，都将排气管5与从上方搭载的一对衬底3的一方压接， 具有作为使排气管安装部6在上下方向移动自如的上下滑动机构的滑动引 导件56，并且具有作为将排气管安装部6向上方施力的施力部件的弹簧 55。排气处理中，在将下方部安装在排气管安装部6的玻璃制等的排气管 5的上端按压在衬底3的状态下，在热处理炉8内加热，由此将排气管5 与通气孔36接合后，从该排气管5通过排气管安装部6进行从衬底3之 间的排气。在将排气管5向衬底3接合时，在将排气管5的上端向衬底3 按压的状态即在排气管5作用适度的压縮应力的状态下，加热熔接。排气管安装部6还具有为了相对于热处理时的热来冷却该环状密封 件54而配置在其周围的环状水冷套57;与环状密封件54的内部空间连通 的气体供给排气管58;从上下夹持它们的上部端面构件59和下部端面构 件60，排气管安装部6自身通过设置在上部端面构件59下方的弹簧55， 在安装柱37的伸出部38上下自由地支承。61是冷却水供给管，62是冷 却水排出管。排气管5将作为接合侧的上端形成漏斗形状，排气管5的一 定直径的下方部从上部端面构件59的开口贯穿环状密封件54配置在安装 孔53内的规定位置。在该状态下，通过由于从空气供给排气管58供给的 高压空气而膨胀的环状密封件54，气密地保持排气管5的外周部。环状密 封件54也可以机械式膨胀收縮。将排气管5向排气管安装部6安装时，预先在上端涂敷熔合密封部21 ， 将排气管5的下方部插入排气管安装部6的安装孔53内。这时，排气管5 的上端与衬底3水平搭载在支承部34上时的衬底3的下面位置相比，向 上方突出1 2mm左右而定位，然后从空气供给排气管58对环状密封件54的内部空间供给高压空气，通过该环状密封件54，固定排气管5的周面。然后，以通气孔36与排气管5 —致的方式将衬底3搭载在工作车2 上。排气管5的上端比衬底3的下面突出一些，固定在排气管安装部6上， 所以排气管安装部6克服弹簧55的弹力而下降，排气管5的上端在按压 衬底3的下面的状态下紧贴。由此，排气管5在作用适度的压縮应力的状 态下，气密地由排气管安装部6保持，在该状态下，将工作车2装入热处 理炉8内，进行密封、排气处理。在对排气管5作用适度的压縮应力的状 态下加热，使排气管5熔敷在衬底3，所以能形成不发生泄漏的可靠的接 合，并且在密封排气处理时排气管5不变形，能高效进行此后的切断作业， 因此，能顺利地导入排气管5的密封、切断作业的自动控制化。此外，工作车2的行驶时、此外密封排气处理等的期间，希望排气管 5和衬底3的各部相对保持一定的位置关系，但是由于振动或冲击，或者 由于热膨胀或收縮的差异等，有时在排气管安装部6和衬底3之间产生相 对的位置偏移。这时，如果从环状密封件54对排气管5作用的力过大， 则该力克服一体固定衬底3和排气管5的力，有可能发生排气管5倾斜而 破损，或者熔合密封部21从衬底3的下面离开从而密封处理变为不可能 的问题，有必要对其进行考虑。此外，在排气管安装部6和衬底3之间发 生了水平方向的相对位置偏移时，有时排气管安装部6不平行移动，而是 倾斜。这时，使排气管5产生旋转的不优选的力进行作用，在排气管5作 用过大的弯曲力矩，从而排气管5倾斜，也有必要考虑排气管5的破损、 密封处理变为不可能的事态。在图示的例子中，通过在上部端面构件59的下方设置的弹簧55，排 气管安装部6由伸出部38支承，但是认为这时也发生所述同样的问题。因此，在伸出部38和下部端面构件60之间设置滑动引导件56。该滑 动引导件56由具有将滑动作用顺利化的碳制等的内周面的筒状体63和在 该筒状体63内可滑动地嵌插的杆构件64构成，筒状体63固定在伸出部 38的下面，杆构件64竖立设置在下部端面构件60上。而且，通过该滑动 引导件56，相对于伸出部38，相对限制排气管安装部6的横向移动，只在上下方向能移动。通过从上载置衬底3，由于衬底3的自重，下压排气管安装部6，下降一些时，通过滑动引导件56引导排气管安装部6，排气管5不受横向的 力，变为只在上下方向能变位。与滑动引导件56的作用相辅相成，通过 基于弹簧55的排气管安装部6、排气管5的上端的向衬底3的按压作用， 能确保熔合密封部21和衬底3之间的摩擦力大，所以在密封步骤中，加 热的衬底3以按压排气管5的通气孔36为基点膨胀，不发生排气管5和 通气孔36之间的位置偏移。此外，在该密封步骤中，即使在衬底3产生 翘曲，排气管5由于滑动引导件56的作用被弹簧55可靠地向上方施力， 所以在衬底3和熔合密封部21之间不产生间隙。因此，不用压板35—体固定衬底3和排气管5，就能进行密封处理， 所以能避免伴随着将排气管5和衬底3 —起装入热处理炉8内时的冲击或 振动，或者伴随着从密封排气处理时的各部的热膨胀或收縮的差异产生的 热变形，在排气管5作用过大的力，特别是从侧面作用使排气管5旋转的 力，能防止压板35引起的损伤的发生、排气管5的损伤，并且简化密封 处理的准备作业，能提高其可靠性。通过排气管5支承排气管安装部6， 并且只在上下方向能变位，所以向衬底3按压密封的排气管5保持垂直， 对排气管5不作用该垂直的方向以外的不想要的方向的力，排气管5的按 压状态的维持变得容易。作为施力部件，也可以代替弹簧55，如图12所示，采用在一端安装 排气管安装部6的杠杆65的另一端设置配重66的形式。接着，说明排气管5向排气管安装部6的安装操作的自动控制化。排 气管处理机器人12的机器人控制盘19等控制部件具有为了以自动控制 将排气管5从排气管搬入用传送带11提供给工作车2的排气管安装部6， 而将工作车2的实际停止位置信息和排气管安装部6的排气管5的实际安 装位置信息作为图像信息取得，基于这些实际停止位置信息和实际安装位 置信息，输出基于排气管处理机器人12的排气管供给动作的控制信息的 供给动作设定部件。供给动作设定部件根据预先设定的工作车2的基准停止位置信息，将实际停止位置信息作为图像信息取得，根据实际停止位置相对于基准停止 位置的偏差修正工作车2的停止位置，根据从预先设定的工作车停止位置 的排气管安息取得，根据实际设置位置相对于基准设置位置的偏差修正排气管安装部 6的设置位置，将排气管5的实际安装位置信息作为图像信息取得，根据 实际安装位置相对于预先设定的排气管5的基准安装位置的偏差修正排气 管5的安装位置，将修正的修正供给动作作为基于排气管处理机器人12 的排气管供给动作的控制信息输出。排气管处理机器人12的机器人控制盘19等控制部件具有为了在自动控制下通过排气管处理机器人12从搬入系统的排气管搬入用传送带11 取出排气管5，将取出待机位置的排气管5的实际待机状态信息作为图像 信息取得，根据实际待机状态信息相对于预先设定的排气管5的基准待机 状态信息的偏差修正取出动作，将修正的修正取出动作作为控制信息输出 的排气管取出动作修正部件。排气管处理机器人12的机器人控制盘19等控制部件具有为了在自动控制下通过排气管处理机器人12将排气管5向排气管安装部6安装， 而将基于排气管处理机器人12的排气管5的实际把持状态信息作为图像 信息取得，根据实际把持状态信息相对于排气管5的基准把持状态信息的 偏差修正安装动作，将修正的修正安装动作作为控制信息输出的排气管安 装动作修正部件。用排气管搬入用传送带U搬入装卸部9的排气管5向排气管安装部6 供给时，如图13所示，在只有排气管5的状态下，立在盘架67中而准备， 如图14所示，在排气管5的上端配置熔合密封部21的状态下，立在盘架 67中而准备。然后，排气管5插入排气管安装部6的安装孔53内。可是， 排气管5是玻璃制等，容易破损，另外如图13所示，因为制作误差，所 以排气管5的长度产生AL1 (基准长度士lmm左右)的离散，并不是一 定的。进而，在该排气管5的上端配置熔合密封部21的状态下，如图14 所示，在包含排气管5和熔合密封部21的尺寸中也产生AL2的离散。而 排气管安装部6的上面和排气管5的上端之间的距离需要保持为一定的 值。因为这些理由，所以通过人手，通过以下的步骤，进行排气管5向排 气管安装部6的安装。首先，从盘架67取出的1个排气管5根据作业者 的目视确认，插入排气管安装部6的安装孔53内。接着，以排气管安装部6的上面和排气管5的上端之间的距离变为一定值的方式调整排气管5 的高度。最后，通过对环状密封件54送入高压空气，高度调整后的排气管5由排气管安装部6气密地保持。可是，基于人手的排气管5向排气管 安装部6的安装作业效率低，生产性差。优选采用用于自动化的排气管处 理机器人12，自动控制将排气管5向排气管安装部6安装的一系列动作。这时，在固定设置在定位置的排气管处理机器人12的前方，工作车2 停止后，开始一系列的安装动作，但是并不限定工作车2总在确定的基准 停止位置停止，无法避免该停止位置的离散。此外，在工作车2上安装设 置的排气管安装部6和衬底搭载部4自身在热处理炉8内的密封排气处理 过程中热变形，所以在排气管安装部6的安装孔53的位置也产生离散。 进而，在安装孔53内插入排气管5时，在排气管安装部6的高度具有离 散，所以难以用排气管安装部6正常保持排气管5。因此，实施对于这些 的对策在自动控制下是必要的。如图24和图25所示，在工作车2的角部安装基准标识IX、 1Y和1Z， 基准标识IX成为表示沿着轨道23的水平的X轴方向的工作车2的位置 的基准，基准标识1Y成为表示与轨道23正交的水平的Y轴方向的工作 车2的位置的基准，基准标识1Z成为表示与X轴以及Y轴正交的Z轴方 向的工作车2的位置即高度的基准。此外，如图15和图16所示，在工作 车2上竖立设置的安装柱37的伸出部38分别设置成为表示该位置的基准 的基准标识1H。基准标识1X、 1Y和1Z可以在工作车2上形成，也可以 通过工作车2之外的另外的部件形成。同样，基准标识1H可以在伸出部 38形成，也可以通过伸出部38之外的另外的部件形成。而在装卸部9的定位置固定设定的排气管处理机器人12具有能三维 地直线运动和旋转运动的机械手。在该机械手安装用于将各种控制信息作 为图像信息取得的摄像机68，通过该摄像机68，如图17所示，检测排气 管安装部6的安装孔53。然后，通过机械手，进行用于计算安装孔53的 中心位置坐标的第一动作和把持在盘架67中收纳的特定的排气管5并且 插入安装孔53内的第二动作。在第二动作中，如图18和图19所示，由 机械手的卡盘部69把持的排气管5的上端由摄像机68检测，计测从卡盘 部69到排气管5的上端的距离，或者在排气管5设置熔合密封部21时，计测从卡盘部69到熔合密封部21的上端的距离。在排气管5向排气管安装部6的插入时，首先在步骤(l)，如果移动的工作车2在排气管处理机器人12的前方停止，就根据由摄像机68检测 基准标识IX、 1Y和1Z的位置，计算工作车2的基准停止位置和实际停 止位置之间的误差量(Axl、 Ayl、 Azl)。根据该计算出的误差量(△ xl、 Ayl、 Azl)，进行机械手的第一基准移动停止位置即第一计测地点 的修正。例如，如果误差量的X轴成分是+AX，就将机械手的行程的X 轴方向成分增加AX，相反，如果误差量的X轴成分是一AX，就将行程的 X轴方向成分縮短AX。 Y轴方向、Z轴方向也进行同样的修正。因此，即 使在工作车2的实际停止位置产生误差，机械手的第一计测地点也能修正 为通过摄像机68能检测伸出部38上的基准标识1H的位置。在步骤(2)中，如果机械手在修正后的第一计测地点停止，就通过 摄像机68检测伸出部38上的基准标识1H，计算排气管安装部6的基准 配置位置，具体而言，安装孔53的中心位置和实际配置位置之间的误差 量(Ax2、 Ay2、 Az2)。进而，根据该计算出的误差量(Ax2、 Ay2、 △ z2)，与所述同样，进行机械手的第二基准移动停止位置即第二计测地 点的修正。因此，在排气管安装部6的基准配置位置即使产生了误差，机 械手的第二计测地点也能修正为通过摄像机68能检测安装孔53的中心位 置的位置。接着，在步骤(3)中，如果机械手在修正后的第二计测地点停止， 就如图17所示，摄像机68移动到安装孔53的中心位置的上方，通过该 摄像机68，计算安装孔53的基准中心位置和实际中心位置之间的误差量 (Ax3、 Ay3、 Az3)。通过步骤(1) (3)，确定排气管5的安装作业时的 机械手的排气管安装部6上的适当的停止位置(X、 Y、 Z)。而根据Z轴方向的排气管安装部6的高度信息和作为把持对象的排气 管5的实际长度信息或者排气管5与熔合密封部21相加的实际长度信息， 确定机械手从所述停止位置(X、 Y、 Z)的下降停止位置(X、 Y、 Zl)。 例如，如果基于机械手的卡盘部69的排气管5的把持位置即机械手的停 止位置一定，就如图18和图19所示，计测从卡盘部69到排气管5的上 端的距离Hl或者从卡盘部69到熔合密封部21的上端的距离H2，计算排气管5的基准长度和实际长度之间的误差量(AL)。须指出的是，图18表示只将排气管5插入安装孔53内的情形，图19表示将在上端配置有熔 合密封部21的排气管5插入安装孔53内的情形。然后，根据排气管安装部6的Z轴方向的所述高度信息和关于排气管 5的所述误差量(AL)，确定与排气管5的实际长度对应的机械手的下降 停止位置(X、 Y、 Zl)。例如，如果排气管5的实际长度和基准长度之间 的误差量(=实际长度一基准长度)为+AL，则机械手的下降停止位置为 以作为0的情形为基准低AL的位置，排气管5或者熔合密封部21的上端 和排气管安装部6的高度的位置关系总是一定的。另外，在所述的例子中，通过卡盘部69把持排气管5后，计测排气 管5或者熔合密封部21的上端位置，但是并不局限于此，在通过卡盘部 69把持排气管5之前，也可以预先计测排气管5或者熔合密封部21的上 端位置。这时，在通过卡盘部69把持排气管5之前，通过摄像机68等预 先计测排气管5或者熔合密封部21的上端位置，根据该计测的上端位置 信息，修正基于卡盘部69的排气管5的把持位置，然后，根据排气管安 装部6的高度信息，修正机械手的下降停止位置即可。通过进行以上的排气管处理机器人12的控制，即使产生工作车2的 实际的停止位置的离散、制作误差或者伸出部38等的热变形引起的排气 管安装部6的安装孔53的中心位置的离散、排气管5的制作误差引起的 排气管长度的离散，也能按照安装孔53，并且按照排气管5的长度，在适 当的位置将排气管5安装到安装孔53内。此外，检测离散大的工作车2 的停止位置，限制检测范围之后，再检测离散小的安装孔53的中心位置， 所以即使摄像机68的视野狭窄，也能可靠地检测安装孔53的中心位置， 更顺利地进行排气管5向安装孔53内的安装。接着，说明适合于在将排气管5安装于排气管安装部6上的工作车2 上，在自动控制下搭载衬底3的结构。在衬底搭载部4，通过多个分隔部 即支承梁33，形成将至少一组一对衬底3独立装入的衬底装入用空间S, 并且衬底搭载机器人13的机器人控制盘19等控制部件具有为了在自动 控制下通过衬底搭载机器人13将各一对的衬底3向衬底搭载部4搭载， 而将衬底装入用空间S的尺寸作为图像信息取得，根据取得的尺寸信息，输出一对衬底3向衬底装入用空间S的装入的可否的控制信息的装入操作 判定部件。衬底搭载机器人13的机器人控制盘19等控制部件具有为了在自动 控制下通过衬底搭载机器人13使从衬底搬入用传送带IO供给的至少一组一对衬底3的通气孔36与工作车2的排气管安装部6的排气管5 —致， 而将排气管安装部6上安装的排气管5的中心位置信息和一对衬底3的搭 载待机位置的通气孔36的中心位置信息作为图像信息取得，使用这些中 心位置信息，计算基于将预先在衬底搭载机器人13设定的一对衬底3从 搭载待机位置向衬底搭载部4供给的基准搭载动作的排气管5和通气孔36 的中心位置的误差，并将根据误差修正的修正搭载动作作为控制信息输出 的搭载动作修正部件。如果支承梁33的配置间隔为D，支承部34的高度为h， 一对衬底3 就在支承部34的上面和支承梁33的下面之间的纵向，装入尺寸(D-h) 的空间即衬底装入用空间S中。此外，衬底1向支承部34上载置时，使 设置在衬底1的角部附近的通气孔36的中心和排气管5的中心一致成为 必须条件。而支柱32和支承梁33在热处理炉8内的密封和排气工序中热变形， 所以支承部34的上面和支承梁33的下面之间的间隔从所述的尺寸(D-h) 变化，不保持一定的值。此外，排气管安装部6的安装孔53的位置即排 气管安装部6中安装的排气管5中心位置由于工作车2的停止位置的离散 或所述的热变形等，不是一定的。进而，衬底3的通气孔36的位置也由 于制作时的误差而不是一定的。由于这些理由，衬底1向工作车2的装载 由人手进行。基于人手的衬底3向工作车2的装载中，作业效率差，生产 性低。因此，采用用于自动控制化的衬底搭载机器人13，通过机械手保持 衬底3，移送到衬底装入用空间S，载置在支承部34上。可是，衬底装入用空间S从所述尺寸(D-h)的状态变化，变得比它 小，不具有足够的高度时，衬底3也由机械手装入衬底装入用空间S内， 衬底1和支承部34或者机械手和支承梁33碰撞，有可能使它们破损，需 要对其加以考虑。此外，即使通过机械手总将衬底3移送到相同的位置， 在工作车2的停止位置上也具有离散，衬底3的通气孔36的中心和排气管5的中心的各位置并不一定一致，需要留意。在轨道23的侧面的装卸部9配置衬底搭载机器人13，在配置在工作车2上的多级支承梁33的外侧面的三处，如图20所示，设置基准标识70。 该基准标识70可以在支承梁33自身上加工形成，也可以通过其它构件形 成。此外，在工作车2上的各排气管安装部6，通过排气管处理机器人12 安装排气管5。而且，通过衬底搭载机器人13的机械手上设置的未图示的 摄像机，检测该基准标识70，计测各级的支承梁33的实际的高度，通过 以下的顺序，进行衬底3向工作车2的装载。衬底3向工作车2的装载如图21所示，首先在步骤S1，根据由摄像 机检测的基准标识70的高度，进行各级的支承梁33的下面和其下方的支 承部34之间的间隙尺寸的计算。具体而言，例如关于第一级和第二级， 根据如图20所示那样检测的各基准标识1的高度，计算各支承部34的上 面从基准标识LO的高度Zla、 Zlb、 Zlc、 Z2a、 Z2b、 Z2c，在Zla、 Zlb、 Zlc中，求出最大值即Max (Zla、 Zlb、 Zlc)，在Z2a、 Z2b、 Z2c中，求 出最小值即Min (Z2a、 Z2b、 Z2c)。进而，作为间隙尺寸，计算[Min (Z2a、 Z2b、 Z2c) —Max (Zla、 Zlb、 Zlc) —D]的值。该值是有可能具有的最 小间隙尺寸的值。在步骤S2中，计算出的间隙尺寸的情况下，判断由机械手保持的衬 底3能否装入，在"是"时，进入步骤S3，在"否"时，进入步骤S7。 在步骤S3，如图22和图23所示，通过机械手将衬底3移送到固定摄像机 71的上方的定位置，通过该固定摄像机71检测装入前的衬底3的通气孔 36，进行通过机械手的一定的动作将该衬底3移送到支承部34的上方时 在机械手的移动停止位置的通气孔36的中心位置的计测。在步骤S4，判断已经通过机械手的摄像机检测而求出的排气管5的中 心位置和在步骤S3中计测的通气孔36的中心位置是否一致，在"是"时， 进入步骤S5，在"否"时，进入步骤S9。在步骤S5，排气管5的中心位 置与通气孔36的中心位置一致，由此通过机械手将衬底3移送到上下的 支承梁33之间，使其位于排气管5的上方后，在支承部34上载置，完成 衬底3的装入。在该装入后，根据需要，在步骤S6，通过机械手，使用压板35，进行衬底3和排气管5的固定。而在步骤S7，衬底3无法向上下的支承梁33装入，即支承梁33异常变形，由此，发出警报，在接着的步骤S8，中 止衬底3向工作车2的装载作用。此外，在步骤S9，通气孔36的中心位 置从预先确定的正规的位置偏移，产生从该正规的位置的误差，由此进行 该误差的计算。进而，在步骤SIO，根据步骤S9中的计算结果，修正机械手的移动 停止位置，然后进入步骤S5，如上所述，进行衬底3向支承部34的装入。 如上所述，将衬底3载置到排气管5之上，衬底3向工作车2的装载完毕。 然后，将上述的作业按支承梁33的级数进行重复。通过衬底搭载机器人13在工作车2装载衬底3时，计测衬底装入用 空间S的高度，判断衬底3能否向该衬底装入用空间S装入，在可能时， 根据衬底3的通气孔36的中心位置信息和排气管安装部6的排气管5的 中心位置信息，根据需要以两中心位置一致的方式修正保持衬底3的机械 手的移动停止位置后，将衬底3移送到支承部34，所以通过衬底搭载机器 人13，不发生与其他部分的冲突而将衬底3装入衬底装入用空间S中，能 移送到适当的位置，通过自动控制化，能提高作业效率。接着，说明能应对在面板制造作业的自动控制化时，衬底搭载部4和 在其上搭载的衬底3由于热处理操作等而产生位置偏移的机构。衬底搭载 部4具有在多个部位一个个支承至少一组一对衬底3的多个支承部34，多 个支承部34中除了接近排气管5的至少一个接近位置支承部34a外的其 它远离位置支承部34b与接近位置支承部34a相比，相对容易移动地支承 一对衬底3。远离位置支承部34b也可以能摆动地构成。或者，远离位置 支承部34b将滚动轴心T与排气管5的中心位置方向正交配置，由在其上 支承一对衬底3的辊机构构成。在热处理时，伴随着工作车2的各部或衬底3的热膨胀、收縮。这时， 需要注意如下情况，即，工作车2的各部以及衬底3的热膨胀并不一定相 同，如果因为各热膨胀、收缩引起的变化量的差异或各部温度而在排气管 5和衬底3的接合部或在排气管5自身作用外力，则有可能引起排气管5 和衬底3的通气孔36之间的位置偏移或排气管5的破损等事态。因此，在工作车2，需要进行如下操作等，即，保持排气管5的排气管安装部6上连接的独立配管46等配管为挠性管，通过该挠性管将排气管安装部6安装到伸出部38，由此不限制排气管安装部6的移动。由此， 极力避免排气管安装部6的载荷或外力作用到排气管5，但是希望考虑如 下的点，即，其成为自动化等省力化的较大障碍，并且无法完全排除作用 在排气管5上的外力，所以有可能产生上述的位置偏移或破损，其成为等 离子体显示面板等面板制造上的成品率下降的原因。此外，虽然也考虑使突出设置支承部34的支承梁33的热膨胀率和衬 底3的热膨胀率相同，或者在支承部34上设置与衬底3具有相同的膨胀 率的底板，在其上突出设置支承部34，但是衬底3是玻璃制等，所以希望 改善与其为相同材料的支承梁33或底板容易产生破损或翘曲，另外工作 车2整体的重量增加，引起热效率下降等问题。如图24和图25所示，在工作车2上，与支承梁33不同，在由安装 柱37支承的伸出部38的延长部74，位于排气管5附近而突出设置接近位 置支承部34a，而在由支柱32支承的支承梁33，突出设置比接近位置支 承部34a离开排气管5而设置的远离位置支承部34b。而且，接近位置支 承部34a的上端面和衬底3之间的摩擦系数比远离位置支承部34b的上端 面和衬底3之间的摩擦系数大。例如，通过金属纤维、金属网或者陶瓷材 料，以上端面变为粗糙面的方式形成接近位置支承部34a，通过金属或陶 瓷，将上端面进行镜面加工，形成远离位置支承部34b。在图示的例子时， 在各伸出部38，在离排气管5大致等距离的位置分别设置2个上述的接近 位置支承部34a。衬底3在配置有熔合密封部21的排气管5的上端和这些支承部34a、 34b的上端面上配置，排气管5的中心和衬底3的通气孔36的中心大致一 致，这时，即使工作车2的各部或衬底3热膨胀或收縮，发生分别不同量 的相对尺寸变化，在接近位置支承部34a的上端面的位置，衬底3不产生 相对移动地被支承，在远离位置支承部34b的上端面的位置，衬底3在横 向相对移动，即引起滑动，在排气管5和衬底3的接合部或排气管5自身 不作用外力，能避免排气管5和衬底3的通气孔36之间的位置偏移或排 气管5的破损等事态。关于远离位置支承部34b，在上端面配置能滚动的 普通的球状或辊状的支承体，通过该球状或辊状的支承体，支承衬底3。图26表示其它支承方式，只是远离位置支承部34b的结构不同。远离位置支承部34b具有上面形成球面或曲面状的头部75、在该头部75的 下方延伸的腿部76、下面形成球面或曲面状并且在其下面的中心部使腿部 76贯通的凸缘部77，腿部76在穿设于支承梁33上的通孔78内松嵌，在 通孔78的上端开口的周缘部上可滑动地载置凸缘部77。而且，将通孔78 的中心轴和凸缘部77的交点作为中心，腿部76能摆动。即，远离位置支 承部34b相对于衬底3在横向与衬底3和远离位置支承部34b之间的位置 偏移对应，相对容易移动地设置。须指出的是，优选凸缘部77的下面的 曲率形成为即使腿部76摆动，头部75的最上部的高度也保持一定。图27~图30表示由辊机构构成的其它支承方式。在远离位置支承部 34b，在上面开口的箱体79载置圆柱状的辊72，辊72能自由旋转地形成。 此外，辊72所在的箱体79内的支承面73倾斜为中心部变低，在不作用 外力时，辊72在重力的作用下在支承面73的中心停止，而箱体79的各 侧面比支承面73向上方突出地形成，辊72从该箱体79不脱离。进而，以各辊72的中心轴T相对于向着排气管5的由图中单点划线 表示的方向正交的方式配置远离位置支承部34b，在所述的热膨胀或收縮 时，在衬底3，相对于接近位置支承部34a的部分，其他远离位置支承部 34b能顺利地在横向相对移动，在排气管5和衬底3的接合部或排气管5 自身不作用外力，能避免排气管5和衬底3的通气孔36之间的位置偏移 或排气管5的破损等事态。接近位置支承部34a的设置个数并不局限于2个。此外，排气管5并 不局限于向上突出的情形，也能应用在向下突出的情形。接着，说明在密封、切断从热处理炉8抽出的衬底3的排气管5的作 业中，能顺利导入自动控制化的结构。具有在基于排气管密封切断机器 人14的机器人控制盘19等的控制部件的自动控制下，对开式开闭自如地 进行工作，为了进行排气管5的密封、切断而关闭，包围排气管5周围的 加热器。在衬底3接合排气管5，从一对衬底3之间的排气处理等后，进行排 气管5的密封、切断处理。以前使用气体燃烧装置，通过人手，使排气管 5的特定部位熔融，进行密封和切断，从而实施该排气管5的密封、切断处理，因此希望自动控制化。排气管密封和切断装置80如图31和图32所示，具有能分割为2个 的一对壳体构件81构成的绝热构造的壳体82、在壳体构件81各自的内部 设置的排气管外周部加热用的加热器(未图示)。此外， 一壳体构件81配 置在安装座83上，另一壳体构件81配置在安装座84上。进而，在2个 安装座83、 84之间设置伸缩工作缸85，例如在一安装座84结合工作缸体 86，在另一安装座83结合活塞杆87，由此，另一壳体构件81相对于一壳 体构件81移动，作为壳体82整体，变为能开闭。各壳体构件81形成截面半圆形的箱体状，在其内部填充绝热材料， 此外在各壳体构件81，通过它们闭合，形成呈大致正圆的半圆形的槽88。 加热器沿着该半圆形的槽88配置。而且，在壳体82变为关闭状态时，壳 体构件81彼此接触，通过两个槽88，形成排气管收纳用的通孔89。在安 装座84竖立设置轴体90，在轴体90的上端设置夹持衬底3的压板35。通过排气管5进行衬底3内的真空排气处理之后，如果放电气体向衬 底3的封入处理完毕，则如图所示，通过排气管密封切断机器人14，以壳 体构件81位于排气管5的两侧的方式用压板35夹持衬底3，将处于打开 状态的排气管密封切断装置80安装在衬底3上。压板35的安装中，用机 械手的摄像机将衬底3的位置作为图像信息取得，相对于该位置，机械手 移动而进行安装动作。接着，使伸縮工作缸85收縮，将壳体构件81—体 化，即，使壳体82成为关闭状态，使排气管5位于通孔89内。这时，排 气管5的大致整周由2个加热器包围。然后，对加热器通电，通过该加热 器，将排气管5的外周加热规定时间。通过该加热，排气管5的整周被均 匀加热，熔化而完成密封。进而，如果继续排气管5的通电，则切断该密 封部。根据以上结构的装置，能自动控制排气管5的密封、切断作业，能提 高作业效率，并且通过排气管密封切断机器人14，依次用压板35将该装 置80安装到衬底3，由此不需要对各衬底3设置排气管密封切断装置80， 能减少其数量。也可以代替加热器，用燃烧装置在自动控制下进行排气管5的密封切 断处理。具有在基于排气管密封切断机器人14的机器人控制盘19等控制部件的自动控制下进行工作，为了进行排气管5的密封、切断，使排气 管5熔融的燃烧装置；为了使排气管5延伸，使排气管安装部6下降的下降部件。即，在将上述的压板35安装到各衬底3的排气管密封切断机器 人14的机械手中具有燃烧装置，并且作为使排气管安装部6下降的部件， 例如将排气管安装部6相对于伸出部38可升降驱动地安装即可。燃烧装 置的位置控制以类似于利用图像信息的上述的将衬底3向衬底装入用空间 S插入的自动控制或将排气管5向安装孔53插入的自动控制的方式进行即 可。切断并且在排气管安装部6中残留的残留排气管5利用同样由摄像机 取得的图像信息，首先由排气管密封切断机器人14把持，接着通过空气 供给和排气管58去掉高压空气，由此解除基于排气管安装部6的环状密 封件54的保持，从而将其撤去。也可以用对工作车2供给新的排气管5 的排气管处理机器人12撤去残留的残留排气管5。如果这样，就能极力防 止大气流入从排气管安装部6到排气泵39的系统线路。进而，使从工作车2将密封切断排气管5从而完成的面板卸货的作业 自动控制化。面板卸货机器人15的机器人控制盘19等控制部件具有为 了在自动控制下从工作车2的衬底搭载部4将面板卸货到面板搬出用传送 带16，而将工作车2的实际停止位置信息和面板的实际搭载位置信息作为 图像信息取得，根据这些实际停止位置信息和实际搭载位置信息，输出基 于面板卸货机器人15的面板的卸货动作的控制信息的卸货动作设定部件。 通过与衬底3的搭载作业同样的控制，能实现该自动控制。在面板从工作车2卸货时，首先移动而来的工作车2如果在面板卸货 机器人15的前方停止，则根据由摄像机检测到的基准标识IX、 1Y、 1Z 的位置，计算工作车2的基准停止位置和实际停止位置之间的误差量。根 据该计算出的误差量，进行机械手的第一基准移动停止位置即第一计测地 点的修正。因此，即使在工作车2的实际停止位置产生误差，机械手的第 一计测地点也能修正为能由摄像机检测可特定面板位置的伸出部38上的 基准标识1H的位置。在步骤2，如果机械手在修正后的第一计测地点停止，则由摄像机检 测伸出部38上的基准标识1H，计算面板的基准搭载位置和实际搭载位置之间的误差量。进而，根据该计算出的误差量，进行机械手的第二基准移 动停止位置即第二计测地点的修正。通过步骤1和2，可确定机械手相对 于面板的实际搭载位置的适当停止位置。通过进行以上的面板卸货机器人15的控制，即使存在工作车2的实 际的停止位置的离散、制造误差或者各部的热变形，也能使机械手移动到 适当的位置，通过自动控制从工作车2对面板进行卸货。
权利要求
1.一种等离子体显示面板等的面板制造系统，其特征在于，包括循环路径，其形成闭环状；多个工作车，其在该循环路径上反复行驶、停止，同时依次移动；衬底搭载部，其设置在这些工作车上，搭载重合的至少一组一对衬底；排气管安装部，其设置在这些工作车上，将排气管拆装自如地安装为与所述一对衬底的一方面对；排气装置，其设置在这些工作车上，与所述排气管安装部连接，通过所述排气管进行排气处理；热处理炉，其设置在所述循环路径上，为了行驶的所述工作车上的至少一组所述一对衬底相互的接合和所述排气管向该衬底的接合而进行热处理，并且通过该工作车的所述排气装置，进行从该衬底间的排气处理；装卸部，其在所述循环路径上沿着所述工作车的行驶方向与所述热处理炉邻接设置；搬入系统，其将重合的所述一对衬底或所述排气管搬入该装卸部；作业机器人，其设置在所述装卸部，根据控制信息进行动作，对装入所述热处理炉中的所述工作车，进行所述排气管和所述一对衬底向所述排气管安装部和所述衬底搭载部的供给，并且对从该热处理炉抽出的该工作车，进行与该衬底接合的该排气管的密封、切断和切断后残留的该排气管的撤去、切断该排气管而完成的面板的卸货；搬出系统，其从所述装卸部搬出所述面板；控制部件，其控制这些工作车、排气装置、热处理炉、搬入系统、作业机器人、搬出系统。
2. 根据权利要求1所述的等离子体显示面板等的面板制造系统，其 特征在于，所述工作车具有放电气体供给装置，所述放电气体供给装置用于在所 述排气处理后且所述排气管的密封、切断之前，通过所述排气管安装部的 该排气管，向所述一对衬底间注入放电气体。
3. 根据权利要求1或2所述的等离子体显示面板等的面板制造系统， 其特征在于，所述排气装置具有排气泵；为了排气而开闭自如地开放的排气阀；检测到所述一对衬底间压力达到了设定压力而关闭所述排气阀的排气阀 控制器。
4. 根据权利要求1~3中的任意一项所述的等离子体显示面板等的面板制造系统，其特征在于，所述放电气体供给装置具有放电气体供给源；为了从该放电气体供给源向所述排气管供给放电气体而开闭自如地开放的供给阀；检测到所述 一对衬底间压力达到了设定压力而关闭所述供给阀的供给阀控制器。
5. 根据权利要求1~4中的任意一项所述的等离子体显示面板等的面 板制造系统，其特征在于，具有能对所述各工作车进行行驶、停止操作的驱动机构，并且具有为 了使停止的所述工作车相对于所述循环路径成为固定状态而与该工作车 卡脱自如地卡合的锁定装置。
6. 根据权利要求1~5中的任意一项所述的等离子体显示面板等的面 板制造系统，其特征在于，所述控制部件为了完成与至少一组所述一对衬底向所述衬底搭载部 的搭载操作同时使所述排气管与一方的该衬底面对的组装，而对所述作业 机器人进行控制，使得将该排气管安装到所述排气管安装部后，将所述一 对衬底搭载在所述衬底搭载部。
7. 根据权利要求1~6中的任意一项所述的等离子体显示面板等的面 板制造系统，其特征在于，所述控制部件具有供给动作设定部件，所述供给动作设定部件为了以 自动控制将所述排气管从所述搬入系统向所述工作车的所述排气管安装 部供给，而将该工作车的实际停止位置信息和该排气管安装部的该排气管 的实际安装位置信息作为图像信息取得，根据这些实际停止位置信息和实 际安装位置信息，输出基于所述作业机器人的排气管供给动作的控制信 息。
8. 根据权利要求7所述的等离子体显示面板等的面板制造系统，其特征在于，所述供给动作设定部件基于预先设定的所述工作车的基准停止位置 信息，将实际停止位置信息作为图像信息取得，根据实际停止位置相对于 基准停止位置的偏差修正所述工作车的停止位置，基于所述排气管安装部 根据预先设定的工作车停止位置的基准设置位置信息，将实际设置位置信 息作为图像信息取得，根据实际设置位置相对于基准设置位置的偏差修正 所述排气管安装部的设置位置，将所述排气管的实际安装位置信息作为图 像信息取得，根据实际安装位置相对于预先设定的所述排气管的基准安装 位置的偏差修正该排气管的安装位置，将修正的修正供给动作作为基于所 述作业机器人的排气管供给动作的控制信息输出。
9. 根据权利要求1 8中的任意一项所述的等离子体显示面板等的面 板制造系统，其特征在于，所述控制部件具有排气管取出动作修正部件，所述排气管取出动作修 正部件为了以自动控制通过所述作业机器人从所述搬入系统取出所述排 气管，而将取出待机位置的该排气管的实际待机状态信息作为图像信息取 得，根据实际待机状态信息相对于预先设定的所述排气管的基准待机状态 信息的偏差修正取出动作，将修正的修正取出动作作为控制信息输出。
10. 根据权利要求1~9中的任意一项所述的等离子体显示面板等的面 板制造系统，其特征在于，所述控制部件具有排气管安装动作修正部件，所述排气管安装动作修 正部件为了以自动控制通过所述作业机器人将所述排气管安装到所述排 气管安装部，而将基于该作业机器人的该排气管的实际把持状态信息作为 图像信息取得，根据实际把持状态信息相对于预先设定的所述排气管的基 准把持状态信息的偏差修正安装动作，将修正的修正安装动作作为控制信 息输出。
11. 根据权利要求1~10中的任意一项所述的等离子体显示面板等的 面板制造系统，其特征在于，所述排气管安装部具有与所述排气装置连通形成，用于将所述排气 管向上安装的安装孔；设置在该安装孔，且与所述排气管可接离地压接而气密地密封该排气管周围的环状密封件。
12. 根据权利要求11所述的等离子体显示面板等的面板制造系统， 其特征在于，具有上下滑动机构，其为了无论所述环状密封件的状态变化如何都 始终将所述排气管与从上方搭载的所述一对衬底的一方压接，而使所述排 气管安装部在上下方向移动自如；施力部件，其将所述排气管安装部向上 方施力。
13. 根据权利要求1~12中的任意一项所述的等离子体显示面板等的面板制造系统，其特征在于，在所述衬底搭载部通过多个分隔部形成将至少一组所述一对衬底独 立装入的衬底装入用空间，并且所述控制部件具有装入操作判定部件，所 述装入操作判定部件为了以自动控制通过所述作业机器人将所述各一对 衬底向所述衬底搭载部搭载，而将所述衬底装入用空间的尺寸作为图像信 息取得，根据取得的尺寸信息，输出所述一对衬底向所述衬底装入用空间 的装入的可否的控制信息。
14. 根据权利要求1~13中的任意一项所述的等离子体显示面板等的 面板制造系统，其特征在于，所述控制部件具有搭载动作修正部件，所述搭载动作修正部件为了使 以自动控制通过所述作业机器人从所述搬入系统供给的至少一组所述一 对衬底的通气孔与所述工作车的所述排气管安装部的所述排气管一致，而 将安装在该排气管安装部上的该排气管的中心位置信息和该一对衬底的 搭载待机位置的该通气孔的中心位置信息作为图像信息取得，使用这些中 心位置信息，计算基于将预先设定在所述作业机器人中的所述一对衬底从 搭载待机位置向所述衬底搭载部供给的基准搭载动作的所述排气管和所 述通气孔的中心位置的误差，将根据误差修正的修正搭载动作作为控制信 息输出。
15. 根据权利要求1 14中的任意一项所述的等离子体显示面板等的 面板制造系统，其特征在于，所述衬底搭载部具有在多个部位一个个支承至少一组所述一对衬底 的多个支承部，该多个支承部中除接近所述排气管的至少一个接近位置支 承部外的其他远离位置支承部与该接近位置支承部相比，相对容易移动地支承所述一对衬底。
16. 根据权利要求15所述的等离子体显示面板等的面板制造系统，其特征在于，所述远离位置支承部能摆动。
17. 根据权利要求15所述的等离子体显示面板等的面板制造系统， 其特征在于，所述远离位置支承部由辊机构构成，所述辊机构配置为滚动轴心与所 述排气管的中心位置方向正交，并在其上支承所述一对衬底。
18. 根据权利要求1~17中的任意一项所述的等离子体显示面板等的 面板制造系统，其特征在于，具有加热器，所述加热器在基于所述控制部件的自动控制下对开式开闭自如地进行工作，且为了进行所述排气管的密封、切断而关闭，包围该 排气管周围。
19. 根据权利要求1 17中的任意一项所述的等离子体显示面板等的 面板制造系统，其特征在于，具有燃烧装置，其在基于所述控制部件的自动控制下进行工作，为 了进行所述排气管的密封、切断，而使该排气管熔融；下降部件，其为了 使该排气管延伸，而使所述排气管安装部下降。
20. 根据权利要求1~19中的任意一项所述的等离子体显示面板等的 面板制造系统，其特征在于，所述控制部件具有卸货动作设定部件，所述卸货动作设定部件为了以 自动控制将所述面板从所述工作车的所述衬底搭载部向所述搬出系统卸 货，而将该工作车的实际停止位置信息和该面板的实际搭载位置信息作为 图像信息取得，根据这些实际停止位置信息和实际搭载位置信息，输出基 于所述作业机器人的所述面板的卸货动作的控制信息。
全文摘要
本发明提供一种能几乎全自动化制造等离子体显示面板等面板的等离子体显示面板等的面板制造系统。其包括闭环状的循环路径(1)；在循环路径上移动的多个工作车(2)；设置在工作车上的衬底搭载部；设置在工作车上，安装排气管的排气管安装部；设置在工作车上，与排气管安装部连接的排气装置；设置在循环路径中，进行密封处理和排气处理的热处理炉(8)；设置在循环路径中的装卸部(9)；将衬底或排气管搬入装卸部(9)中的传送带(10、11)；设置在装卸部，根据控制信息工作，进行面板制造作业的机器人(12～15)；从装卸部搬出面板的传送带(16)；控制这些机械人的控制盘(17～20)。
文档编号H01J9/385GK101278370SQ20058005175
公开日2008年10月1日 申请日期2005年10月7日 优先权日2005年10月7日
发明者木曾田欣弥 申请人:中外炉工业株式会社