1.一种蒸镀设备，包括：蒸镀腔室，位于所述蒸镀腔室内的蒸发源，位于所述蒸发源内的坩埚，位于所述蒸镀腔室内、且可绕自身轴线旋转的转轴，与所述转轴固定连接的遮挡板，所述遮挡板可旋转至所述蒸发源的上方；其特征在于，还包括：
位于所述遮挡板朝向所述坩埚的一侧的棘轮机构，所述棘轮机构中的棘爪与所述转轴固定连接，所述棘轮机构中的棘轮盘枢装于所述转轴；
与所述棘轮机构的棘轮盘固定连接的托盘。
2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述托盘为具有凹槽的扇形托盘。
3.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述托盘的底面与所述遮挡板朝向所述坩埚的一面之间的距离大于等于50毫米。
4.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述遮挡板为圆形遮挡板。
5.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述遮挡板在所述托盘的底面所在的平面内的正投影的第一中心线相对所述托盘在其底面所在的平面内的正投影的第一边逆时针旋转的角度大于等于0度小于等于所述遮挡板最大摆动角度的一半，其中所述第一中心线与所述转轴的轴线相交，所述第一边靠近所述遮挡板在所述托盘的底面所在的平面内的正投影。
6.根据权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，所述圆形遮挡板的直径小于等于所述托盘的半径。
7.根据权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，所述托盘的角度大于等于n倍的所述遮挡板的最大摆动角度且小于等于第一设定角度，其中n大于等于2，所述第一设定角度等于360度与所述遮挡板最大摆动角度的差值。
8.根据权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，所述托盘的角度为180度或270度。
9.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述托盘朝向所述坩埚的一面与所述坩埚朝向所述托盘的一面之间的距离大于20毫米。
10.根据权利要求1～9任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述托盘为金属材料的托盘，且所述托盘的表面设有喷砂层。