真空镀膜机扩散泵加热装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空镀膜机扩散泵加热装置，包括竖置的扩散泵主体，所述扩散泵主体内腔设有平置的铁质震荡板，所述铁质震荡板侧周套有沿铁质震荡板周向分布并置于扩散泵主体侧壁内的电磁线圈，所述电磁线圈连接至位于扩散泵主体外的电磁加热控制器，位于铁质震荡板上方的扩散泵主体外侧壁设有沿扩散泵主体轴向螺旋延伸的冷却水管，所述冷却水管连接冷却装置。本实用新型供的真空镀膜机扩散泵加热装置，其加热速度快、效率高、工作稳、操作方便。
【专利说明】真空镀膜机扩散泵加热装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及真空镀膜机扩散泵加热装置。
【背景技术】
[0002]扩散泵作为真空系统的主泵已经有几十年的历史，传统的真空镀膜设备扩散泵加热是用耗电量比较高的电阻丝通过烧红来烘烤真空锅炉(扩散泵)底部，从而加热里面的导热油来使真空泵里面的温度上升来达到设备的工作要求。这种加热方式使得大部分的热量散发到空气中，导致损失大量的热量，使得工作环境温度变高。虽然制作成本低廉，但存在着:加热速度慢、容易断丝、加热效能低下，能耗量大等诸多缺点。还有导线接入区域温度过高触电区域极易氧化虚接以及人身触电的的危险。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机扩散泵加热装置，其加热速度快、效率高。
[0004]为实现上述目的，本实用新型的技术方案是设计一种真空镀膜机扩散泵加热装置，包括竖置的扩散泵主体，所述扩散泵主体内腔设有平置的铁质震荡板，所述铁质震荡板侧周套有沿铁质震荡板周向分布并置于扩散泵主体侧壁内的电磁线圈，所述电磁线圈连接至位于扩散泵主体外的电磁加热控制器，位于铁质震荡板上方的扩散泵主体外侧壁设有沿扩散泵主体轴向螺旋延伸的冷却水管，所述冷却水管连接冷却装置。
[0005]优选的，位于铁质震荡板下方的扩散泵主体侧壁设有风扇排风口。
[0006]优选的，所述扩散泵主体内腔内还设有用于感应铁质震荡板温度的温度传感器，所述温度传感器连接至电磁加热控制器。
[0007]将电磁线圈接入三相电源，让铁质震荡板产生涡电流，从而产生热量，替代传统的电阻丝加热装置。
[0008]将加热装置改用电磁线圈，通过电磁加热控制器对电磁线圈的功率和温度进行控制和设定。
[0009]由于电磁产生的热量比较快，温度容易控制，解决了传统电阻丝容易断的问题。
[0010]本实用新型的优点和有益效果在于:提供一种真空镀膜机扩散泵加热装置，其加热速度快、效率高、工作稳、操作方便。
[0011]本真空镀膜机扩散泵加热装置采用高效节能的变频电磁加热技术，热效率达95%以上。电磁加热是由高电流通过高效线盘，产生无数电磁涡流，涡流通过带磁的金属，使得金属器皿自行发热，从而达到加热目的。电磁加热优势在于:速度快、效率高、工作稳定、安装和改造简单(只需要将原电炉盘的三相电源线接入即可)、操作方便。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型的示意图。【具体实施方式】
[0013]下面结合附图和实施例，对本实用新型的【具体实施方式】作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
[0014]本实用新型具体实施的技术方案是:
[0015]如图1所示，一种真空镀膜机扩散泵加热装置，包括竖置的扩散泵主体1，所述扩散泵主体I内腔设有平置的铁质震荡板2，所述铁质震荡板2侧周套有沿铁质震荡板2周向分布并置于扩散泵主体I侧壁内的电磁线圈3，所述电磁线圈3连接至位于扩散泵主体I外的电磁加热控制器4，位于铁质震荡板2上方的扩散泵主体I外侧壁设有沿扩散泵主体I轴向螺旋延伸的冷却水管5,所述冷却水管5连接冷却装置6。
[0016]位于铁质震荡板2下方的扩散泵主体I侧壁设有风扇排风口 7。
[0017]所述扩散泵主体I内腔内还设有用于感应铁质震荡板2温度的温度传感器，所述温度传感器连接至电磁加热控制器4。
[0018]将电磁线圈3接入三相电源，让铁质震荡板2产生涡电流，从而产生热量，替代传统的电阻丝加热装置。
[0019]将加热装置改用电磁线圈3，通过电磁加热控制器4对电磁线圈3的功率和温度进行控制和设定。
[0020]由于电磁产生的热量比较快，温度容易控制，解决了传统电阻丝容易断的问题。
[0021]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.真空镀膜机扩散泵加热装置，其特征在于，包括竖置的扩散泵主体，所述扩散泵主体内腔设有平置的铁质震荡板，所述铁质震荡板侧周套有沿铁质震荡板周向分布并置于扩散泵主体侧壁内的电磁线圈，所述电磁线圈连接至位于扩散泵主体外的电磁加热控制器，位于铁质震荡板上方的扩散泵主体外侧壁设有沿扩散泵主体轴向螺旋延伸的冷却水管，所述冷却水管连接冷却装置。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机扩散泵加热装置，其特征在于，位于铁质震荡板下方的扩散泵主体侧壁设有风扇排风口。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜机扩散泵加热装置，其特征在于，所述扩散泵主体内腔内还设有用于感应铁质震荡板温度的温度传感器，所述温度传感器连接至电磁加热控制器。
【文档编号】C23C14/56GK203530424SQ201320690315
【公开日】2014年4月9日 申请日期:2013年11月5日 优先权日:2013年11月5日
【发明者】李秀富, 蒋伟良 申请人:苏州翔之盛真空科技有限公司