专利名称：一种oled金属掩膜板对位装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于OLED显示技术领域，具体涉及一种OLED金属掩膜板对位装置。
背景技术：
在平板显示技术中，有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode, 0LED)显示器是一种通过载流子注入和复合导致有机材料发光的显示器件。以其轻薄、主动发光、快响应速度、广视角、色彩丰富及高亮度、低功耗、耐高低温等众多优点而被业界公认为是继液晶显示器(LCD)之后的第三代显示技术。主动式OLED (Active Matrix OLED，AMOLED)也称为有源矩阵0LED，AM0LED因通过在每个像素中集成薄膜晶体管(TFT)和电容器并由电容器维持电压的方法进行驱动，因而可以实现大尺寸、高分辨率面板，是当前研究的重点及未来显示技术的发展方向。随着近代显示技术的不断发展，从LCD到AM0LED，屏幕技术涉及TFT、NOVA、IPS、ASV, AMOLED以及Super AMOLED等等，这些技术主要大都是针对显示器的分辨率、亮度、对比度、色域、相应速度、可视角、清晰度和能耗等性能的不断改进。AMOLED作为具有较强竞争力的产品，其分辨率也不断的刷新，这对OLED的研究及生产过程中的真空蒸镀技术的要求也越来越高，其中实现掩膜板与基板的对位要求又是生产过程中的难点与重点，目前现有的蒸镀设备由于对位系统平台平坦度、控制精度、MASK平坦度及材料等因素影响，设备对位精度一般为±3 5um，并且在量产过程中的多次对位容易导致对位不良，直接影响生产效率与良率水平。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有的OLED金属掩膜板对位装置对位精度不高的问题提出了一种OLED金属掩膜板对位装置。本实用新型的技术方案为一种OLED金属掩膜板对位装置，包括暗箱，CXD摄像机工控机和蒸镀机主PC，所述暗箱内包括平台以及位于平台上的OLED基板和位置传感器，所述OLED基板通过真空吸附固定在平台上；所述CXD摄像机安装于真空装置内并且通过线路与工控机信号连接，所述CXD摄像机用于获取OLED金属掩膜板的对位图像信息并将所述对位图像信息通过所述线路传递给工控机；所述工控机通过线路与蒸镀机主PC信号连接，用于工控机与蒸镀机主PC之间通 目。本实用新型的有益效果通过采用C⑶摄像机采集OLED基板的对位图像并将所述对位独体昂传递给工控机进行处理，所述结合所述处理信号及预先设置的精度信息实现对OLED基板的二次定位，从而实现提高OLED金属掩膜板对位精度的目的。
图1为本实用新型的对位装置的原理框图。
具体实施方式
以下结合附图和具体的实施例对本实用新型作进一步的阐述。本实用新型的一种OLED金属掩膜板对位装置如图1所示，包括暗箱1，CXD摄像机2工控机3和蒸镀机主PC，所述暗箱I内包括平台11以及位于平台上的OLED基板12和位置传感器13，所述OLED基板通过真空吸附固定在平台上；所述CCD摄像机安装于真空装置I内并且通过线路与工控机信号连接，所述C⑶摄像机用于获取OLED金属掩膜板的对位图像信息并将所述对位图像信息通过所述线路传递给工控机；所述工控机通过线路与蒸镀机主PC信号连接，用于工控机与蒸镀机主PC之间通信。上述OLED金属掩膜板对位装置还包括与工控机实现信号连接的显示器，用于显示控制参数及状态等信息。上述工控机与蒸镀机主PC具体通过串口实现信号连接。上述工控机包括图像采集卡、数据处理单元和输入输出接口。所述对位装置的工作原理是当载有OLED被测件的基板到达测试区域后，位置传感器因接收到基板就位的信息而产生触发电平信号使暗箱门关闭，图像采集卡接收到触发电平信号后发出一个信号触发高精度CCD摄像机进行图形采集，此时位于暗箱内的环形LED照明补光系统处于打开状态以辅助CCD摄像机获得更准确的对位图像。高清CXD摄像机采集到的对位图像信息通过信号连接线路被传递到图形采集卡并被图形采集卡转换后输入到工控机的数据处理系统，通过软件分析处理后将被测OLED基板的对位图像显示在显示器端。用户可根据位置精度要求，设定位置标准，并将此数据传入数据处理系统，由数据处理系统计算出蒸镀机最终的位置参数调整值，即Χ、Υ、Θ三个方向的误差值。参数调整值通过输出串口传递给蒸镀机主PC，进而对对位参数进而调整，提高对位的精度。高清CCD摄像机在进行图像采集时，被测OLED基板处于未点亮的状态，蒸镀的有机材料图形不易分辨，为保证采集到的图像易于被系统识别，特采用环形LED照明补光系统，提高图形的分辨率。为了保证测试的精度，采用真空吸附系统将被测OLED基板吸附在平台上，避免因为基板的微小移动引起图像偏差，导致计算错误。本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本实用新型的原理，应被理解为本实用新型的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的普通技术人员可以根据 本实用新型公开的这些技术启示做出各种不脱离本实用新型实质的其它各种具体变形和组合，这些变形和组合仍然在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种OLED金属掩膜板对位装置，包括暗箱，CXD摄像机、工控机和蒸镀机主PC，其特征在于，所述暗箱内包括平台以及位于平台上的OLED基板和位置传感器，所述OLED基板通过真空吸附固定在平台上； 所述CXD摄像机安装于真空装置内并且通过线路与工控机信号连接，所述CXD摄像机用于获取OLED金属掩膜板的对位图像信息并将所述对位图像信息通过所述线路传递给工控机；
2.根据权利要求1所述的一种OLED金属掩膜板对位装置，所述工控机通过线路与蒸镀机主PC信号连接，用于工控机与蒸镀机主PC之间通信。
3.根据权利要求1所述的一种OLED金属掩膜板对位装置，上述OLED金属掩膜板对位装置还包括与工控机实现信号连接的显示器，用于显示控制参数及状态等信息。
4.根据权利要求1所述的一种OLED金属掩膜板对位装置，上述工控机与蒸镀机主PC具体通过串口实现信号连接。
5.根据权利要求1-4之一所述的一种OLED金属掩膜板对位装置，上述工控机包括图像采集卡、数据处理单元和输入输出接口。
专利摘要本实用新型的目提出了一种OLED金属掩膜板对位装置，包括暗箱，CCD摄像机工控机和蒸镀机主PC，所述暗箱内包括平台以及位于平台上的OLED基板和位置传感器，所述OLED基板通过真空吸附固定在平台上；所述CCD摄像机安装于真空装置内并且通过线路与工控机信号连接，所述CCD摄像机用于获取OLED金属掩膜板的对位图像信息并将所述对位图像信息通过所述线路传递给工控机。本实用新型的有益效果通过采用CCD摄像机采集OLED基板的对位图像并将所述对位独体昂传递给工控机进行处理，所述结合所述处理信号及预先设置的精度信息实现对OLED基板的二次定位，从而实现提高OLED金属掩膜板对位精度的目的。
文档编号C23C14/04GK202898515SQ20122056747
公开日2013年4月24日 申请日期2012年10月31日 优先权日2012年10月31日
发明者魏锋, 唐元刚, 赵芳, 任海 申请人:四川虹视显示技术有限公司