一种金属有机化学气相沉积反应系统的制作方法

文档序号:12415752阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金属有机化学气相沉积反应系统,包括反应室(1),其特征在于:所述反应室(1)的顶部安装有顶盖(2),所述反应室(1)与顶盖(2)的连接处设置有密封垫圈(3),所述顶盖(2)的底部均匀安装有金属反应源出口(4),所述顶盖(2)的顶部连接有分气头(5),所述分气头(5)的顶部连接有金属反应源进气管(6),所述金属反应源进气管(6)的右端连接有金属反应源鼓泡箱(7),所述金属反应源鼓泡箱(7)的右端通过管道连接有鼓风机(8),所述鼓风机(8)的右端通过管道连接有蒸汽存储室(9),所述反应室(1)的左侧壁安装有氢化物进气管(10),且氢化物进气管(10)贯穿反应室(1)的左侧壁,所述反应室(1)的右侧壁安装有废气排气管(11),所述废气排气管(11)的右端连接有导气管(12),所述导气管(12)的底部连接有废气消毒瓶(13),且导气管(12)的底部位于废气消毒瓶(13)内腔液面以下,所述废气消毒瓶(13)的顶部设置有出气管(14),且出气管(14)的底部位于废气消毒瓶(13)内腔的液面的上方,所述反应室(1)的内腔设置有转轴(15),所述转轴(15)的顶部安装有承载盘(16),所述承载盘(16)的顶部安装有基板(17),所述转轴(15)的外壁套接有支撑架(18),所述支撑架(18)的底部与反应室(1)内腔的底部连接,所述转轴(15)贯穿反应室(1)的底部,所述转轴(15)外壁的底部套接有从动带轮(19),所述反应室(1)的底部安装有电机(20),所述电机(20)位于转轴(15)的右侧,所述电机(20)输出端的外壁套接有主动带轮(21),且主动带轮(21)通过皮带与从动带轮(19)连接,所述反应室(1)的底部和顶盖(2)的底部均设置有加热装置(22)。

2.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉积反应系统,其特征在于:所述加热装置(22)为紫外线加热灯,所述加热装置(22)的外壁设置有光反射板,且光反射板的外壁均匀涂有耐热涂层。

3.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉积反应系统,其特征在于:所述承载盘(16)包括盘体(161),所述盘体(161)的底部中心处设置有轴套(162),且轴套(162)与转轴(15)适配连接,所述轴套(162)的内壁开有限位槽,所述转轴(15)外壁的顶部设置有与限位槽适配连接的限位嵌块,所述盘体(161)的顶部均匀安装有支撑弹簧(163),且支撑弹簧(163)的顶部与基板(17)的底部连接。

4.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉积反应系统,其特征在于:所述支撑架(18)包括支撑板(181),所述支撑板(181)的左右两侧均设置有支腿(182),所述支撑板(181)的中心位置开有连接孔(183),且连接孔(183)套接在转轴(15)的外壁,所述支撑板(181)顶部的左右两端均安装有滚珠(184)。

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