1.一种退火炉燃烧的控制方法,其特征在于,所述方法包括:
确定退火炉中当前环路的上一环路的温度偏差为正偏差时,或确定所述当前环路的下一环路的温度偏差为负偏差时,触发温度补偿算法;
根据所述温度补偿算法计算环路间温度补偿值;
根据所述环路间温度补偿值计算所述当前环路补偿后的燃烧控制值;
根据所述补偿后的燃烧控制值控制所述当前环路的燃烧温度。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,根据公式DV1=PV1-SV1计算所述上一环路的温度偏差,当所述DV1>P04时,所述DV1为正偏差;其中,所述PV1为上一环路的实际温度值,所述SV1为上一环路的设定温度值,所述P04为上一环路偏差比较设定值。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,根据公式DV3=PV3-SV3计算所述下一环路的温度偏差,当所述DV3<P05时,所述DV3为负偏差;其中,所述PV3为下一环路的实际温度值,所述SV3为下一环路的设定温度值,所述P05为下一环路偏差比较设定值。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,根据所述温度补偿算法计算环路间温度补偿值具体包括:
根据公式CPV=[(DV1*P01)+(DV2*P02)+(DV3*P03)-DV2]*VNSW计算环路间温度补偿值CPV;其中,所述DV1为上一环路的温度偏差;所述P01为上一环路补偿调节系数,DV2为当前环路的温度偏差;P02为当前环路补偿调节系数;所述P03为下一环路补偿调节系数,所述DV3为下一环路的温度偏差;VNSW为补偿投入开关的状态值。
5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述当前环路的温度偏差根据公式DV2=PV2-SV2计算;其中,所述PV2为当前环路的实际温度值,所述SV2为当前环路的设定温度值。
6.如权利要求4所述的方法,其特征在于,根据所述环路间温度补偿值计算所述当前环路补偿后的燃烧控制值具体包括:
根据公式CV=PV+CK*(VN(CPV)+CB)计算出所述当前环路补偿后的燃烧控制值;其中,所述CV表示所述当前环路补偿后的燃烧控制值,所述PV为当前环路补偿前的燃烧控制值,所述CK为补偿增益,所述CB为补偿偏置,所述VN为所述CPV的补偿燃烧量。
7.一种退火炉燃烧的控制装置,其特征在于,所述装置包括:
第一确定单元,用于确定退火炉中当前环路的上一环路的温度偏差为正偏差时;或确定所述当前环路的下一环路的温度偏差为负偏差时,触发温度补偿算法;
第一计算单元,用于根据所述温度补偿算法计算环路间温度补偿值;
第二计算单元,用于根据所述环路间温度补偿值计算所述当前环路补偿后的燃烧控制值;
控制单元,用于根据所述补偿后的燃烧控制值控制所述当前环路的燃烧温度。
8.如权利要求7所述的装置,其特征在于,所述第一确定单元用于根据公式DV1=PV1-SV1计算所述上一环路的温度偏差,当所述DV1>P04时,所述第一确定单元确定所述DV1为正偏差;
所述第二确定单元用于根据公式DV3=PV3-SV3计算所述上一环路的温度偏差,当所述DV3<P05时,所述DV3为负偏差;其中,所述PV1为上一环路的实际温度值,所述SV1为上一环路的设定温度值;所述P04为上一环路偏差比较设定值;所述PV3为下一环路的实际温度值,所述SV1为下一环路的设定温度值,所述P05为下一环路偏差比较设定值。
9.如权利要求7所述的装置,其特征在于,所述第一计算单元用于根据公式CPV=[(DV1*P01)+(DV2*P02)+(DV3*P03)-DV2]*VNSW计算环路间温度补偿值CPV;其中,所述DV1为上一环路的温度偏差;所述P01为上一环路补偿调节系数,DV2为当前环路的温度偏差;P02为当前环路补偿调节系数;所述P03为下一环路补偿调节系数,所述DV3为下一环路的温度偏差;VNSW为补偿投入状态值。
10.如权利要求7所述的装置,其特征在于,所述第二计算单元用于根据公式CV=PV+CK*(VN(CPV)+CB)计算出所述当前环路补偿后的燃烧控制值;其中,所述PV为当前环路补偿前的燃烧控制值,所述CK为补偿增益,所述CB为补偿偏置,所述VN为所述CPV补偿燃烧量。