一种靶材组件的制作方法

技术特征：

1.一种靶材组件，包括靶材(1)与背板(3)，其特征在于，在背板(3)的表面加工有凸台(4)，靶材(1)连接在所述凸台(4)上。

2.根据权利要求1所述一种靶材组件，其特征在于，靶材(1)通过焊料层(2)焊接在所述凸台(4)上。

3.根据权利要求2所述一种靶材组件，其特征在于，所述凸台(4)的高度F通过尺寸链计算：

F_max＝D_max-A_min-B_min-C_min

F_min＝D_min-A_max-B_max-C_max

其中，F_max为凸台(4)的最大高度；

F_min为凸台(4)的最小高度；

A_max为背板(3)(不含凸台(4))的厚度上偏差；

A_min为背板(3)(不含凸台(4))的厚度下偏差；

B_max为焊料层(2)的厚度上偏差；

B_min为焊料层(2)的厚度下偏差；

C_max为靶材(1)的厚度上偏差；

C_min为靶材(1)的厚度下偏差；

D_max为靶材组件的厚度上偏差；

D_min为靶材组件的厚度下偏差。

4.根据权利要求3所述一种靶材组件，其特征在于，A_max＝0mm；A_min＝-0.1mm；B_max＝0mm；B_min＝-0.1mm；C_max＝-0.2mm；C_min＝-0.3mm；D_max＝+0.1mm；D_min＝0mm。

5.根据权利要求2所述一种靶材组件，其特征在于，所述焊料层(2)的厚度为0.2～0.3mm。