一种设有新型送膜机构的金属化薄膜真空镀膜装置的制作方法

文档序号:12251477阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种设有新型送膜机构的金属化薄膜真空镀膜装置,包括真空镀膜室(53)和设于真空镀膜室(53)内的蒸镀鼓,所述蒸镀鼓的左侧固定安装有送膜机构,所述冷却转鼓的右侧固定安装有收卷机构,所述冷却转鼓的下方设有两个蒸镀坩埚,其特征在于:所述送膜机构包括竖立的基板(14)、设于基板(14)上的卷轴安装座(15)、可转动的固定于卷轴安装座(15)上的送膜卷轴(16)以及驱动送膜卷轴(16)转动的驱动件,所述基板(14)上还设有多个固定张紧辊(18)以及浮动杆(17),所述浮动杆(17)的一端铰接于基板(14)上,另一端为活动端,所述浮动杆(17)上设有活动张紧辊(19),所述活动张紧辊(19)位于两个相邻的固定张紧辊(18)的中轴连线的中点下方,还包括有支撑机构,所述支撑机构包括下支承座(22)、上支承座(23)和固定装置,所述上支承座(23)上设置有开口朝下的上半圆槽,所述下半圆槽和上半圆槽的直径相同,所述上支承座(23)左端通过销轴铰连接于下支承座(22)的左端,所述固定装置包括支座(24)、支杆(25)和固定把手(27),所示支杆(25)一端固定于支座(24)上,所述支杆(25)另一端螺纹连接有固定把手(27),所述固定装置的支座(24)通过销轴铰连接于下支承座(22)的右端,所述上支承座(23)右端设置有上下贯穿的槽口。

2.根据权利要求1所述的设有新型送膜机构的金属化薄膜真空镀膜装置,其特征在于:所述驱动件包括送膜电机(20),通过送膜卷轴(16)轴头上的同步带(21)轮,用同步带(21)传动方式实现金属化薄膜的主动送膜。

3.根据权利要求1所述的设有新型送膜机构的金属化薄膜真空镀膜装置,其特征在于:所述收卷机构包括分切支架(28)和收卷支架(29),所述分切支架(28)上设有传输装置和切割装置,所述收卷支架(29)上设有收卷辊(34),所述传输装置包括接料转轴(31),滚直转轴(32)和切割转轴(33),所述切割装置包括刀轴(36)固定支架(35),刀轴(36),刀座(37)和刀具(38),所述刀具(38)安装在刀座(37)上,所述刀座(37)套装在刀轴(36)上,所述刀轴(36)安装在刀轴(36)固定架上,所述刀座(37)由上半圆环(39)和下半圆环(40)衔接而成,所述上半圆环(39)和下半圆环(40)一端铰接,另一端通过衔接面对设,所述上半圆环(39)上设有与衔接面垂直的螺纹孔(41),所述下半圆环(40)的对应位置设有通孔(42),螺钉(43)穿过所述通孔(42)并紧固在所述螺孔内将两个半圆环连接一起,从而使得刀座(37)固定于刀轴(36)上。

4.根据权利要求3所述的设有新型送膜机构的金属化薄膜真空镀膜装置,其特征在于:所述刀轴(36)上设有刻度线(30)。

5.根据权利要求3所述的设有新型送膜机构的金属化薄膜真空镀膜装置,其特征在于:所述上半圆环(39)内环顶部设有键槽(44)。

6.根据权利要求1所述的设有新型送膜机构的金属化薄膜真空镀膜装置,其特征在于:所述蒸镀鼓包括辊套(1)、辊体(2)、流通管(3),所述辊套(1)同心套设于辊体(2)外,所述辊体(2)和辊套(1)之间形成冷却腔(4),所述冷却腔(4)内填充有冷却液(5),所述辊体(2)外环套有隔热层(6),所述流通管(3)包括位于冷却腔(4)的冷却管(31)以及位于隔热层(6)内的回流管(32),所述冷却管(31)一端和回流管(32)流通,所述辊套(1)两端分别设有第一法兰(7)和第二法兰(8),所述第一法兰(7)上设有轴头组件,所述的轴头组件包括进水管(9)以及同心设置在该进水管(9)内的出水管(10),所述进水管(9)一端和冷却管(31)连通,所述出水管(10)一端和回流管(32)流通,所述第二法兰(8)连接有动力轴(11)。

7.根据权利要求6所述的设有新型送膜机构的金属化薄膜真空镀膜装置,其特征在于:所述辊体(2)内设有膨胀管(12),所述膨胀管(12)一段和冷却腔(4)连通,所述膨胀管(12)另一端封闭,所述膨胀管(12)中部设有活塞(13)。

8.根据权利要求1所述的设有新型送膜机构的金属化薄膜真空镀膜装置,其特征在于:所述蒸镀坩埚包括用于容纳被加热物料的容纳腔(45)、围绕在所述容纳腔(45)外围的加热腔(46)、以及包围所述加热腔(46)的外壁(47),所述加热腔(46)内由上往下依次设有用于保证坩埚蒸发口的温度高于蒸发物料凝点并独立控温的上部加热单元(48)、位于坩埚外围独立控温的下部加热单元(49),所述加热腔(46)顶部设有用于所述被加热物料通过的流道(50),所述流道(50)的顶端设置有开口,所述流道(50)的两端的直径大于所述流道(50)中部的直径,所述流道(50)的设置有所述开口的一端的直径小于所述容纳腔(45)的内径。

9.根据权利要求8所述的设有新型送膜机构的金属化薄膜真空镀膜装置,其特征在于:所述加热腔(46)和外壁(47)之间设有热屏蔽层(51)。

10.根据权利要求9所述的设有新型送膜机构的金属化薄膜真空镀膜装置,其特征在于:所述上部加热单元(48)和下部加热单元(49)的加热装置为围绕所述加热腔(46)螺旋延伸的电阻丝(52)。

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