一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，包括炉体、位于炉体上方的发热丝；所述炉体包括圆盘和位于圆盘周围的圆环，所述圆环至少包括一个由扇形环组合而成的组合圆环；所述发热丝相应包括位于圆盘上方的圆盘发热丝和位于扇形环上方的扇形环发热丝。本实用新型由于炉体圆环采用扇形环组合而成，可有效减少炉体高温热膨胀效应，可以有效解决大尺寸加热器容易损坏的现状；扇形环上方的扇形环发热丝采用同心螺旋扇形绕法和同心圆弧绕法，可以很好的保证整体温度的均匀性。
【专利说明】一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器
【技术领域】
[0001]本实用新型属于加热器，具体涉及一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器。
【背景技术】
[0002]在用金属有机化学气相沉积设备(MOCVD)制备半导体薄膜材料时，所发生的化学反应都是在特定的温度环境下进行，温度均匀性直接影响薄膜的品质。为了适应市场对设备腔体直径不断增大的需求，加热器的直径也会相对增加，加热器随着直径的增加，加热器在高温下热膨胀也将增大，现有的大直径加热器通常炉体由两个以上同心环组合而成，随着加热器直径的不断增加，大直径加热器在高温下会因为热膨胀过大而损坏自身部件，直径越大使用寿命越短。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是提供一种不因直径加大影响结构和寿命的可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器。
[0004]实现本实用新型目的采用的技术方案如下:
[0005]可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，包括炉体、位于炉体上方的发热丝；所述炉体包括圆盘和位于圆盘周围的圆环，所述圆环至少包括一个由扇形环组合而成的组合圆环；所述发热丝相应包括位于圆盘上方的圆盘发热丝和位于扇形环上方的扇形环发热丝。
[0006]所述组合圆环包括两个或两个以上不同径向宽度的内外组合圆环。
[0007]所述圆盘发热丝采用同心螺旋绕法，内组合圆环的扇形环上方的扇形环发热丝采用同心螺旋扇形绕法，外组合圆环的扇形环上方的扇形环发热丝采用同心圆弧绕法。
[0008]所述圆环还包括设在所述圆盘和内组合圆环之间的整体圆环，所述发热丝相应包括设在整体圆环上方的整体圆环发热丝，所述整体圆环发热丝采用同心螺旋绕法。
[0009]有益效果:
[0010]1、本实用新型加热器的炉体圆环采用扇形环组合而成，可有效减少炉体高温热膨胀效应，可以有效解决大尺寸加热器容易损坏的现状，炉体的最大尺寸理论上没有上限。而现有炉体采用同心的整体圆环，这种加热器最大尺寸有限，如果超过600_，随着温度上升，特别在1000°c以上时会严重形变,寿命大大缩短。
[0011]2、扇形环上方的扇形环发热丝采用同心螺旋扇形绕法和同心圆弧绕法，可以很好的保证整体温度的均匀性。而现有炉体会随着温度上升，炉体呈现单方向膨胀扩大趋势，因而温度场不太稳定。
[0012]下面结合附图进一步说明本实用新型的技术方案。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型的结构示意图。
[0014]图2是本实用新型的分解图。
【具体实施方式】
[0015]实施例1
[0016]见图1一2，可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，包括炉体、位于炉体上方的发热丝；所述炉体包括圆盘I和位于圆盘I周围的圆环，所述圆环从内至外包括整体圆环2、不同径向宽度的内组合圆环和外组合圆环，其中内组合圆环由四个扇形环3组合而成，外组合圆环由四个扇形环4组合而成；所述发热丝相应包括位于圆盘I上方的圆盘发热丝5、位于整体圆环2上方的整体圆环发热丝6、位于内组合圆环的扇形环3上方的扇形环发热丝7和位于外组合圆环的扇形环4上方的扇形环发热丝8 ;所述圆盘发热丝5采用同心螺旋绕法，整体圆环发热，6采用同心螺旋绕法，内组合圆环的扇形环3上方的扇形环7发热丝采用同心螺旋扇形绕法，外组合圆环的扇形环4上方的扇形环发热丝8采用同心圆弧绕法。
[0017]实施例2
[0018]本实施例是将实施例1中的整体圆环2取消，所有圆环均由至少两个扇形环组合--? 。
[0019]实施例3
[0020]本实施例是将实施例1中的内组合圆环再分解成多个内组合圆环，所有圆环均由至少两个扇形环组合而成。
【权利要求】
1.一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，包括炉体、位于炉体上方的发热丝；所述炉体包括圆盘和位于圆盘周围的圆环，其特征是所述圆环至少包括一个由扇形环组合而成的组合圆环；所述发热丝相应包括位于圆盘上方的圆盘发热丝和位于扇形环上方的扇形环发热丝。
2.根据权利要求1所述的可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，其特征是所述组合圆环包括两个或两个以上不同径向宽度的内外组合圆环。
3.根据权利要求2所述的可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，其特征是所述圆盘发热丝采用同心螺旋绕法，内组合圆环的扇形环上方的扇形环发热丝采用同心螺旋扇形绕法，外组合圆环的扇形环上方的扇形环发热丝采用同心圆弧绕法。
4.根据权利要求3所述的可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，其特征是所述圆环还包括设在所述圆盘和内组合圆环之间的整体圆环，所述发热丝相应包括设在整体圆环上方的整体圆环发热丝，所述整体圆环发热丝采用同心螺旋绕法。
【文档编号】C23C16/46GK203855643SQ201420236819
【公开日】2014年10月1日 申请日期:2014年5月10日 优先权日:2014年5月10日
【发明者】蒲勇 申请人:长沙市博垒德电子科技有限公司