技术总结
本发明公开了化学技术领域的一种金属有机化学气相沉积反应系统，包括反应室，所述反应室的顶部安装有顶盖，所述反应室与顶盖的连接处设置有密封垫圈，所述顶盖的底部均匀安装有金属反应源出口，所述顶盖的顶部连接有分气头，所述分气头的顶部连接有金属反应源进气管，所述金属反应源进气管的右端连接有金属反应源鼓泡箱，所述金属反应源鼓泡箱的右端通过管道连接有鼓风机，该金属有机化学气相沉积反应系统，通过三组加热装置的组合加热，使得反应室内的热空气形成对流，从而加热更加均匀，通过电机等一系列的传动使得承载盘和基板转动，使得反应后的薄膜均匀的覆盖在基板的表面。
技术研发人员：崔乘幸;邓绍新;刘露;焦红艳;张中印;张裕平
受保护的技术使用者：河南科技学院
文档号码：201611101614
技术研发日：2016.12.05
技术公布日：2017.05.31