真空溅射单元的观察窗机构的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及观察窗机构，具体地，涉及真空溅射单元的观察窗机构。
【背景技术】
[0002]在玻璃镀膜工艺中，真空镀膜是一种常见的方法，其主要是在真空室内将材料的原子从加热源离析出来打到玻璃的表面上。玻璃的真空镀膜是在镀膜室内进行的，玻璃通过传输机构运送到镀膜室中进行镀膜，由于镀膜室是密闭的，工作人员不能及时观察到玻璃在传输机构上的传送情况，当内部发生输送故障时，若不及时停机检修，会造成内部元件的损伤，普通的镀膜室，其侧壁上会设有玻璃窗，但是长时间工作后，玻璃窗上的玻璃上会沉积膜层，导致玻璃透明度下降，影响观察。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是提供一种真空溅射单元的观察窗机构，解决了普通的镀膜室，其侧壁上会设有玻璃窗，但是长时间工作后，玻璃窗上的玻璃上会沉积膜层，导致玻璃透明度下降，影响观察的问题。
[0004]为了实现上述目的，本发明提供了一种真空溅射单元的观察窗机构，其中，所述观察窗机构包括壳体，所述壳体的表面上设有贯穿窗口，所述壳体的内壁上设有第一滑槽和第二滑槽，且所述第一滑槽和所述第二滑槽分别位于所述贯穿窗口的两侧，所述第一滑槽和所述第二滑槽上可滑移地设有盖门，当滑移所述盖门可以将所述贯穿窗口盖合，且所述壳体的外壁上设有玻璃，且所述玻璃完全遮盖所述贯穿窗口，所述盖门为磁性材料，且所述壳体的外壁上设有磁铁，当移动所述磁铁时可以带动所述盖门运动。
[0005]优选地，所述壳体内的底部设有沿第一方向顺次设置的多个辊筒机构，所述辊筒机构上放置有镀膜玻璃，所述壳体的侧壁上设置有多个所述贯穿窗口，多个所述贯穿窗口沿所述第一方向等距分布。
[0006]优选地，所述贯穿窗口的数量与所述辊筒机构的数量相同。
[0007]优选地，所述壳体的外壁上设有挂钩，所述磁铁通过绳子固定在所述挂钩上。
[0008]优选地，所述壳体的内壁上固定有挡板，且所述挡板位于所述贯穿窗口的上方，所述盖门的上端通过多个弹簧与所述挡板连接。
[0009]优选地，所述弹簧的数量为2-4个
[0010]根据上述技术方案，本发明提供了一种真空溅射单元的观察窗机构，其中，所述观察窗机构包括壳体，所述壳体的表面上设有贯穿窗口，所述壳体的内壁上设有第一滑槽和第二滑槽，且所述第一滑槽和所述第二滑槽分别位于所述贯穿窗口的两侧，所述第一滑槽和所述第二滑槽上可滑移地设有盖门，当滑移所述盖门可以将所述贯穿窗口盖合，且所述壳体的外壁上设有玻璃，且所述玻璃完全遮盖所述贯穿窗口，所述盖门为磁性材料，且所述壳体的外壁上设有磁铁，当移动所述磁铁时可以带动所述盖门运动，在壳体内壁上设有盖门，当需要观察内部情况时，利用磁铁将盖门往上提，不需要观察时，放下盖门，盖门可以对观察玻璃进行有效的防护，防止其表面沉积镀膜层，影响玻璃透明度，进而影响观察。
[0011 ]本发明的其他特征和优点将在随后的【具体实施方式】部分予以详细说明。
【附图说明】
[0012]附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中:
[0013]图1是本发明提供的一种真空溅射单元的观察窗机构的结构示意图；
[0014]图2是本发明提供的一种真空溅射单元的观察窗机构的内部结构示意图。
[0015]附图标记说明
[0016]丨-贯穿窗口2-棍筒机构
[0017]11-第一滑槽12-第二滑槽
[0018]13-盖门14-挡板
[0019]15-弹簧
【具体实施方式】
[0020]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
[0021]如图1和图2所示，本发明提供了一种真空溅射单元的观察窗机构，其中，所述观察窗机构包括壳体，所述壳体的表面上设有贯穿窗口 I，所述壳体的内壁上设有第一滑槽11和第二滑槽12，且所述第一滑槽11和所述第二滑槽12分别位于所述贯穿窗口 I的两侧，所述第一滑槽11和所述第二滑槽12上可滑移地设有盖门13，当滑移所述盖门13可以将所述贯穿窗口 I盖合，且所述壳体的外壁上设有玻璃，且所述玻璃完全遮盖所述贯穿窗口 I，所述盖门13为磁性材料，且所述壳体的外壁上设有磁铁，当移动所述磁铁时可以带动所述盖门13运动。在壳体内壁上设有盖门13，当需要观察内部情况时，利用磁铁将盖门13往上提，不需要观察时，放下盖门13，盖门13可以对观察玻璃进行有效的防护，防止其表面沉积镀膜层，影响玻璃透明度，进而影响观察。
[0022]在本发明的一种更为优选的实施方式中，为了更好的观察壳体内部玻璃的运输情况，所述壳体内的底部设有沿第一方向顺次设置的多个辊筒机构2，所述辊筒机构2上放置有镀膜玻璃，所述壳体的侧壁上设置有多个所述贯穿窗口 I，多个所述贯穿窗口 I沿所述第一方向等距分布，贯穿窗口 I的位置与所述辊筒机构2的位置一一对应，使得从贯穿窗口 I可以观察每个辊筒机构2的运行情况，优选的，所述贯穿窗口 I的数量与所述辊筒机构2的数量相同，当然，这里贯穿窗口 I的数量可以根据本领域人员的需求进行调整。
[0023]在本发明的一种优选的实施方式中，为了防止磁铁的丢失，所述壳体的外壁上设有挂钩，所述磁铁通过绳子固定在所述挂钩上。
[0024]在本发明的一种更为优选的实施方式中，所述壳体的内壁上固定有挡板14，且所述挡板14位于所述贯穿窗口 I的上方，所述盖门13的上端通过多个弹簧15与所述挡板14连接。使得盖门13可以自动复位，将贯穿窗口 I遮蔽，防止使用者提上盖门13，观察结束后忘记放下，优选的，所述弹簧15的数量为2-4个，当然，这里弹簧15的数量可以根据本领域人员的需求进行调整。
[0025]以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。
[0026]另外需要说明的是，在上述【具体实施方式】中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
[0027]此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。
【主权项】
1.一种真空溅射单元的观察窗机构，其特征在于，所述观察窗机构包括壳体，所述壳体的表面上设有贯穿窗口( I )，所述壳体的内壁上设有第一滑槽(11)和第二滑槽(12)，且所述第一滑槽(11)和所述第二滑槽(12)分别位于所述贯穿窗口(I)的两侧，所述第一滑槽(11)和所述第二滑槽(I2)上可滑移地设有盖门(13)，当滑移所述盖门(13)可以将所述贯穿窗口(I)盖合，且所述壳体的外壁上设有玻璃，且所述玻璃完全遮盖所述贯穿窗口(I)，所述盖门(13)为磁性材料，且所述壳体的外壁上设有磁铁，当移动所述磁铁时可以带动所述盖门(13)运动。2.根据权利要求1所述的观察窗机构，其特征在于，所述壳体内的底部设有沿第一方向顺次设置的多个辊筒机构(2)，所述辊筒机构(2)上放置有镀膜玻璃，所述壳体的侧壁上设置有多个所述贯穿窗口( I )，多个所述贯穿窗口( I)沿所述第一方向等距分布。3.根据权利要求2所述的观察窗机构，其特征在于，所述贯穿窗口(I)的数量与所述辊筒机构(2)的数量相同。4.根据权利要求1所述的观察窗机构，其特征在于，所述壳体的外壁上设有挂钩，所述磁铁通过绳子固定在所述挂钩上。5.根据权利要求1所述的观察窗机构，其特征在于，所述壳体的内壁上固定有挡板(14)，且所述挡板(14)位于所述贯穿窗口(I)的上方，所述盖门(13)的上端通过多个弹簧(15)与所述挡板(14)连接。6.根据权利要求5所述的观察窗机构，其特征在于，所述弹簧(15)的数量为2-4个。
【专利摘要】本发明公开了一种真空溅射单元的观察窗机构，其中，所述观察窗机构包括壳体，所述壳体的表面上设有贯穿窗口，所述壳体的内壁上设有第一滑槽和第二滑槽，且所述第一滑槽和所述第二滑槽分别位于所述贯穿窗口的两侧，所述第一滑槽和所述第二滑槽上可滑移地设有盖门，当滑移所述盖门可以将所述贯穿窗口盖合，且所述壳体的外壁上设有玻璃，且所述玻璃完全遮盖所述贯穿窗口，所述盖门为磁性材料，且所述壳体的外壁上设有磁铁，当移动所述磁铁时可以带动所述盖门运动。解决了普通的镀膜室，其侧壁上会设有玻璃窗，但是长时间工作后，玻璃窗上的玻璃上会沉积膜层，导致玻璃透明度下降，影响观察的问题。
【IPC分类】C23C14/34, C23C14/52
【公开号】CN105714264
【申请号】CN201610266288
【发明人】金海涛, 薛辉, 昌江, 任俊春
【申请人】芜湖真空科技有限公司