专利名称：适用于大型化学气相沉积炉的进气管系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种适用于大型化学气相沉积炉的进气管系统。
背景技术：
化学气相沉积是一种被广泛应用于生产新型材料(如C/C、C/SiC、SiC/SiC等复合材料)的工艺方法。随着社会的发展、技术的进步，航天、航空、交通等诸多领域对化学气相沉积材料有了更高的要求，材料或制品的尺寸在向大型化发展。沉积均勻性是化学气相沉积的一个十分重要的质量指标，但是由于目前没有适用于大型化学气相沉积炉的沉积气路系统，要保证大型(特别是高度尺寸很大)材料或制品化学气相沉积均勻性却十分困难，这就阻碍了大型化学气相沉积炉的开发，制约了大型(特别是高度尺寸很大)材料或制品的化学气相沉积。而在沉积气路系统中，进气管系统又是十分关键的器件，目前的进气管系统和排气管系统都不能适用于大型化学气相沉积炉的沉积气路系统。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种能保证大型特别是高度尺寸很大的材料或制品化学气相沉积均勻性的适用于大型化学气相沉积炉的进气管系统。为了解决上述技术问题，本实用新型提供的适用于大型化学气相沉积炉的进气管系统，喇叭状出气口连接有接气管。在所述的喇叭状出气口和所述的接气管之间连接有扩气管。在所述的喇叭状出气口内设有倾斜微螺旋气流导向槽。接气管、扩气管和喇叭状出气口均由石墨材料制成。采用上述技术方案的适用于大型化学气相沉积炉的进气管系统，与一般化学气相沉积炉的进气管比较，本实用新型具有以下优点1、适用于大型化学气相沉积炉的进气管系统采用喇叭状出气口，布气面积大，有利于气体分布均勻和气流场的稳定。2、在喇叭状出气口的内锥面上设有倾斜微螺旋气流导向槽，对排气有一定的气流导向作用，使气体形成旋流，扩大了气流均勻分布的范围。3、适用于大型化学气相沉积炉的进气管系统的进气口由小变大，有利于防止气体在管内沉积堵塞。综上所述，本实用新型是一种能保证大型特别是高度尺寸很大的材料或制品化学气相沉积均勻性且结构简单、性能可靠、制造方便、成本低廉的适用于大型化学气相沉积炉的进气管系统。
图1是本实用新型的剖面结构示意图。图2是本实用新型的改进剖面结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步说明。参见图1，喇叭状出气口 3连接有接气管1，在喇叭状出气口 3内设有倾斜微螺旋气流导向槽4，接气管1和喇叭状出气口 3均由石墨材料制成。参见图2，在喇叭状出气口 3和接气管1之间连接有扩气管2，在喇叭状出气口 3 内设有倾斜微螺旋气流导向槽4，接气管1、扩气管2和喇叭状出气口 3均由石墨材料制成。参见图1和图2，图中所示进气管系统的接气管1和扩气管2置于沉积炉的沉积室、发热体和隔热炉胆的外面，即置于冷区，喇叭状出气口 3则置于沉积室内。沉积气体由进气管系统的接气管1和扩气管2流入，进气管的喇叭状出气口 3将沉积气体均勻地分布到沉积室内。由于进气管自进气端至出气端其内孔尺寸由小变大，且进气端布置于冷区，有效地防止了气体在孔内沉积造成堵塞。
权利要求1.一种适用于大型化学气相沉积炉的进气管系统，其特征是喇叭状出气口(3)连接有接气管(Do
2.根据权利要求1所述的适用于大型化学气相沉积炉的进气管系统，其特征是在所述的喇叭状出气口( 和所述的接气管(1)之间连接有扩气管O)。
3.根据权利要求1或2所述的适用于大型化学气相沉积炉的进气管系统，其特征是 在所述的喇叭状出气口( 内设有倾斜微螺旋气流导向槽G)。
专利摘要本实用新型公开了一种适用于大型化学气相沉积炉的进气管系统，喇叭状出气口(3)连接有接气管(1)。在所述的喇叭状出气口(3)和所述的接气管(1)之间连接有扩气管(2)。在所述的喇叭状出气口(3)内设有倾斜微螺旋气流导向槽(4)。本实用新型是一种能保证大型特别是高度尺寸很大的材料或制品化学气相沉积均匀性且结构简单、性能可靠、制造方便、成本低廉的适用于大型化学气相沉积炉的进气管系统。
文档编号C23C16/455GK201942748SQ201020688020
公开日2011年8月24日 申请日期2010年12月29日 优先权日2010年12月29日
发明者戴煜, 羊建高, 谭兴龙 申请人:戴煜, 羊建高, 谭兴龙